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非球面面形检测的特征干涉图数字分析法
被引量：
3
1
作者
白剑
曹天宁
+1 位作者
程上彝
杨国光
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
2000年第1期105-109,共5页
对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) ...
对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) .对非球面度较小的非球面面形 ,其检测可通过直接利用标准球面镜作为参考表面在干涉仪上获得“非球面特征干涉图”
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关键词
条纹扫描技术
非球面面形检测
干涉图
数字分析
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职称材料
题名
非球面面形检测的特征干涉图数字分析法
被引量：
3
1
作者
白剑
曹天宁
程上彝
杨国光
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
2000年第1期105-109,共5页
文摘
对干涉图的数字分析法进行了研究 ,首先 ,利用动态条纹扫描技术对干涉图进行数字分析 ,然后与理论计算结果相比较 ,从而获得面形误差数据 ,最后在改进型 SPG- 型激光数字波面干涉仪上进行实测验证 ,表明其测量精度可达 λ/ 2 0 ( PV) .对非球面度较小的非球面面形 ,其检测可通过直接利用标准球面镜作为参考表面在干涉仪上获得“非球面特征干涉图”
关键词
条纹扫描技术
非球面面形检测
干涉图
数字分析
Keywords
interference
fringe\|scanning technique
aspherical surface
分类号
TG839 [金属学及工艺—公差测量技术]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非球面面形检测的特征干涉图数字分析法
白剑
曹天宁
程上彝
杨国光
《浙江大学学报（自然科学版）》
CSCD
2000
3
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职称材料
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