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聚焦离子束的束径测量
被引量：
1
1
作者
张海波
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期319-321,共3页
报道了聚焦离子束装置的束径测量方法和典型测量结果。偏转离子束使其扫过金属栅网的边缘 ,由法拉第筒接收到的离子流强度变化所形成的S形电流曲线可确定束径大小。在数据处理中 ,采用了快速傅立叶变换滤波的办法来消除微小电流测量结...
报道了聚焦离子束装置的束径测量方法和典型测量结果。偏转离子束使其扫过金属栅网的边缘 ,由法拉第筒接收到的离子流强度变化所形成的S形电流曲线可确定束径大小。在数据处理中 ,采用了快速傅立叶变换滤波的办法来消除微小电流测量结果中的噪声 ,从而可以对S形电流曲线进行微分 ,得到束流密度空间分布。在改变透镜光阑口径而维持靶室离子流强度不变的测量模式中 。
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关键词
聚焦离子束
库仑相互作用
束径测量
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职称材料
题名
聚焦离子束的束径测量
被引量：
1
1
作者
张海波
机构
西安交通大学电子科学与技术系
出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第5期319-321,共3页
文摘
报道了聚焦离子束装置的束径测量方法和典型测量结果。偏转离子束使其扫过金属栅网的边缘 ,由法拉第筒接收到的离子流强度变化所形成的S形电流曲线可确定束径大小。在数据处理中 ,采用了快速傅立叶变换滤波的办法来消除微小电流测量结果中的噪声 ,从而可以对S形电流曲线进行微分 ,得到束流密度空间分布。在改变透镜光阑口径而维持靶室离子流强度不变的测量模式中 。
关键词
聚焦离子束
库仑相互作用
束径测量
Keywords
Focused ion beam,Beam diameter,Coulomb interaction,Measurement
分类号
O463.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
聚焦离子束的束径测量
张海波
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
1
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