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题名材料在真空环境下放气的测试技术研究
被引量：25
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作者
董猛
冯焱
成永军
盛学民
赵澜
王永军
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机构
兰州空间技术物理研究所国防科技工业真空一级计量站
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出处
《真空与低温》
2014年第1期46-51,共6页
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文摘
在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放气率分别为2.34×10-8Pa·m3·s-1·cm-2、1.83×10-9Pa·m3·s-1·cm-2、8.48×10-11Pa·m3·s-1·cm-2。利用四极质谱计测得装置的本底气体成分主要有H2、N2/CO、H2O和CO2,材料放出的气体成分主要有N2/CO、H2O。三种方法测试得到的铜金属材料的放气率随着温度的升高而不断增大。
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关键词
材料放气率
双通道气路转换法
固定流导法
静态升压法
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Keywords
vacuum materials outgassing rates
SPP method
orifice throughput method
constant volume method
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分类号
TB771
[一般工业技术—真空技术]
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题名导线在真空环境中的放气特性分析
被引量：2
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作者
陈蕾
肖梅
张晓兵
杨玲玲
吴晓斌
王魁波
罗艳
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机构
东南大学电子科学与工程学院显示中心
中国科学院光电研究院
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出处
《真空与低温》
2016年第2期100-103,共4页
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文摘
材料放气特性对分析真空中残余气体成分有重要影响。主要研究常用导线绝缘层聚全氟乙丙烯和可溶性聚四氟乙烯这两种材料在真空环境中的放气特性。采用小孔流导法初步测量了样品在常温、加热以及冷却条件下的放气率,利用四极质谱计测量了样品在不同温度条件下的放气质谱图。结果表明这两种材料在加热过程中的放气率先增大后减小,并随着抽气不断减小,在加热过程中的谱图中检测到质量数为69的气体,说明放出的气体成分含氟。
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关键词
导线
材料放气率
小孔流导法
四极质谱法
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Keywords
wire
the outgassing rate of materials
orifice conductance method
the quadrupole mass spectrometer
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分类号
TB77
[一般工业技术—真空技术]
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