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题名化学机械研磨废水处理及回用技术的研究进展
被引量：6
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作者
罗助强
王峰
杨海真
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机构
同济大学污染控制与资源化研究国家重点实验室
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出处
《环境科学与技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期127-131,共5页
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基金
水利部"节水型社会建设"项目(水综节水[2010]42号)
农村分散型污水处理关键设备研制与示范项目(2009BAC57B01)
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文摘
化学机械研磨废水产生量大但总体污染物浓度不高,回用潜力巨大,其处理及回用技术是芯片制造企业的研究重点。文章介绍了化学机械研磨废水来源、水质特征,概述并对比分析了常用的化学机械研磨废水处理和回用技术及其应用现状和发展趋势,并指出以膜滤或电化学处理为主的处理及回用技术具有良好的运用前景。
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关键词
芯片制造
化学机械研磨废水
处理
回用
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Keywords
wafer fabrication
chemical mechanical polishing （CMP） wastewater
treatment
reuse
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分类号
X703
[环境科学与工程—环境工程]
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题名膜过滤工艺应用于研磨废水处理的案例分析
被引量：1
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作者
涂燕红
郝双龙
吴婷
李小忠
陈寒松
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机构
浙江师范大学行知学院
深圳市南科环保科技有限公司
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出处
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第S01期226-228,233,共4页
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基金
浙江省教育厅一般项目(KY204Y17228)
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文摘
采用平板陶瓷膜过滤技术对研磨废水进行处理.磁粉废水进水水质为pH 9.6、COD约为70 mg/L、SS含量为230 mg/L,铁红废水pH为7.2、COD约为55 mg/L、SS含量为2900 mg/L,经膜过滤工艺处理后,磁粉废水和铁红废水pH下降率分别为11.9%和1.5%,COD下降率分别为75.6%和84.1%,SS去除率均为100%.以50 m^(3)/d、SS含量为5000 mg/L的废水处理项目为例进行经济核算显示,正产运行情况下595 d可回收工程投资,快速实现环保效益和经济效益双赢.
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关键词
陶瓷膜
机械研磨废水
再生回用
物料回收
经济分析
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Keywords
ceramic membrane
wastewater from mechanical grinding
regeneration and reuse
material recovery
economic analysis
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分类号
TH3
[机械工程—机械制造及自动化]
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