方铅矿浮选的机械电化学行为 被引量：24

1

作者 胡岳华 孙伟 覃文庆 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期1060-1064,共5页

运用机械电化学技术 ,研究了磨矿介质类型、机械力的大小对矿物电极电位和表面反应电流的影响 ,并考察了矿物与矿物之间 ,矿物与介质之间存在的腐蚀电偶作用 ,发现这些作用会对硫化矿表面的氧化还原反应机制产生影响 ,进而影响到矿物表... 运用机械电化学技术 ,研究了磨矿介质类型、机械力的大小对矿物电极电位和表面反应电流的影响 ,并考察了矿物与矿物之间 ,矿物与介质之间存在的腐蚀电偶作用 ,发现这些作用会对硫化矿表面的氧化还原反应机制产生影响 ,进而影响到矿物表面的疏水和亲水性。 展开更多

关键词 方铅矿 电极电位 机械电化学 电位调控浮选 硫化矿 表面形貌 机械力

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黄铁矿浮选过程的机械电化学行为研究 被引量：2

2

作者 董青海 孙伟 +1 位作者 胡岳华 王淀佐 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期32-36,共5页

运用机械电化学技术,研究了磨矿介质类型、机械力大小对矿物电极电位和表面反应电流的影响,并考察了矿物与矿物之间,矿物与介质之间存在的腐蚀电偶作用,发现这些作用会对硫化矿表面的氧化还原反应机制产生影响,进而影响到矿物表面的疏... 运用机械电化学技术,研究了磨矿介质类型、机械力大小对矿物电极电位和表面反应电流的影响,并考察了矿物与矿物之间,矿物与介质之间存在的腐蚀电偶作用,发现这些作用会对硫化矿表面的氧化还原反应机制产生影响,进而影响到矿物表面的疏水和亲水性。量子化学计算表明,机械力作用下,矿物表面电子结构发生改变,导致与药剂作用的机制发生改变。对硫化矿在不同机械力下的表面形貌的研究进一步证明了上述结论。 展开更多

关键词 黄铁矿 电极电位 机械电化学 电位调控浮选

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氧化石墨烯在碳化硅电化学机械抛光中的作用机制及工艺

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作者 彭超 任荣浩 +4 位作者 王子睿 王永光 黄冬梅 朱睿 成锋 《材料工程》 北大核心 2025年第8期185-192,共8页

电化学机械抛光(electrochemical mechanical polishing,ECMP)技术是一项可以快速提高碳化硅(SiC)平坦化效率的新技术。基于其面临的抛光液配制复杂,无法同时兼顾材料高效去除及高表面质量等问题,研制了1种成分简单且环保的新型SiC-ECM... 电化学机械抛光(electrochemical mechanical polishing,ECMP)技术是一项可以快速提高碳化硅(SiC)平坦化效率的新技术。基于其面临的抛光液配制复杂,无法同时兼顾材料高效去除及高表面质量等问题,研制了1种成分简单且环保的新型SiC-ECMP抛光液,以氧化石墨烯(GO)为固体润滑剂,以金刚石悬浮液为基础。使用新型抛光液对SiC抛光,在获得表面粗糙度R_(a)为0.324 nm的光滑表面的同时保持材料去除率为2.38μm/h。采用宏观沉降实验、Zeta电势、粒径分析实验和TEM分析GO对抛光液稳定性的改善,利用接触角实验和摩擦磨损实验揭示其润滑作用机制。结果表明:抛光液中添加GO抑制了磨料的沉淀,抛光液粒径变小且分布更加均匀,浆液稳定性得到提高;GO润滑减小了抛光液与SiC表面的接触角,降低表面摩擦,达到了减磨润滑的效果。 展开更多

关键词 碳化硅 电化学机械抛光 润滑 氧化石墨烯

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轴承滚子电化学机械光整加工表面质量预测与加工参数选择 被引量：6

4

作者 徐文骥 魏泽飞 +3 位作者 孙晶 李强 余自远 庞桂兵 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期525-530,共6页

针对现有方法加工轴承滚子时存在的问题,将电化学机械光整(electrochemical mechanicalfinishing,ECMF)加工应用于轴承滚子的光整加工中。ECMF加工效果受很多因素影响,为预测加工质量及选择加工参数,建立了带有径向基函数的基于LS-SVM... 针对现有方法加工轴承滚子时存在的问题,将电化学机械光整(electrochemical mechanicalfinishing,ECMF)加工应用于轴承滚子的光整加工中。ECMF加工效果受很多因素影响,为预测加工质量及选择加工参数,建立了带有径向基函数的基于LS-SVM的轴承滚子ECMF加工预测模型,对正交试验样本进行训练学习,采用网格搜索法确定模型参数。实验及预测结果表明:ECMF适合于轴承滚子的加工,经ECMF加工后的轴承滚子表面质量明显提高;通过LS-SVM模型选择的加工参数及预测的表面质量误差,均在可接受的范围内。 展开更多

关键词 轴承滚子 电化学机械光整 最小二乘支持向量机 径向基函数 预测

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电化学机械复合光整加工技术的研究现状 被引量：5

5

作者 张志金 张明岐 +1 位作者 曹新鹏 程小元 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第13期12-15,共4页

介绍了电化学机械复合光整加工技术的原理、特点以及加工过程中的影响因素。综述了电化学机械复合光整加工技术的国内外研究现状,指出了目前我国电化学机械复合光整加工技术存在的问题,并探讨了电化学机械复合光整加工技术的发展趋势。

关键词 电化学机械复合光整加工 复合加工 电化学

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不锈钢电化学机械镜面加工电解液研究 被引量：12

6

作者 李邦忠 周锦进 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期954-958,共5页

在分析研究电化学机械光整加工机理和工艺特点的基础上 ,结合不锈钢镜面板自动化生产线的系统功能设计目标 ,对悬浮电解液的系统功能进行优化设计。研究了电解液循环系统、主盐及添加剂、磨料等因素对效率、质量、成本、环保及自动化程... 在分析研究电化学机械光整加工机理和工艺特点的基础上 ,结合不锈钢镜面板自动化生产线的系统功能设计目标 ,对悬浮电解液的系统功能进行优化设计。研究了电解液循环系统、主盐及添加剂、磨料等因素对效率、质量、成本、环保及自动化程度的影响关系。经过实验研究 ,开发出了综合性能较优的GD3型悬浮电解液。 展开更多

关键词 电化学机械光整加工 镜面加工 悬浮电解液 不锈钢

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电化学机械精准光整加工技术研究 被引量：7

7

作者 庞桂兵 徐文骥 周锦进 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第19期2589-2593,2601,共6页

介绍了该研究组近年来在电化学机械精准光整加工技术研究方面的工作进展情况,包括:光整过程中同时完成形状成形的光整与成形复合加工技术;同时改善零件精密度和表面形貌的跨尺度精确成形加工技术;保证精密度条件下改善表面形貌的自由曲... 介绍了该研究组近年来在电化学机械精准光整加工技术研究方面的工作进展情况,包括:光整过程中同时完成形状成形的光整与成形复合加工技术;同时改善零件精密度和表面形貌的跨尺度精确成形加工技术;保证精密度条件下改善表面形貌的自由曲面零件手持式工具光整加工技术。研究工作表明:通过合理优化电化学机械加工工艺系统结构和参数,对于齿轮、轴承等规则表面零件,可以实现同时改善零件精度和表面几何形貌;对于非规则表面零件,可以在保证零件精密度条件下改善零件表面几何形貌。 展开更多

关键词 电化学加工 电化学机械加工 光整加工 精密加工

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电化学机械加工对轴承滚子表面质量及凸度的影响 被引量：4

8

作者 魏泽飞 李蕾 +1 位作者 佘东生 徐文骥 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期119-124,共6页

目的在提高轴承滚子表面质量的基础上获得具有一定凸度的表面轮廓。方法将自主搭建的电化学机械加工(electrochemical mechanical machining,ECMM)平台用于轴承滚子的表面加工,采用中性NaNO_3水溶液作为电解液,设计了L_9(3~4)的正交实验... 目的在提高轴承滚子表面质量的基础上获得具有一定凸度的表面轮廓。方法将自主搭建的电化学机械加工(electrochemical mechanical machining,ECMM)平台用于轴承滚子的表面加工,采用中性NaNO_3水溶液作为电解液,设计了L_9(3~4)的正交实验,使用表面粗糙度测量仪对实验前后轴承滚子的表面粗糙度Ra、轮廓最大高度Rz和轮廓凸度进行测量和分析,并利用实验数据分析影响表面粗糙度和凸度的各因素和水平。结果经过ECMM加工后,轴承滚子表面粗糙度Ra值由加工前的0.0874μm降低至0.0247μm,轮廓最大高度Rz值由加工前的0.772μm降低至0.238μm,轮廓凸度由原来的平直表面增加到最大值43.3μm。对于表面粗糙度,电流密度的影响最显著,各因素最佳水平为:电流密度5 A/cm^2,机械作用压力0.20 MPa,运动速度0.24 m/s,磨具号数1000#。对轮廓凸度,电流密度的影响最显著,各因素最佳水平为:电流密度5 A/cm^2,运动速度0.21 m/s,磨具号数2000#,机械作用压力0.20 MPa。结论 ECMM加工方法适用于轴承滚子的加工,可在一次加工中同时提高滚子的表面质量并获得一定凸度的表面轮廓。加工参数对表面质量和凸度影响最大的因素是加工电流密度,优先选择较大加工电流密度的同时要合理选择其他加工参数。 展开更多

关键词 电化学机械加工 轴承滚子 表面粗糙度 轮廓最大高度 凸度 正交实验

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集成电路芯片制造中电化学机械平整化技术的研究进展 被引量：4

9

作者 翟文杰 梁迎春 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期498-503,共6页

大马士革(Damascene)结构的Cu/低k介质材料互连技术为集成电路芯片制造提出了方向和挑战。电化学机械平整化(ECMP)作为化学机械平整化(CMP)的一种拓展加工手段,可对传统CMP技术进行补偿,可对含有易损多孔电介质材料的新型互连结构进行... 大马士革(Damascene)结构的Cu/低k介质材料互连技术为集成电路芯片制造提出了方向和挑战。电化学机械平整化(ECMP)作为化学机械平整化(CMP)的一种拓展加工手段,可对传统CMP技术进行补偿,可对含有易损多孔电介质材料的新型互连结构进行低压力平整化。比较了ECMP和CMP的特点,对ECMP技术的研究现状和发展趋势进行了综述。指出ECMP过程控制的深层次的技术基础是摩擦电化学理论,只有深入系统地研究ECMP过程中的外加电势、摩擦磨损、化学反应三者间的相互作用,才能揭示ECMP过程中材料的加速去除原理和超光滑无损伤表面的形成机理。 展开更多

关键词 电化学机械平整化(ECMP) 低K介质 Cu大马士革互连 摩擦电化学

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不锈钢表面的电化学机械复合抛光 被引量：3

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作者 李风 陈海燕 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期11-13,共3页

不锈钢板在生产和装饰材料中得到越来越多的应用,其表面粗糙度对产品质量有着重要影响。研究了不锈钢板的高效电化学机械抛光,介绍了一台由立式铣床改装的电化学机械复合抛光装置,讨论加工电压、磨轮压力与加工效率的关系以及加工电压... 不锈钢板在生产和装饰材料中得到越来越多的应用,其表面粗糙度对产品质量有着重要影响。研究了不锈钢板的高效电化学机械抛光,介绍了一台由立式铣床改装的电化学机械复合抛光装置,讨论加工电压、磨轮压力与加工效率的关系以及加工电压对表面粗糙度的影响。研究结果表明,电化学机械复合加工可以得到更高的加工效率和更好的加工质量。 展开更多

关键词 电化学机械加工 复合加工 抛光 磨削 不锈钢板

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D60钨钢电化学机械复合抛光试验研究 被引量：2

11

作者 徐波 干为民 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2009年第9期76-78,共3页

为了解决高硬度高耐磨性冲压模材料日本富士D60钨钢的抛光难题,研究了D60钨钢电化学机械复合抛光工艺。在研制了电化学机械复合抛光试验机的基础上,通过对加工间隙、电解液温度、电解液浓度、加工时间等试验参数的正交试验及单因数试验... 为了解决高硬度高耐磨性冲压模材料日本富士D60钨钢的抛光难题,研究了D60钨钢电化学机械复合抛光工艺。在研制了电化学机械复合抛光试验机的基础上,通过对加工间隙、电解液温度、电解液浓度、加工时间等试验参数的正交试验及单因数试验的研究,找到了比较优化的抛光工艺参数。试验表明:在20min内,能将D60钨钢表面粗糙度从Ra1·51μm降到Ra0·2μm左右。 展开更多

关键词 D60钨钢 电化学机械复合抛光 粗糙度

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电化学机械加工在碳钢管内孔光整中的应用 被引量：9

12

作者 周锦进 阿达依.谢尔亚孜旦 安晓刚 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期145-148,共4页

结合电化学机械加工特点,针对碳钢管内孔原始表面质量现状,基于适度强化机械作用的设想,试验分析了电化学机械加工主要工艺参数对碳钢管内孔光整效果的影响;验证了表面毛化对光整效果及生产率的提高是有益的;并在此基础上实现了碳钢管... 结合电化学机械加工特点,针对碳钢管内孔原始表面质量现状,基于适度强化机械作用的设想,试验分析了电化学机械加工主要工艺参数对碳钢管内孔光整效果的影响;验证了表面毛化对光整效果及生产率的提高是有益的;并在此基础上实现了碳钢管内孔表面的光整,使其表面粗糙度达到0.2μm以内。 展开更多

关键词 碳钢 管材 电化学机械加工 光整 表面质量

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电化学机械光整加工 被引量：6

13

作者 周锦进 杨连文 +1 位作者 徐中耀 刘翠华 《电加工》 1992年第5期19-23,共5页

介绍了电化学机械光整加工的工艺特点和适用范围。

关键词 电化学机械光整加工 工艺特点

全文增补中

导电聚合物的电化学机械性能及其致动器 被引量：2

14

作者 黄美荣 李新贵 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期304-307,共4页

论述了导电聚合物优异的电化学机械性能 ,系统综述了新近研制的各种导电聚合物致动器的组装及特性。指出有些导电聚合物致动器具有传感和执行双重功能等性能特点 ,在机器人机械手、机器昆虫、人工假肢、分子发动机 。

关键词 导电聚合物 电化学机械性能 致动器 聚苯胺 聚吡咯 聚噻吩

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电化学机械加工轴承滚道的表面特性 被引量：1

15

作者 周锦进 王晓明 《轴承》 北大核心 2002年第9期15-17,共3页

研究了电化学机械加工轴承滚道的表面特性 ,并同传统超精加工进行了系统的分析比较。对电化学机械加工轴承进行了性能检测和寿命实验 ,证实了用电化学机械加工轴承滚道后 ,轴承的各项性能指标明显改善 。

关键词 电化学机械加工 套圈 滚道 表面质量 轴承

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电化学机械复合抛光不锈钢板 被引量：4

16

作者 王军 《机床与液压》 北大核心 2003年第4期289-290,243,共3页

设计了电化学机械复合抛光装置、工具 ,研究了加工电压、磨轮压力与加工速度的关系 ,加工电压对表面粗糙度的影响。

关键词 电化学机械复合抛光 不锈钢板 抛光装置 加工电压 磨轮压力 加工速度 表面粗糙度

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充液阀缸体脉冲电化学机械抛光研究 被引量：2

17

作者 赵雪松 李文江 《电加工与模具》 2003年第3期34-36,共3页

论述了脉冲电化学机械抛光的工作原理及充液阀缸体的加工方案、阴极设计、参数选择和加工效果。实验表明 ,脉冲电化学机械抛光是一种有效的镜面加工方法。该工艺的关键是如何使电化学作用与机械作用相匹配 。

关键词 液压缸 充液阀缸体 脉冲电化学机械抛光 工作原理 加工方案 钝化膜

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电化学机械复合加工实时压紧力控制的研究

18

作者 孟建兵 赵玉刚 董小娟 《机械设计与制造》 北大核心 2005年第7期107-109,共3页

分析了压紧力变化的原因以及对电化学机械复合加工的影响,在此基础上以Windows98为开发平台,以Delphi、VC、VTOOLSD为开发语言,以工控PC机作为控制系统的核心,开发了基于脉冲电化学机械复合加工的实时压紧力控制系统,使电化学作用和机... 分析了压紧力变化的原因以及对电化学机械复合加工的影响,在此基础上以Windows98为开发平台,以Delphi、VC、VTOOLSD为开发语言,以工控PC机作为控制系统的核心,开发了基于脉冲电化学机械复合加工的实时压紧力控制系统,使电化学作用和机械作用达到良好的匹配,从而有效地提高了加工效率和表面质量。 展开更多

关键词 电化学机械复合加工 实时控制 VXD

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电压对铜电化学机械平整化性能影响的实验研究

19

作者 闫茂振 翟文杰 +1 位作者 孙素梅 欧阳勇 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期51-55,60,共6页

在质量分数30%有机膦酸(HEDP)和0.02 mol/L苯骈三氮唑(BTA)电解液中,模拟实验研究静、动态下电压对铜的电化学机械平整化材料去除率和表面质量的影响规律。实验结果表明,铜在30%HEDP+0.02 mol/L BTA电解液中的钝化电压区间为0.2～1.1 V... 在质量分数30%有机膦酸(HEDP)和0.02 mol/L苯骈三氮唑(BTA)电解液中,模拟实验研究静、动态下电压对铜的电化学机械平整化材料去除率和表面质量的影响规律。实验结果表明,铜在30%HEDP+0.02 mol/L BTA电解液中的钝化电压区间为0.2～1.1 V,当阳极电势为0.5 V时,BTA的腐蚀抑制效率接近90%;静、动态下铜的材料去除率均随施加电压的增大而增大,但施加电压过大,铜表面出现腐蚀坑;在不降低表面质量的前提下,当外界施加电压0.5 V时,能较好地平衡电化学作用与机械作用,达到较高的材料去除率。 展开更多

关键词 电化学机械平整化 材料去除率 表面质量 化学作用 机械作用

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电化学机械抛光颗粒型复合材料仿真及实验研究

20

作者 李远波 刘国跃 +2 位作者 郭钟宁 王贺宾 刘江文 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2011年第10期94-98,共5页

建立了单颗粒以及嵌片式复合的有限元模型,发现较小的极间间隙、适当加工电压以及工艺流程能够达到较好的抛光效果。实验验证,一次复合抛光加微量进给或不进给的纯机械反向磨削的工艺,能够获得表面粗糙度0.5μm左右的加工表面。

关键词 颗粒增强型金属基复合材料 电化学机械加工 有限元 工艺研究

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