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电容式微机械超声传感器设计与仿真 被引量:7
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作者 王朝杰 王红亮 +2 位作者 段培盛 陈一波 胡晓峰 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期284-288,共5页
建立电容式微机械超声传感器(CMUT)微元三维有限元模型,经过分析CMUT微元不同结构对CMUT性能的影响,得到CMUT结构参数。设定工作频率范围1~2 MHz,工作电压Vdc<100V,首先,利用有限元模型进行模态分析研究薄膜参数与一阶频率的关系,以... 建立电容式微机械超声传感器(CMUT)微元三维有限元模型,经过分析CMUT微元不同结构对CMUT性能的影响,得到CMUT结构参数。设定工作频率范围1~2 MHz,工作电压Vdc<100V,首先,利用有限元模型进行模态分析研究薄膜参数与一阶频率的关系,以此确定薄膜参数;然后,在阐述相关理论和静态分析的基础上,仿真、分析空腔对CMUT性能的影响,进而确定空腔高度;最后,通过静电-机械耦合分析和计算机电耦合系数优化电极参数。对所设计的CMUT结构进行仿真验证,工作频率为1.65 MHz,塌陷电压为68 V,满足应用要求。 展开更多
关键词 电容式微机械超声传感器(CMUT) COMSOL MULTIPHYSICS 塌陷电压 机电耦合系数
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机械传感器测量炸药近爆区爆炸破坏作用实验研究
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作者 王飞 刘彬 +3 位作者 王伟策 王耀华 顾月兵 陆明 《爆破》 CSCD 2002年第4期7-10,共4页
通过机械传感器对炸药近爆区爆炸波破坏作用研究 ,引进爆炸波能量面密度的概念 ,结果表明 ,机械传感器可以有效地测量近爆区爆炸波破坏强度 ,爆炸波能量面密度可以作为近爆区爆炸波破坏作用评定标准 ;比较机械传感器与压电传感器测量结... 通过机械传感器对炸药近爆区爆炸波破坏作用研究 ,引进爆炸波能量面密度的概念 ,结果表明 ,机械传感器可以有效地测量近爆区爆炸波破坏强度 ,爆炸波能量面密度可以作为近爆区爆炸波破坏作用评定标准 ;比较机械传感器与压电传感器测量结果 ,二者在距爆心较远区数值吻合较好。 展开更多
关键词 测量 炸药 爆炸破坏作用 实验研究 机械感器 近爆区 破坏强度 爆破工程
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农用动力机械传感器的应用及发展
3
作者 王旭 杨芳 《现代化农业》 2007年第8期37-38,共2页
关键词 农用动力机械 机械感器 发动机控制系统 应用 电子控制系统 底盘控制系统 电子技术 机械功能
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采用牺牲层技术的电容式微机械超声传感器的仿真与分析 被引量:2
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作者 郭庆 李妍 +1 位作者 高尚 张培玉 《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期705-713,共9页
电容式超声传感器有可能取代压电式超声传感器,在超声成像领域受到极大的关注。目前,对采用牺牲层释放技术加工而成的电容式微机械超声传感器(CMUT)的分析,均较少将释放工艺对其结构参数的影响进行详细的分析,故拟将牺牲层释放工艺对CMU... 电容式超声传感器有可能取代压电式超声传感器,在超声成像领域受到极大的关注。目前,对采用牺牲层释放技术加工而成的电容式微机械超声传感器(CMUT)的分析,均较少将释放工艺对其结构参数的影响进行详细的分析,故拟将牺牲层释放工艺对CMUT参数的影响进行分析。采用大型工程有限元分析软件ANSYS进行有限元分析的方法,分析释放方法对CMUT性能的影响。采用激光测振仪对超声传感器的共振频率为2.5 MHz的结构进行初步测试,实验结果和仿真结果的误差为3.9%。由仿真分析可知,CMUT振动膜的长宽比对4种CMUT的分析误差变动较大,一般情况下,当振动薄膜的长宽比大于4时,CMUT的振动频率变化不大,且4种模型的相对误差变化趋于平缓。此外,CMUT薄膜的厚度越薄,百分比差异越小。由此得知,牺牲层释放工艺对CMUT的性能有较大的影响,CMUT中支撑振动薄膜的侧墙和牺牲层的释放孔及释放通道对模型仿真有较大的影响。对采用牺牲层技术制造的CMUT,在设计和构建CMUT结构时,应考虑牺牲层释放工艺对CMUT性能的影响。实验结果和仿真结果具有很好的一致性,验证所提模型的有效性。 展开更多
关键词 电容式微机械超声传感器 共振频率 有限元仿真 生物MEMS
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数字传感器技术在农业机械中的的应用进展 被引量:3
5
作者 殷长城 崔淑玲 《数字技术与应用》 2012年第11期66-66,共1页
综述传感器技术构成等方面的特点,重点介绍传感器的发展现状。传感器技术与农业机械自动化技术等相结合,有助于优化农业,发现和处理农业机械存在的潜在问题,促进农业机械的自动化发展进程,降低能耗,节省人力资源。并分析了传感器技术在... 综述传感器技术构成等方面的特点,重点介绍传感器的发展现状。传感器技术与农业机械自动化技术等相结合,有助于优化农业,发现和处理农业机械存在的潜在问题,促进农业机械的自动化发展进程,降低能耗,节省人力资源。并分析了传感器技术在未来农业机械中的发展趋势。 展开更多
关键词 农业机械感器节点应用
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用机械传感器配制的新型GY远传水表
6
作者 鲁维德 《工程设计CAD与智能建筑》 2002年第12期55-55,共1页
本文介绍用机械传感器配制成新型GY远传水表的特性和功能
关键词 机械感器 配制 GY远传水表
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橘小实蝇触角感器超微结构及蛋白感受功能 被引量:13
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作者 杜迎刚 季清娥 +1 位作者 陈家骅 苗青 《福建林学院学报》 CSCD 北大核心 2008年第3期229-232,共4页
扫描电镜观察发现橘小实蝇触角上有刺形感器、毛形感器和锥形感器3大类感器。刺形感器主要分布在梗节和柄节上,为机械感器;毛形感器和锥形感器仅分布在鞭节上,其中毛形感器是化学感器。研究切除触角不同部位后的橘小实蝇对蛋白的反应,... 扫描电镜观察发现橘小实蝇触角上有刺形感器、毛形感器和锥形感器3大类感器。刺形感器主要分布在梗节和柄节上,为机械感器;毛形感器和锥形感器仅分布在鞭节上,其中毛形感器是化学感器。研究切除触角不同部位后的橘小实蝇对蛋白的反应,结果表明橘小实蝇蛋白感器主要分布在鞭节上。 展开更多
关键词 橘小实蝇 蛋白 机械感器 化学感器
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高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器
8
作者 乔靖评 焦斌斌 +10 位作者 刘瑞文 孔延梅 云世昌 赵成圆 刘鑫 叶雨欣 杜向斌 余立航 贾士奇 王子龙 李思博 《微纳电子技术》 CAS 2024年第12期81-89,共9页
真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该... 真空度传感器是真空检测的核心元件。基于全桥结构微电子机械系统(MEMS)皮拉尼芯片开发了一款高精度宽量程MEMS皮拉尼真空度传感器。全桥结构的设计从芯片级有效抑制了传感器的温漂。测试结果表明,传感器最大温漂为0.15%/℃。校准后,该传感器能够在5×10^(-2)~1.01×10^(5)Pa的真空度范围内实现小于5%的高读数精度,最大灵敏度为1.34 V/Dec。传感器平均噪声小于-100 dB,理论计算最小检测极限为1.9×10^(-3)Pa。该真空度传感器具有宽量程和高检测精度的特点,能够满足不同领域的真空检测需求。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 皮拉尼真空度传感器 硅丝式 高精度 宽量程
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电动汽车永磁同步轮毂电机无位置传感器控制方法综述 被引量:2
9
作者 张祥 《汽车文摘》 2021年第4期7-11,共5页
在石油开采过度和环境污染等问题愈来愈严重的情况下,世界各国政府和汽车生产商加大了对电动汽车的研发力度。目前,轮毂电机驱动电动汽车作为一种比较新的电动汽车形式,正受到世界各国汽车生产商的青睐。为了提高电动汽车整车控制性能,... 在石油开采过度和环境污染等问题愈来愈严重的情况下,世界各国政府和汽车生产商加大了对电动汽车的研发力度。目前,轮毂电机驱动电动汽车作为一种比较新的电动汽车形式,正受到世界各国汽车生产商的青睐。为了提高电动汽车整车控制性能,往往是采用普通机械式传感器的方法来获取轮毂电机的转子位置信息,来对轮毂电机进行矢量控制,这种方法不利于汽车的轻量化且容易发生故障。为了实现轮毂电机的矢量控制,对永磁轮毂电机全速度范围无位置传感器控制方法进行了重点分析,并对电动汽车永磁同步轮毂电机无位置传感器控制技术发展进行了展望,认为信号注入法的改进、参数敏感问题及切换算法的改进是未来的研究方向和发展趋势。 展开更多
关键词 轮毂电机驱动 机械式传感器 无位置传感器控制 信号注入法 切换算法 电动汽车
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灵敏感知水下环境,这种传感器“长”了鱼侧线
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作者 洪恒飞 江耘 《中国科技财富》 2022年第3期38-39,共2页
岸上的行人稍一靠近,原本在近岸悠哉游弋的鱼群会立刻退避、保持安全距……这一感知能力,来自鱼类与水生两栖类动物进化出的侧线传感器,动物们通过这种传感器判断周围水流、礁石等环境变化,从而躲避侵害。近日,记者从中国科学院宁波材... 岸上的行人稍一靠近,原本在近岸悠哉游弋的鱼群会立刻退避、保持安全距……这一感知能力,来自鱼类与水生两栖类动物进化出的侧线传感器,动物们通过这种传感器判断周围水流、礁石等环境变化,从而躲避侵害。近日,记者从中国科学院宁波材料技术与工程研究所获悉,该所陈涛研究员、肖鹏副研究员开发了基于石墨烯/Ecoflex薄膜的仿鱼侧线水下机械传感器,能够感知水下生物游过时产生的波动,并通过调控自支撑复合薄膜的尺寸实现0.3--1.8米的水下深度探测。相关论文近期发表在学术期刊《纳微快报》。 展开更多
关键词 中国科学院 水下环境 两栖类动物 机械感器 学术期刊 石墨烯 自支撑 复合薄膜
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基于STM32F407与PM1158的焦炉煤气氧含量在线分析仪设计 被引量:4
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作者 王梦佳 王晓荣 +1 位作者 龚飞 孔德鸿 《电子器件》 CAS 北大核心 2016年第2期459-463,共5页
设计了一种基于STM32F407的焦炉煤气氧含量在线分析仪。该分析仪采用数字型磁力机械式氧传感器PM1158进行氧含量的测量,它不仅能够测量常量氧,而且也能够用于微量氧的检测,测量精度高、响应速度快。传感器输出的信号经过信号采集电路及... 设计了一种基于STM32F407的焦炉煤气氧含量在线分析仪。该分析仪采用数字型磁力机械式氧传感器PM1158进行氧含量的测量,它不仅能够测量常量氧,而且也能够用于微量氧的检测,测量精度高、响应速度快。传感器输出的信号经过信号采集电路及调理电路送入微处理器STM32F407中进行后续处理。实验结果表明,研制的焦炉煤气氧含量在线分析仪抗干扰能力强、稳定性好,完全符合工业现场的需求。 展开更多
关键词 在线分析仪 焦炉煤气氧含量 STM32F407 磁力机械式氧传感器
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频率步进脉冲引信目标一维距离像测距模糊及对策
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作者 胡秀娟 邓甲昊 +1 位作者 周志峰 桑会平 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2008年第4期8-11,共4页
为获取无线电引信目标信息,采用频率步进脉冲波形,并通过IFFT合成目标一维高分辨距离像。通过回波采样点的位置解决缠绕问题,进而采用同距离舍弃法和同距离选大法去除目标冗余,并给出仿真结果,实现了引信目标的较精确成像。
关键词 机械电子传感器工程 无线电引信 成像技术 高分辨率 信号处理
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水稻插秧机船板壅泥问题的技术改进
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作者 柳春柱 任世虎 林敬国 《现代化农业》 2004年第5期31-31,共1页
分析了水稻插秧机船板壅泥壅苗对水稻插秧质量造成的影响 ,阐述了用可调式船板及机械传感器组合进行解决的方法。
关键词 水稻插秧机 船板壅泥 技术改进 可调式船板 机械式传感器
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轮胎粉碎爆破近爆区压力测试方法研究 被引量:4
14
作者 陈晓理 王耀华 刘斌 《工程爆破》 2004年第1期9-12,共4页
测量近爆区压力对于正确认识废弃轮胎粉碎爆破的机理及确定相应的爆炸工艺参数具有关键作用。针对现有压电传感器不能测定近爆区爆轰压力的现状 ,研制了用于测试近爆区爆轰产物压力的机械传感器 ,并对其进行了静压标定、落锤标定和爆炸... 测量近爆区压力对于正确认识废弃轮胎粉碎爆破的机理及确定相应的爆炸工艺参数具有关键作用。针对现有压电传感器不能测定近爆区爆轰压力的现状 ,研制了用于测试近爆区爆轰产物压力的机械传感器 ,并对其进行了静压标定、落锤标定和爆炸载荷试验。试验结果表明 ,机械传感器是测量近爆区压力的有效手段。 展开更多
关键词 爆破粉碎 废弃轮胎处理 近爆区 压力测试 机械感器 爆破参数
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虚实结合 打造“不一样”的新闻直播——北京电视台图文在线包装系统在新闻直播中的应用 被引量:1
15
作者 梁爽 刘通 武晓雪 《影视制作》 2011年第9期53-56,共4页
本文介绍了北京台全新搭建的BTV350m2高清新闻演播室暨新闻高清非线制播系统在在线包装图文系统方面的应用,并着重介绍了在线虚拟和新闻演播室结合的新闻直播节目制作手段的使用颠覆了传统意义上的节目播报模式,为新闻直播呈现了鲜活的... 本文介绍了北京台全新搭建的BTV350m2高清新闻演播室暨新闻高清非线制播系统在在线包装图文系统方面的应用,并着重介绍了在线虚拟和新闻演播室结合的新闻直播节目制作手段的使用颠覆了传统意义上的节目播报模式,为新闻直播呈现了鲜活的现场效果,满足新闻节目不断发展创新的节目包装需求及大量新闻直播节目中的实时图文信息播出需求的创新应用。 展开更多
关键词 在线图文包装系统 新闻直播 机械感器技术
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Optical fiber based slide tactile sensor for underwater robots 被引量:1
16
作者 谭定忠 王启明 +2 位作者 宋瑞晗 姚昕 顾义华 《Journal of Marine Science and Application》 2008年第2期122-126,共5页
In the underwater environment, many visual sensors don’t work, and many sensors which work well for robots working in space or on land can not be used underwater. Therefore, an optical fiber slide tactile sensor was ... In the underwater environment, many visual sensors don’t work, and many sensors which work well for robots working in space or on land can not be used underwater. Therefore, an optical fiber slide tactile sensor was designed based on the inner modulation mechanism of optical fibers. The principles and structure of the sensor are explained in detail. Its static and dynamic characteristics were analyzed theoretically and then simulated. A dynamic characteristic model was built and the simulation made using the GA based neural network. In order to improve sensor response, the recognition model of the sensor was designed based on the ‘inverse solution’ principle of neural networks, increasing the control precision and the sensitivity of the manipulator. 展开更多
关键词 underwater robot MANIPULATOR tactile sensor optical fiber
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用于MEMS微电容检测的全差分放大器
17
作者 江儒龙 孔德义 +3 位作者 李庄 鲍路路 林丙涛 郭攀 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期181-184,192,共5页
设计了一种用于MEMS电容传感器的低噪声低失调全差分运算放大器。微传感器传感电容一般很小,传感电容的变化更小。低噪声低失调放大器大大提高了整个传感器检测电路精度。该放大器采用连续时间共模反馈方法稳定共模输出、低阻结点斩波... 设计了一种用于MEMS电容传感器的低噪声低失调全差分运算放大器。微传感器传感电容一般很小,传感电容的变化更小。低噪声低失调放大器大大提高了整个传感器检测电路精度。该放大器采用连续时间共模反馈方法稳定共模输出、低阻结点斩波和动态匹配方法以期达到有稳定输出的低噪声低失调全差分放大器,给出基于HJTC 0.18μm CMOS 1P6M工艺的仿真结果,经过精心设计,各项指标达到或超过应用要求。 展开更多
关键词 微电子机械系统电容传感器 全差分运放 共模反馈 低噪声
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回转式空气预热器密封技术中关键部件的研究与应用 被引量:1
18
作者 刘凤友 盛伟 +2 位作者 席泽艳 周朋 高清河 《沈阳工程学院学报(自然科学版)》 2018年第2期112-116,130,共6页
针对机械传感器中的探头和限位开关等故障问题,提出在空气预热器内安装一种简单并易于检修的探针装置,使扇形板与密封片之间保持固定的距离,并对某电厂的2台空气预热器进行了间隙跟踪密封技术的实践和探索。测试结果表明,改造后的空气... 针对机械传感器中的探头和限位开关等故障问题,提出在空气预热器内安装一种简单并易于检修的探针装置,使扇形板与密封片之间保持固定的距离,并对某电厂的2台空气预热器进行了间隙跟踪密封技术的实践和探索。测试结果表明,改造后的空气预热器的漏风率明显降低,各项经济技术指标显著提高,为同类型锅炉的节能改造提供了借鉴。 展开更多
关键词 空气预热器 漏风率 机械感器 间隙测量
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面向CMUT声发射特性的驱动电路优化设计 被引量:1
19
作者 李一凡 张国军 +3 位作者 何常德 王子渊 高鹏飞 孟亚楠 《应用声学》 CSCD 北大核心 2022年第1期168-172,共5页
根据电容式微机械超声换能器(CMUT)的工作原理,设计了用于驱动CMUT发射超声波的电路。通过适当的串行匹配,消除了脉冲激励信号的过冲现象。在此基础上进一步探究了脉冲激励参数对CMUT声发射特性影响。结果表明,随着激励脉冲个数的增加,C... 根据电容式微机械超声换能器(CMUT)的工作原理,设计了用于驱动CMUT发射超声波的电路。通过适当的串行匹配,消除了脉冲激励信号的过冲现象。在此基础上进一步探究了脉冲激励参数对CMUT声发射特性影响。结果表明,随着激励脉冲个数的增加,CMUT输出超声信号的有效带宽逐渐变窄,二次谐波逐渐增强;随着激励脉冲占空比的增加,CMUT的输出声压先增大后减小,二次谐波先减小后增大。该文研究结果为CMUT的测试与应用奠定了基础。 展开更多
关键词 电容式微机械超声传感器 驱动电路 串行匹配 声发射特性
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智能微尘的研发与应用前景 被引量:1
20
作者 庸龙 《电子产品世界》 2003年第08A期55-55,74,共2页
智能微尘是一种能够以无线传输方式传递信息的微型电子机械传感器(MEMS),它可以感应到周围诸多环境参数的微观改变,从光线强度变化到振动能量大小,几乎无所不能。它能够收集到大量有效数据,并能进行适当的计算与处理,然后利用双向无线... 智能微尘是一种能够以无线传输方式传递信息的微型电子机械传感器(MEMS),它可以感应到周围诸多环境参数的微观改变,从光线强度变化到振动能量大小,几乎无所不能。它能够收集到大量有效数据,并能进行适当的计算与处理,然后利用双向无线通信装置将这些信息在相距1000英尺的微尘器件间往来传送。虽然智能微尘技术的应用前景十分美好,但当前仍存在着许多技术难题使它暂时还不能获得广泛应用。研究者和商业开发者们在对其潜在的应用价值热切观望之际,也谨慎地指出了设计问题和供电问题需要尽快解决。 展开更多
关键词 硅片技术 生产工艺 监测器 供电技术 微型电子机械感器 智能微尘
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