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朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究被引量：5: 1; 作者程仲元邹积岩 +1 位作者杨磊张汉明《应用科学学报》 CAS CSCD 1996年第4期475-480,共6页; 简要分析了朗谬尔（Ｌａｎｇｍｕｉｒ）探针用于真空电弧镀膜（ＶＡＣ）等离子体诊断的可行性及理论适用性问题．介绍了一种可用于ＶＡＣ等离子体在线监测的探针诊断系统，并利用此系统分析了不同工艺参数下等离子体参数的变化．; 关键词等离子体诊断朗谬尔探针真空电弧镀膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断被引量：5: 2; 作者吴振宇汪家友杨银堂《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期71-73,共3页; 电子回旋共振 (ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用。利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究 ,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度 ... 展开更多; 关键词电子回旋共振等离子体源 ECR 朗谬尔探针等离子体诊断饱和电流; 在线阅读下载PDF 职称材料

等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断被引量：3: 3; 作者朱晓东温晓辉 +1 位作者周海洋詹如娟《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期67-70,共4页; 报道了利用光发射谱 (OES)和朗谬尔探针对热阴极直流放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的等离子体条件进行原位研究的部分结果 ,研究了几种过程参数变化中等离子体状态 ,并与金刚石膜的沉积相联系。当CH4 浓度变化时 ,CH基团的发射强... 展开更多; 关键词电子温度电子密度金刚石薄膜等离子体化学气相沉积光发射谱朗谬尔探针原位诊断生长机理; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统: 4; 作者史磊陈俊芳 +4 位作者符斯列杨春林黄孟祥赖秀琼张洪滨《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2008年第3期60-65,共6页; 该文提出了一种基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法.该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰.信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述... 展开更多; 关键词等离子体源 FPGA 朗谬尔探针自动诊断; 在线阅读下载PDF 职称材料

气体放电中静电探针表面的污染和清洗: 5; 作者杨宣宗袁定朴 +1 位作者王龙蒋地明《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期55-60,共6页; 本文讨论了在气体放电中静电探针表面的污染及其对等离子体电子密度、电子温度和空间电位等基本参数测量的影响，提出了一种能有效地清除探针表面污染的方法。; 关键词表面污染朗谬尔探针放电; 在线阅读下载PDF 职称材料

螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究被引量：7: 6; 作者朱永红吴卫东 +1 位作者唐永建孙卫国《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期308-312,共5页; 采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的... 展开更多; 关键词等离子体诊断等离子体参数射频调谐朗谬尔探针螺旋波等离子体; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究被引量：1: 7; 作者高璇辛煜 +1 位作者黄晓江宁兆元《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期504-508,共5页; 等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随... 展开更多; 关键词微感应耦合等离子体朗谬尔探针发射光谱离子密度电子温度; 在线阅读下载PDF 职称材料

交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性被引量：2: 8; 作者卢春山辛煜 +1 位作者孙刚孙恺《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期174-178,共5页; 本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中。本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Ar谱线[4s’(1/2)0-4p’(1/2)]的发光强度的表征... 展开更多; 关键词感应耦合等离子体天线朗谬尔探针发射光谱; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究被引量：5: 1; 作者程仲元邹积岩杨磊张汉明; 机构华中理工大学; 出处《应用科学学报》 CAS CSCD 1996年第4期475-480,共6页; 文摘简要分析了朗谬尔（Ｌａｎｇｍｕｉｒ）探针用于真空电弧镀膜（ＶＡＣ）等离子体诊断的可行性及理论适用性问题．介绍了一种可用于ＶＡＣ等离子体在线监测的探针诊断系统，并利用此系统分析了不同工艺参数下等离子体参数的变化．; 关键词等离子体诊断朗谬尔探针真空电弧镀膜; Keywords plasma diagnosis, Langmuir probe, vacuum are coating; 分类号 TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断被引量：5: 2; 作者吴振宇汪家友杨银堂; 机构西安电子科技大学微电子研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期71-73,共3页; 文摘电子回旋共振 (ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用。利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究 ,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度 ,电子密度和等离子体电势等参量。实验证明 ,ECR等离子体源能够稳定地产生电子温度较低的高密度等离子体。; 关键词电子回旋共振等离子体源 ECR 朗谬尔探针等离子体诊断饱和电流; Keywords ECR,Plasma,Diagnostics,Langmuir probe; 分类号 TL65 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断被引量：3: 3; 作者朱晓东温晓辉周海洋詹如娟; 机构中国科学技术大学结构成分分析实验室中国科学技术大学近代物理系; 出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2001年第1期67-70,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目! (19875 0 5 3和 19835 0 30 ); 文摘报道了利用光发射谱 (OES)和朗谬尔探针对热阴极直流放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的等离子体条件进行原位研究的部分结果 ,研究了几种过程参数变化中等离子体状态 ,并与金刚石膜的沉积相联系。当CH4 浓度变化时 ,CH基团的发射强度和电子密度ne 的变化表现出相似趋势 ,均出现一极大值。而在高CH4 浓度 ,C2 的发射出现。在气压变化过程中 ,CH的发射强度和ne 均随气压的升高而下降 ,C2 的发射强度变化不大。用OES和朗谬尔探针测量的电子温度Te 所显示的结果是一致的。在这些过程中 ,电子碰撞应该是CH发射的主要机制 ,C2; 关键词电子温度电子密度金刚石薄膜等离子体化学气相沉积光发射谱朗谬尔探针原位诊断生长机理; Keywords Electron temperature,Electron density,Species,Diamond fil; 分类号 O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统: 4; 作者史磊陈俊芳符斯列杨春林黄孟祥赖秀琼张洪滨; 机构华南师范大学物理与电信工程学院; 出处《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2008年第3期60-65,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(10575039) 教育部高等学校博士学科点专项科研资助项目(20040574008) 广东省自然科学基金重点资助项目(05100534); 文摘该文提出了一种基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统的总体设计方案及其硬件实现方法.该系统的外围接口电路采用微伏放大模块和隔离放大模块,提高了信号采集的精度,并有效克服了各种干扰.信号的采集与处理通过Verilog HDL语言描述,并在Cyclone系列可编程逻辑器件FPGA上实现,提高了等离子体静电探针参数诊断的效率.得到了放电气压0.25 Pa、射频13.56MHz、功率200 W条件下石英管内的空气等离子体密度和电子温度.; 关键词等离子体源 FPGA 朗谬尔探针自动诊断; Keywords plasma source FPGA static probe automatic diagnosis; 分类号 TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气体放电中静电探针表面的污染和清洗: 5; 作者杨宣宗袁定朴王龙蒋地明; 机构中国科学院物理研究所; 出处《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期55-60,共6页; 文摘本文讨论了在气体放电中静电探针表面的污染及其对等离子体电子密度、电子温度和空间电位等基本参数测量的影响，提出了一种能有效地清除探针表面污染的方法。; 关键词表面污染朗谬尔探针放电; Keywords Langmuir probe Surface contamination; 分类号 O461 [理学—电子物理学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究被引量：7: 6; 作者朱永红吴卫东唐永建孙卫国; 机构中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川大学原子与分子物理研究所; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期308-312,共5页; 基金中国工程物理研究院重大基金资助课题(No.2005Z0805); 文摘采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量。运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较。结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa^4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致。; 关键词等离子体诊断等离子体参数射频调谐朗谬尔探针螺旋波等离子体; Keywords Plasma diagnosis, Plasma parameter, RF tuned Langmuir single probe, Plasma excited by helicon-wave; 分类号 O53 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究被引量：1: 7; 作者高璇辛煜黄晓江宁兆元; 机构苏州大学物理科学与技术学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期504-508,共5页; 基金国家自然科学基金项目资助(No.10775103); 文摘等离子体小型化后往往会产生一些独特的等离子体性质。本文采用朗谬尔探针和高分辨率发射光谱技术对不同激发频率下产生的小型感应耦合等离子体进行了测量,选用的三种频率为13.56MHz,27.12MHz和40.68MHz。朗谬尔探针的实验结果表明,随着射频输入功率的增加以及激发频率的上升均会导致等离子体功率吸收的增强,从而导致了离子密度增大和电子温度下降。利用了气体追踪法测量感应放电中的气体温度,可以发现,由于电子诱导加热的作用,气体温度随气压和输入功率的增加而增加,射频频率的提高也有助于等离子体气体温度的上升。; 关键词微感应耦合等离子体朗谬尔探针发射光谱离子密度电子温度; Keywords Miniaturizde inductively coupled plasma, Langmuir Probe, Optical emission spectroscopy, Ion density, Electron temperature; 分类号 O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性被引量：2: 8; 作者卢春山辛煜孙刚孙恺; 机构苏州大学物理科学与技术学院薄膜材料江苏省重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期174-178,共5页; 基金国家自然科学基金资助(No.10305008); 文摘本文介绍了一种交叉型天线射频感应耦合等离子体源,射频天线穿过交叉排列的石英管内置于真空腔体中。本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Ar谱线[4s’(1/2)0-4p’(1/2)]的发光强度的表征,并使用自制的Rogowski线圈测量了天线中的射频电流变化。结果表明,等离子体放电随着射频输入功率的增加存在着E模式向H模式的转变,H模式放电时发光强度及射频电流明显增大。电子温度随气压的增大而降低,几乎不受功率的影响。该等离子体源所产生的等离子体密度较高,等离子体均匀性在中心±60 mm区域内优于90%。; 关键词感应耦合等离子体天线朗谬尔探针发射光谱; Keywords Inductively coupled plasma Antenna Langmuir probe Optical emission spectroscopy（OES）; 分类号 O539 [理学—等离子体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	朗谬尔探针用于VAC等离子体诊断的初步研究	程仲元邹积岩杨磊张汉明	《应用科学学报》 CAS CSCD	1996	5	在线阅读下载PDF 职称材料
2	电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断	吴振宇汪家友杨银堂	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断	朱晓东温晓辉周海洋詹如娟	《真空科学与技术》 CSCD 北大核心	2001	3	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于FPGA的等离子体朗谬尔探针自动检测系统	史磊陈俊芳符斯列杨春林黄孟祥赖秀琼张洪滨	《华南师范大学学报（自然科学版）》 CAS	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	气体放电中静电探针表面的污染和清洗	杨宣宗袁定朴王龙蒋地明	《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心	1994	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究	朱永红吴卫东唐永建孙卫国	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	7	在线阅读下载PDF 职称材料
7	不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究	高璇辛煜黄晓江宁兆元	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	交叉型天线感应耦合等离子体源放电特性及均匀性	卢春山辛煜孙刚孙恺	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料