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xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电特性
被引量：
2
1
作者
孙科学
常月欣
成谢锋
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第14期2299-2304,共6页
近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究。有效横向压电系数(e31,f)是压电薄膜材料的一个重要性能指标,本工作重点研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的有效横向压电系数。在优化xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的基础...
近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究。有效横向压电系数(e31,f)是压电薄膜材料的一个重要性能指标,本工作重点研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的有效横向压电系数。在优化xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的基础上,通过多层悬臂梁研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的有效横向压电系数,当压电薄膜悬臂梁在交变电压作用下产生弯曲振动时,利用激光多普勒测振仪测量多层悬臂梁自由端的振动振幅,并根据悬臂梁法评估横向压电系数的基本原理,计算薄膜的有效横向压电系数,进而研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的横向压电性能。通过调控La的掺量,可优化压电薄膜的性能。
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关键词
射频磁控溅射沉积
薄膜
有效横向压电特性
悬臂梁
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职称材料
题名
xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电特性
被引量：
2
1
作者
孙科学
常月欣
成谢锋
机构
南京邮电大学电子与光学工程学院
江苏省射频集成与微组装工程实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第14期2299-2304,共6页
基金
国家自然科学基金(11304160)
南京邮电大学自然科学基金(NY215111)~~
文摘
近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的应用得到了广泛关注和研究。有效横向压电系数(e31,f)是压电薄膜材料的一个重要性能指标,本工作重点研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的有效横向压电系数。在优化xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的基础上,通过多层悬臂梁研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的有效横向压电系数,当压电薄膜悬臂梁在交变电压作用下产生弯曲振动时,利用激光多普勒测振仪测量多层悬臂梁自由端的振动振幅,并根据悬臂梁法评估横向压电系数的基本原理,计算薄膜的有效横向压电系数,进而研究xBiInO3-(1-x)PbTiO3薄膜的横向压电性能。通过调控La的掺量,可优化压电薄膜的性能。
关键词
射频磁控溅射沉积
薄膜
有效横向压电特性
悬臂梁
Keywords
RF magnetron sputtering deposition
thin films
effective transverse piezoelectricity
cantilever
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB79 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电特性
孙科学
常月欣
成谢锋
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
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