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p型4H-SiC同质外延有效层厚度
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作者 杨龙 赵丽霞 吴会旺 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第4期277-281,共5页
通过化学气相沉积法,采用不同生长工艺在4°偏角4H-SiC衬底上制备p型4H-SiC同质外延片。提出了p型4H-SiC同质外延中有效层厚度的概念,研究发现导致外延有效层厚度减少的直接原因是自掺杂效应的存在。采用傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、... 通过化学气相沉积法,采用不同生长工艺在4°偏角4H-SiC衬底上制备p型4H-SiC同质外延片。提出了p型4H-SiC同质外延中有效层厚度的概念,研究发现导致外延有效层厚度减少的直接原因是自掺杂效应的存在。采用傅里叶红外光谱仪(FT-IR)、汞探针电容电压(Hg-CV)和表面缺陷测试仪对p型4H-SiC同质外延片进行表征,讨论了不同工艺对外延有效层厚度的影响。结果表明,采用隔离法和阻挡层法均能提高外延有效层厚度,且掺杂浓度随距表面深度变化斜率值由1.323减小到0.073。然而,阻挡层法斜率值能进一步优化至0.050,是由于有效抑制了外延中固相和气相自掺杂。对比于优化前工艺,采用阻挡层法制备的p型4H-SiC同质外延片厚度不均匀性和表面总缺陷数量处于同一水平,掺杂浓度不均匀性由2.95%改善到2.67%。综上,采用阻挡层法能够制备出高有效层厚度、高一致性和高质量的p型4H-SiC同质外延片。 展开更多
关键词 p型4H-SiC同质外延片 有效层厚度 阻挡 隔离法 自掺杂
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基于有效锚固层厚度的煤系巷道顶板叠加梁支护理论及应用 被引量:27
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作者 姚强岭 李英虎 +3 位作者 夏泽 李学华 王烜辉 晁宁 《煤炭学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第2期672-682,共11页
通过对巷道顶板岩梁的变形及破坏特征分析,确定了顶板岩层失稳的宏观过程;针对煤系巷道顶板沉积岩层的分层特征,建立了煤系巷道顶板叠加梁力学模型,基于其协调变形及共同承载特性,求解出了叠加梁中各分层岩梁等效承载应力、层间作用力... 通过对巷道顶板岩梁的变形及破坏特征分析,确定了顶板岩层失稳的宏观过程;针对煤系巷道顶板沉积岩层的分层特征,建立了煤系巷道顶板叠加梁力学模型,基于其协调变形及共同承载特性,求解出了叠加梁中各分层岩梁等效承载应力、层间作用力以及锚杆(索)支护强化参数,揭示了锚杆(索)对叠加梁结构的支护作用机理,即优化不同抗弯刚度的各层顶板的承载应力分配,充分发挥各岩层力学承载性能,控制顶板岩层的整体下沉,同时提高叠加梁的黏聚力及变形模量,间接强化整体锚固结构的承载强度。针对顶板叠加梁支护结构在巷道不同服务阶段的失稳条件,提出了煤系巷道顶板支护的“有效锚固”状态以及有效锚固层厚度理念,用于评价巷道支护中锚杆(索)对顶板实际的锚固能力,形成了煤系巷道顶板叠加梁支护理论。基于该支护理论,以皖北煤电集团任楼煤矿Ⅱ7_(3)24S工作面回风巷为工程背景,对其在近距离煤层、采空区下伏成巷条件下进行了顶板支护设计,根据层间距在>6,4~6以及2~4 m的3种不同范围,将该巷道进行了分区,通过对顶板叠加梁结构进行分析与有效锚固层厚度计算,分别确定了在不同巷道区域内采用锚杆与注浆锚索为主的支护技术参数,并结合现场工业性试验验证了该支护方案的合理性与有效性。 展开更多
关键词 叠加梁理论 煤系巷道 锚杆支护机理 有效锚固”状态 有效锚固厚度
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油气藏自然电位与油层视有效厚度的关系研究 被引量:5
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作者 王君恒 潘竹平 +3 位作者 邓明胜 祖小京 王玉样 厉玉乐 《石油勘探与开发》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期65-67,共3页
油气藏上方地表自然电位幅值与地下烃类丰度之间存在正相关定量关系,已被国内30多个油田与地区的自然电位法烃类检测工业试验结果证实。油气藏的烃类总量由不同级别的含油气层总体所决定,为了统一表征不同级别的含油气层总体,按单储系... 油气藏上方地表自然电位幅值与地下烃类丰度之间存在正相关定量关系,已被国内30多个油田与地区的自然电位法烃类检测工业试验结果证实。油气藏的烃类总量由不同级别的含油气层总体所决定,为了统一表征不同级别的含油气层总体,按单储系数将各级别含油层转换成视有效厚度,发现自然电位幅值与视有效厚度有明显的正相关关系。在松辽盆地某油田扩边区用这种方法预测含油层分布,与钻探结果一致性较好。可以利用这种相关性预测油田老开发区的外扩潜力。 展开更多
关键词 油气藏上方地表 自然电位负异常 油气有效厚度 有效厚度 相关 预测
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高陡构造背景下油气层有效厚度的确定 被引量:1
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作者 徐诗雨 林怡 +2 位作者 贾松 杨京 杨帆 《天然气勘探与开发》 2022年第1期15-21,共7页
在应用容积法估算石油天然气地质储量的时候,油气层有效厚度是计算过程中的重要参数之一。该参数的准确性对最终计算得出的油气地质储量的可靠性影响极大。尤其是在类似于四川盆地东部地区的高陡构造背景下实施的定向井,测井解释的垂厚... 在应用容积法估算石油天然气地质储量的时候,油气层有效厚度是计算过程中的重要参数之一。该参数的准确性对最终计算得出的油气地质储量的可靠性影响极大。尤其是在类似于四川盆地东部地区的高陡构造背景下实施的定向井,测井解释的垂厚在井眼轨迹和构造倾角的影响下与铅垂厚度差异较大,如果此时直接将测井解释的垂厚作为容积法的油气层有效厚度参数代入地质储量计算公式中,往往会出现最终的地质储量估算结果与实际的储量数据误差较大的问题。本次工作根据容积法地质储量估算原理,结合实际地质情况建立数学模型,运用地球物理的解释成果,推导出可直接代入容积法估算地质储量公式中的油气层有效厚度参数。研究结果表明:①井眼轨迹与油气层产状的关系可简化成2种数学模型,基于实际钻井地质情况采用不同的数学模型可确定容积法中的油气层有效厚度参数;②应用该方法得出的油气层有效厚度参数代入地质储量计算公式中可有效消除井眼轨迹、构造倾角等参数对计算结果的影响,简单易行,可大幅提高地质储量估算的工作效率和最终结果的准确性;③该方法根据具体的地质情况综合建立数学模型,应用于四川盆地东部地区的多个高陡构造气藏的储量估算中,其应用效果良好,适用性强。 展开更多
关键词 油气有效厚度 容积法 铅垂厚度 高陡构造 定向井 罗家寨气田
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高压VDMOS用外延片的外延参数设计 被引量:8
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作者 赵丽霞 袁肇耿 张鹤鸣 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期348-350,共3页
通过理论计算,对VDMOS器件的外延层厚度和掺杂浓度进行了优化设计,探讨用于VDMOS的外延工艺,讨论了外延层厚度和过渡区的测试方法,提出了有效外延层厚度是影响击穿电压的最关键参数,应用此参数监控外延工艺,提高了片内及批次间的击穿电... 通过理论计算,对VDMOS器件的外延层厚度和掺杂浓度进行了优化设计,探讨用于VDMOS的外延工艺,讨论了外延层厚度和过渡区的测试方法,提出了有效外延层厚度是影响击穿电压的最关键参数,应用此参数监控外延工艺,提高了片内及批次间的击穿电压一致性。特别通过对600 V的VDMOS外延参数及其器件结果分析得出,用此参数来调整中间和边缘厚度及不同外延设备之间的参数,使同种参数下有效外延层厚度保持相当,则可以大大减少离散性和设备间变差。 展开更多
关键词 过渡区 击穿电压 硅外延 外延厚度 外延电阻率 有效外延厚度
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HL-2A装置电子回旋共振加热波迹和功率沉积剖面的分析计算 被引量:3
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作者 石秉仁 石迎天 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期1-6,共6页
在HL-2A单零偏滤器条件下,对由弱场侧沿赤道平面垂直注入的电子回旋寻常波(O-模)的波迹和波的功率沉积剖面进行了分析计算。对近磁轴共振情形,需要确定一个有效的物理尺度以正确获得波功率沉积。单一波束的有效吸收层的厚度可以合理地... 在HL-2A单零偏滤器条件下,对由弱场侧沿赤道平面垂直注入的电子回旋寻常波(O-模)的波迹和波的功率沉积剖面进行了分析计算。对近磁轴共振情形,需要确定一个有效的物理尺度以正确获得波功率沉积。单一波束的有效吸收层的厚度可以合理地作为这一物理尺度,从而获得统一的功率沉积公式。对比研究了磁轴偏离赤道面和位于赤道面情况下的波功率沉积剖面。 展开更多
关键词 O-模加热 有效吸收厚度 功率沉积剖面
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废物处置场地下水污染地质控制方法新探索 被引量:3
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作者 王秀艳 刘长礼 +1 位作者 张云 侯宏冰 《农业环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期1207-1211,共5页
粘性土隔离层不仅具有防渗作用,还有截污作用。基于利用这种截污作用,把废物处置场的衬垫层“禁止渗滤液向地下水中渗漏”的理念转变为“隔离污染物,可允许水进入地下水”,提出了一种新的废物处置场地下水污染控制的理论方法,探讨了地... 粘性土隔离层不仅具有防渗作用,还有截污作用。基于利用这种截污作用,把废物处置场的衬垫层“禁止渗滤液向地下水中渗漏”的理念转变为“隔离污染物,可允许水进入地下水”,提出了一种新的废物处置场地下水污染控制的理论方法,探讨了地下水含水层之上的“有效隔离层足额厚度”、“截污容量”等处置场阻隔层特性新的参数的实验测试和计算方法。以北京平原区城市垃圾处置场规划区选定为例,实际应用了这种新理论方法。 展开更多
关键词 废物处置 污染控制方法 截污容量 有效隔离足额厚度
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