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晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制
被引量：
1
1
作者
陈兴林
姜晓明
王程
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1258-1264,共7页
本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统...
本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统的闭环特性,进一步给出延迟因子的参考设计方法和滤波器的选取原则,并对收敛性进行了分析.此外,为提高系统的扫描性能,引入有效学习函数来克服传统学习控制方法的学习盲目性,增强对关键性能指标的学习能力.最后采用模拟的晶圆扫描光刻系统来进行仿真和实验,以验证方法的有效性.
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关键词
晶圆扫描光刻系统
学习
控制
扫描
时间延迟
有效学习函数
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职称材料
题名
晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制
被引量：
1
1
作者
陈兴林
姜晓明
王程
机构
哈尔滨工业大学航天学院
上海机电工程研究所
出处
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1258-1264,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61174037)
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02207)
文摘
本文提出一种有效非因果学习控制方法,用于晶圆扫描光刻系统.该方法不依赖于精确的系统建模,通过引入时间延迟因子对迭代控制系统的收敛条件进行初步整形.然后选取零相位滤波器来进行二次整形,得到收敛的非因果迭代学习控制律.根据系统的闭环特性,进一步给出延迟因子的参考设计方法和滤波器的选取原则,并对收敛性进行了分析.此外,为提高系统的扫描性能,引入有效学习函数来克服传统学习控制方法的学习盲目性,增强对关键性能指标的学习能力.最后采用模拟的晶圆扫描光刻系统来进行仿真和实验,以验证方法的有效性.
关键词
晶圆扫描光刻系统
学习
控制
扫描
时间延迟
有效学习函数
Keywords
wafer scan and lithography system
learning control
scanning
time delay
effective learning function
分类号
TP13 [自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
晶圆扫描光刻系统的有效非因果学习控制
陈兴林
姜晓明
王程
《控制理论与应用》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
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