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湿法刻蚀车间有害气体扩散规律及控制技术数值模拟
被引量:
2
1
作者
董艳
刘艳
+1 位作者
赵岩
崔向兰
《安全与环境学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期1223-1231,共9页
集成电路制造企业湿法刻蚀工序中使用了大量的刻蚀液,且刻蚀液极易挥发。为有效防治集成电路制造业湿法刻蚀车间有害气体的扩散,保护作业人员的身体健康,采用CFD方法对刻蚀车间更换刻蚀液的过程进行数值模拟计算,研究有害气体扩散的规...
集成电路制造企业湿法刻蚀工序中使用了大量的刻蚀液,且刻蚀液极易挥发。为有效防治集成电路制造业湿法刻蚀车间有害气体的扩散,保护作业人员的身体健康,采用CFD方法对刻蚀车间更换刻蚀液的过程进行数值模拟计算,研究有害气体扩散的规律和控制技术。结果表明:刻蚀设备局部通风的风速和车间局部排风罩的位置是影响有害气体质量浓度分布的关键因素。当刻蚀设备的局部排风风速为6m/s,并在刻蚀设备上方车间顶部设置局部排风罩时,可使车间内作业工位处HF的质量浓度降到职业接触限值(2 mg/m^3)以下。
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关键词
安全卫生工程
集成电路制造
湿法刻蚀
有害气体扩散
数值模拟
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职称材料
面向有害气体泄漏的应急疏散路径规划算法研究
被引量:
4
2
作者
杨灵枝
裴秋艳
+2 位作者
王毅
孙倩
袁浩
《中国安全生产科学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期151-156,共6页
为研究有害气体泄漏后人员疏散的最优方案、定量计算在各条疏散路径上人员所受到的伤害程度、合理安排疏散路线疏散人员,提出1种综合考虑毒气质量浓度场、路径关系、实际疏散时间等因素的多目标优化应急疏散路径规划算法(MOEP),进而得...
为研究有害气体泄漏后人员疏散的最优方案、定量计算在各条疏散路径上人员所受到的伤害程度、合理安排疏散路线疏散人员,提出1种综合考虑毒气质量浓度场、路径关系、实际疏散时间等因素的多目标优化应急疏散路径规划算法(MOEP),进而得到应急疏散路径规划方案。然后,以某液氨泄漏事故为案例,将仅利用最短疏散路径、仅利用最少毒性负荷路径以及MOEP得出的疏散方案进行对比,验证模型有效性。研究结果表明:仅追求最短疏散路径或最少毒性负荷路径可能会导致较高的伤害或较长的疏散时间,本文最优疏散路径规划方案的实施能充分利用多条可行路径进行人员疏散,研究结果可为有毒气体泄漏事故下的应急疏散路径规划提供参考。
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关键词
应急疏散
路径规划
有害气体扩散
多目标优化算法
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职称材料
高海拔爆破掌子面CO扩散规律及风管布置优化
3
作者
张得利
刘泽功
+1 位作者
傅师贵
安刚建
《科学技术与工程》
北大核心
2025年第12期5249-5257,共9页
为了提高高海拔隧道在钻爆法施工过程中所产生CO有害气体的排放效率,改善作业人员工作环境。以高海拔在建隧道多木格隧道为研究对象,利用流体力学仿真软件Fluent针对在压入式通风方式下,设置风管距掌子面的距离、风管位置以及不同海拔高...
为了提高高海拔隧道在钻爆法施工过程中所产生CO有害气体的排放效率,改善作业人员工作环境。以高海拔在建隧道多木格隧道为研究对象,利用流体力学仿真软件Fluent针对在压入式通风方式下,设置风管距掌子面的距离、风管位置以及不同海拔高度3种因素,对CO有害气体的扩散情况进行数值模拟。模拟结果表明:当风管的位置距离掌子面过近时,会产生涡流导致CO积聚在掌子面附近,不利于CO排出掌子面附近区域;当距离较远时,会导致气流在到达掌子面时动能大量损失,也无法有效排出掌子面附近CO有害气体。当风管位置距掌子面的距离在25.2 m,风管位于隧道的顶部时,掌子面附近区域CO有害气体的排出效率最高,能够在较短时间内改善作业人员的工作环境。相对于平原地区,高海拔地区风筒距离掌子面的距离应该设置在3√S(S为隧道断面积)附近。不同海拔高度下CO在隧道内运移趋势大致相同。随着海拔高度的升高,CO质量浓度也随之升高,隧道内CO移动速度会减小,高海拔地区需要更长的通风时间。
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关键词
高海拔
隧道通风
有害气体扩散
风管布置
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职称材料
矿井封闭火区内气体运移规律
被引量:
16
4
作者
邓存宝
王继仁
洪林
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2004年第3期296-298,共3页
根据气体传质理论,煤矿井下火区封闭后,火区内生O2和有害气体运移平衡系统破坏,造成封闭火区内的O2浓度减少和CO等有害气体的积聚。当火区内化学反应达到平衡后,封闭火区内有害气体浓度逐渐减小,该过程是以气体分子在多孔介质中扩散为...
根据气体传质理论,煤矿井下火区封闭后,火区内生O2和有害气体运移平衡系统破坏,造成封闭火区内的O2浓度减少和CO等有害气体的积聚。当火区内化学反应达到平衡后,封闭火区内有害气体浓度逐渐减小,该过程是以气体分子在多孔介质中扩散为主要运移形式的质量传递过程。分析O2、CO通过封闭墙和煤层等多孔介质的扩散机理,并推导了有效扩散系数的计算公式。由公式计算封闭火区内O2降低5%的时间t0和封闭火区内CO下降到0.001%的时间t,综合考虑封闭火区内的温度,计算出火区从封闭到启封的参考时间。
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关键词
封闭火区
多孔介质
有害气体扩散
有效
扩散
系数
火区启封
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职称材料
矿井火区粉煤灰胶体充填封堵材料的试验研究
被引量:
9
5
作者
张向荣
罗振敏
+1 位作者
张嬿妮
邓军
《西安科技大学学报》
CAS
北大核心
2005年第1期9-11,共3页
采空区或巷道漏风供氧是导致矿井煤层自燃的主要原因之一。该粉煤灰胶体充填封堵材料是由粉煤灰、水、水玻璃、羧甲基纤维素、碳酸氢氨化肥等制备而成,当其比例为120∶100∶15∶0.05∶2时,初凝强度较大,8d后强度大于2MPa,已能够替代塑...
采空区或巷道漏风供氧是导致矿井煤层自燃的主要原因之一。该粉煤灰胶体充填封堵材料是由粉煤灰、水、水玻璃、羧甲基纤维素、碳酸氢氨化肥等制备而成,当其比例为120∶100∶15∶0.05∶2时,初凝强度较大,8d后强度大于2MPa,已能够替代塑性胶体(黄土)充填封堵材料,可在井下巷道中建立密闭墙,堵塞漏风,满足巷道封堵需要。并通过2m高的墙体试验,考察了浇注工艺,从而为防止煤层自燃或者为了防止有害气体扩散建立密闭墙提供了一种行之有效的方法。
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关键词
粉煤灰胶体
封堵材料
试验研究
充填
矿井
火区
羧甲基纤维素
有害气体扩散
煤层自燃
碳酸氢氨
井下巷道
墙体试验
浇注工艺
密闭墙
采空区
水玻璃
漏风
强度
防止
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职称材料
题名
湿法刻蚀车间有害气体扩散规律及控制技术数值模拟
被引量:
2
1
作者
董艳
刘艳
赵岩
崔向兰
机构
北京市劳动保护科学研究所
出处
《安全与环境学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第4期1223-1231,共9页
基金
北京市科学技术研究院青年骨干计划项目
文摘
集成电路制造企业湿法刻蚀工序中使用了大量的刻蚀液,且刻蚀液极易挥发。为有效防治集成电路制造业湿法刻蚀车间有害气体的扩散,保护作业人员的身体健康,采用CFD方法对刻蚀车间更换刻蚀液的过程进行数值模拟计算,研究有害气体扩散的规律和控制技术。结果表明:刻蚀设备局部通风的风速和车间局部排风罩的位置是影响有害气体质量浓度分布的关键因素。当刻蚀设备的局部排风风速为6m/s,并在刻蚀设备上方车间顶部设置局部排风罩时,可使车间内作业工位处HF的质量浓度降到职业接触限值(2 mg/m^3)以下。
关键词
安全卫生工程
集成电路制造
湿法刻蚀
有害气体扩散
数值模拟
Keywords
safety and hygiene engineering
integrated circuit manufacturing
wet etching
harmful gas diffusion
numerical simulation
分类号
X965 [环境科学与工程—安全科学]
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职称材料
题名
面向有害气体泄漏的应急疏散路径规划算法研究
被引量:
4
2
作者
杨灵枝
裴秋艳
王毅
孙倩
袁浩
机构
太原理工大学安全与应急管理工程学院
中国辐射防护研究院
出处
《中国安全生产科学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期151-156,共6页
文摘
为研究有害气体泄漏后人员疏散的最优方案、定量计算在各条疏散路径上人员所受到的伤害程度、合理安排疏散路线疏散人员,提出1种综合考虑毒气质量浓度场、路径关系、实际疏散时间等因素的多目标优化应急疏散路径规划算法(MOEP),进而得到应急疏散路径规划方案。然后,以某液氨泄漏事故为案例,将仅利用最短疏散路径、仅利用最少毒性负荷路径以及MOEP得出的疏散方案进行对比,验证模型有效性。研究结果表明:仅追求最短疏散路径或最少毒性负荷路径可能会导致较高的伤害或较长的疏散时间,本文最优疏散路径规划方案的实施能充分利用多条可行路径进行人员疏散,研究结果可为有毒气体泄漏事故下的应急疏散路径规划提供参考。
关键词
应急疏散
路径规划
有害气体扩散
多目标优化算法
Keywords
emergency evacuation
path planning
harmful gas diffusion
multi-objective optimization algorithm
分类号
X937 [环境科学与工程—安全科学]
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职称材料
题名
高海拔爆破掌子面CO扩散规律及风管布置优化
3
作者
张得利
刘泽功
傅师贵
安刚建
机构
安徽理工大学安全科学与工程学院
中铁四局集团第四工程有限公司
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2025年第12期5249-5257,共9页
基金
国家自然科学基金(52074013)
合肥综合性国家科学中心能源研究院项目(21KZS216)
安徽省教育厅高校自然科学基金(YJS20210395)。
文摘
为了提高高海拔隧道在钻爆法施工过程中所产生CO有害气体的排放效率,改善作业人员工作环境。以高海拔在建隧道多木格隧道为研究对象,利用流体力学仿真软件Fluent针对在压入式通风方式下,设置风管距掌子面的距离、风管位置以及不同海拔高度3种因素,对CO有害气体的扩散情况进行数值模拟。模拟结果表明:当风管的位置距离掌子面过近时,会产生涡流导致CO积聚在掌子面附近,不利于CO排出掌子面附近区域;当距离较远时,会导致气流在到达掌子面时动能大量损失,也无法有效排出掌子面附近CO有害气体。当风管位置距掌子面的距离在25.2 m,风管位于隧道的顶部时,掌子面附近区域CO有害气体的排出效率最高,能够在较短时间内改善作业人员的工作环境。相对于平原地区,高海拔地区风筒距离掌子面的距离应该设置在3√S(S为隧道断面积)附近。不同海拔高度下CO在隧道内运移趋势大致相同。随着海拔高度的升高,CO质量浓度也随之升高,隧道内CO移动速度会减小,高海拔地区需要更长的通风时间。
关键词
高海拔
隧道通风
有害气体扩散
风管布置
Keywords
high altitude
tunnel ventilation
harmful gas diffusion
air duct arrangement
分类号
X513 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
矿井封闭火区内气体运移规律
被引量:
16
4
作者
邓存宝
王继仁
洪林
机构
大同煤矿集团
辽宁工程技术大学资源与环境工程学院
辽宁工程技术大学资源与环境工程学院
出处
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2004年第3期296-298,共3页
文摘
根据气体传质理论,煤矿井下火区封闭后,火区内生O2和有害气体运移平衡系统破坏,造成封闭火区内的O2浓度减少和CO等有害气体的积聚。当火区内化学反应达到平衡后,封闭火区内有害气体浓度逐渐减小,该过程是以气体分子在多孔介质中扩散为主要运移形式的质量传递过程。分析O2、CO通过封闭墙和煤层等多孔介质的扩散机理,并推导了有效扩散系数的计算公式。由公式计算封闭火区内O2降低5%的时间t0和封闭火区内CO下降到0.001%的时间t,综合考虑封闭火区内的温度,计算出火区从封闭到启封的参考时间。
关键词
封闭火区
多孔介质
有害气体扩散
有效
扩散
系数
火区启封
Keywords
closed fire zone
porous media
harmful gases diffusion
effective diffusion coefficient
fire zone open
分类号
TD753 [矿业工程—矿井通风与安全]
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职称材料
题名
矿井火区粉煤灰胶体充填封堵材料的试验研究
被引量:
9
5
作者
张向荣
罗振敏
张嬿妮
邓军
机构
西安科技大学人事处
西安科技大学能源学院
出处
《西安科技大学学报》
CAS
北大核心
2005年第1期9-11,共3页
基金
国家自然科学基金(10102016)
国家杰出青年基金(50125414)
文摘
采空区或巷道漏风供氧是导致矿井煤层自燃的主要原因之一。该粉煤灰胶体充填封堵材料是由粉煤灰、水、水玻璃、羧甲基纤维素、碳酸氢氨化肥等制备而成,当其比例为120∶100∶15∶0.05∶2时,初凝强度较大,8d后强度大于2MPa,已能够替代塑性胶体(黄土)充填封堵材料,可在井下巷道中建立密闭墙,堵塞漏风,满足巷道封堵需要。并通过2m高的墙体试验,考察了浇注工艺,从而为防止煤层自燃或者为了防止有害气体扩散建立密闭墙提供了一种行之有效的方法。
关键词
粉煤灰胶体
封堵材料
试验研究
充填
矿井
火区
羧甲基纤维素
有害气体扩散
煤层自燃
碳酸氢氨
井下巷道
墙体试验
浇注工艺
密闭墙
采空区
水玻璃
漏风
强度
防止
Keywords
spontaneous combustion
sealing and filling
fly-ash gel
fire prevention and extinguish techniques
分类号
TD752 [矿业工程—矿井通风与安全]
TQ314 [化学工程—高聚物工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
湿法刻蚀车间有害气体扩散规律及控制技术数值模拟
董艳
刘艳
赵岩
崔向兰
《安全与环境学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
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职称材料
2
面向有害气体泄漏的应急疏散路径规划算法研究
杨灵枝
裴秋艳
王毅
孙倩
袁浩
《中国安全生产科学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2024
4
在线阅读
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职称材料
3
高海拔爆破掌子面CO扩散规律及风管布置优化
张得利
刘泽功
傅师贵
安刚建
《科学技术与工程》
北大核心
2025
0
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职称材料
4
矿井封闭火区内气体运移规律
邓存宝
王继仁
洪林
《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2004
16
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职称材料
5
矿井火区粉煤灰胶体充填封堵材料的试验研究
张向荣
罗振敏
张嬿妮
邓军
《西安科技大学学报》
CAS
北大核心
2005
9
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职称材料
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