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Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究
被引量：
4
1
作者
范平
邵建达
+2 位作者
易葵
齐红基
范正修
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1542-1546,共5页
采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜,利用Lambda-900分光光度计,测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率.选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚...
采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜,利用Lambda-900分光光度计,测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率.选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行研究.同时,对Cu膜的光学常量也进行了讨论.结果显示,Cu膜的光学特性都有明显的尺寸效应.将波长为550nm时的反射率和透射率随Cu膜厚度变化关系的交点对应厚度作为特征厚度,该厚度可认为是金属Cu膜生长从不连续膜进入连续膜的最小连续膜厚.根据这一特征判据,离子束溅射沉积Cu膜样品的最小连续膜厚为33nm.利用原子力显微镜观测了膜厚在特征厚度附近时Cu膜的表面形貌.
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关键词
薄
膜
物理学
光学特性
尺寸效应
CU
膜
最小连续膜厚
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职称材料
题名
Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究
被引量：
4
1
作者
范平
邵建达
易葵
齐红基
范正修
机构
深圳大学理学院应用物理系
中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1542-1546,共5页
基金
国家863计划(2004AA847060)
深圳市科技计划(200319)资助
文摘
采用离子束溅射在K9玻璃基底上沉积了不同厚度的Cu膜,利用Lambda-900分光光度计,测量了波长为310nm到1300nm范围内Cu膜的反射率和透射率.选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随膜厚变化的关系进行研究.同时,对Cu膜的光学常量也进行了讨论.结果显示,Cu膜的光学特性都有明显的尺寸效应.将波长为550nm时的反射率和透射率随Cu膜厚度变化关系的交点对应厚度作为特征厚度,该厚度可认为是金属Cu膜生长从不连续膜进入连续膜的最小连续膜厚.根据这一特征判据,离子束溅射沉积Cu膜样品的最小连续膜厚为33nm.利用原子力显微镜观测了膜厚在特征厚度附近时Cu膜的表面形貌.
关键词
薄
膜
物理学
光学特性
尺寸效应
CU
膜
最小连续膜厚
Keywords
Physics of thin films
Optical properties
Size effect
Copper films
Minimal continuous thickness
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
Cu膜的光学特性尺寸效应及最小连续膜厚研究
范平
邵建达
易葵
齐红基
范正修
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
4
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职称材料
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