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无油泵对检漏系统有效最小可检漏率影响研究
1
作者
孟冬辉
孙立臣
+6 位作者
邵容平
闫荣鑫
张春元
陈金明
张海峰
喻新发
王健
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期941-944,共4页
真空检漏技术广泛应用于航天、航空、核工业等军工行业的密封产品测试,近些年,无油真空泵逐步代替了油封式机械泵作为检漏系统的前级泵。无油泵作为前级泵具有清洁无油的优点,但实践中经常出现检漏系统本底异常升高、检漏系统有效最小...
真空检漏技术广泛应用于航天、航空、核工业等军工行业的密封产品测试,近些年,无油真空泵逐步代替了油封式机械泵作为检漏系统的前级泵。无油泵作为前级泵具有清洁无油的优点,但实践中经常出现检漏系统本底异常升高、检漏系统有效最小可检漏率与理论分析结果相差较大的情况。本文从检漏系统有效最小可检漏率的影响因素入手,结合容积式真空泵工作原理,分析了无油泵对检漏系统有效最小可检漏率的影响原因,并进行了实验验证,给出了改进建议。
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关键词
检
漏
氦质谱
最小可检漏率
无油真空泵
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职称材料
小型磁偏转质谱计研究
被引量：
2
2
作者
董猛
成永军
+5 位作者
孙雯君
郭美如
李晓旭
肖梅
吴成耀
刘畅
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期154-162,共9页
基于磁质谱离子光学成像聚焦原理对其离子光学系统、离子源和质量分析器的物理参数及几何结构尺寸进行优化,研制了新型小型磁偏转质谱计,其质量为4.3 kg,体积为(220×164×162)mm^(3),功耗为25 W。对质谱计的质量范围、灵敏度...
基于磁质谱离子光学成像聚焦原理对其离子光学系统、离子源和质量分析器的物理参数及几何结构尺寸进行优化,研制了新型小型磁偏转质谱计,其质量为4.3 kg,体积为(220×164×162)mm^(3),功耗为25 W。对质谱计的质量范围、灵敏度、分辨能力、最小可检漏率和稳定性等性能指标开展实验研究。结果表明,该质谱计的质量范围为1~134 u,大通道和小通道50%峰高处的分辨能力分别为56和13,对氩气、氮气和氦气的灵敏度分别为1.63×10^(-4)、1.17×10^(-4)、2.3×10^(-5)A/Pa,最小可检漏率为1.24×10^(-10)Pa·m^(3)/s,仪器在3.5 h内的稳定性为2.5%。
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关键词
磁偏转质谱计
小型化
灵敏度
分辨能力
最小可检漏率
稳定性
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职称材料
题名
无油泵对检漏系统有效最小可检漏率影响研究
1
作者
孟冬辉
孙立臣
邵容平
闫荣鑫
张春元
陈金明
张海峰
喻新发
王健
机构
北京卫星环境工程研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期941-944,共4页
基金
国家自然科学基金"航天先进制造技术研究"联合基金资助项目(项目编号:U1537109)
文摘
真空检漏技术广泛应用于航天、航空、核工业等军工行业的密封产品测试,近些年,无油真空泵逐步代替了油封式机械泵作为检漏系统的前级泵。无油泵作为前级泵具有清洁无油的优点,但实践中经常出现检漏系统本底异常升高、检漏系统有效最小可检漏率与理论分析结果相差较大的情况。本文从检漏系统有效最小可检漏率的影响因素入手,结合容积式真空泵工作原理,分析了无油泵对检漏系统有效最小可检漏率的影响原因,并进行了实验验证,给出了改进建议。
关键词
检
漏
氦质谱
最小可检漏率
无油真空泵
Keywords
Leak test
Helium mass spectrometer
Minimum detectable rate
Oil-free pump
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
小型磁偏转质谱计研究
被引量：
2
2
作者
董猛
成永军
孙雯君
郭美如
李晓旭
肖梅
吴成耀
刘畅
机构
兰州空间技术物理研究所
苏州大学机械与电子工程学院
东南大学电子科学与工程学院
出处
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第2期154-162,共9页
基金
国家自然科学基金项目(61901203,61841106)
甘肃省杰出青年基金项目(18JR3RA413)资助。
文摘
基于磁质谱离子光学成像聚焦原理对其离子光学系统、离子源和质量分析器的物理参数及几何结构尺寸进行优化,研制了新型小型磁偏转质谱计,其质量为4.3 kg,体积为(220×164×162)mm^(3),功耗为25 W。对质谱计的质量范围、灵敏度、分辨能力、最小可检漏率和稳定性等性能指标开展实验研究。结果表明,该质谱计的质量范围为1~134 u,大通道和小通道50%峰高处的分辨能力分别为56和13,对氩气、氮气和氦气的灵敏度分别为1.63×10^(-4)、1.17×10^(-4)、2.3×10^(-5)A/Pa,最小可检漏率为1.24×10^(-10)Pa·m^(3)/s,仪器在3.5 h内的稳定性为2.5%。
关键词
磁偏转质谱计
小型化
灵敏度
分辨能力
最小可检漏率
稳定性
Keywords
magnetic sector mass spectrometer
miniaturization
sensitivity
resolution power
minimum detectable leak rate
stability
分类号
O657.63 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
无油泵对检漏系统有效最小可检漏率影响研究
孟冬辉
孙立臣
邵容平
闫荣鑫
张春元
陈金明
张海峰
喻新发
王健
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
在线阅读
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职称材料
2
小型磁偏转质谱计研究
董猛
成永军
孙雯君
郭美如
李晓旭
肖梅
吴成耀
刘畅
《质谱学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
2
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