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球拍型悬臂梁光纤Fabry-Perot腔声传感器的研究
1
作者
殷泽轩
《光通信技术》
北大核心
2025年第4期19-24,共6页
为提高光纤法布里-珀罗(F-P)腔声传感器的灵敏度,设计了一种球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器。首先,基于COMSOL仿真软件对悬臂梁进行模态分析和尺寸优化;其次,采用激光加工技术制备了304不锈钢材质的球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器,并通...
为提高光纤法布里-珀罗(F-P)腔声传感器的灵敏度,设计了一种球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器。首先,基于COMSOL仿真软件对悬臂梁进行模态分析和尺寸优化;其次,采用激光加工技术制备了304不锈钢材质的球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器,并通过显微测量验证了加工精度;最后,搭建声学测试系统,在20~3000 Hz频率范围内对传感器的性能进行测试。实验结果表明:该传感器的谐振频率为1750 Hz,在400~3000 Hz范围内灵敏度均高于350 mV/Pa;在1400 Hz工作频率下,0.01~0.17 Pa声压范围内的灵敏度达到3619.57 mV/Pa,线性度为0.9998,信噪比(SNR)为49.1 dB,最小可检测声压(MDP)为15.03μPa/Hz1/2。
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关键词
法布里-珀罗腔
声
传感器
球拍型悬臂梁
谐振频率
最小可检测声压
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职称材料
题名
球拍型悬臂梁光纤Fabry-Perot腔声传感器的研究
1
作者
殷泽轩
机构
西安石油大学理学院
出处
《光通信技术》
北大核心
2025年第4期19-24,共6页
文摘
为提高光纤法布里-珀罗(F-P)腔声传感器的灵敏度,设计了一种球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器。首先,基于COMSOL仿真软件对悬臂梁进行模态分析和尺寸优化;其次,采用激光加工技术制备了304不锈钢材质的球拍型悬臂梁光纤F-P腔声传感器,并通过显微测量验证了加工精度;最后,搭建声学测试系统,在20~3000 Hz频率范围内对传感器的性能进行测试。实验结果表明:该传感器的谐振频率为1750 Hz,在400~3000 Hz范围内灵敏度均高于350 mV/Pa;在1400 Hz工作频率下,0.01~0.17 Pa声压范围内的灵敏度达到3619.57 mV/Pa,线性度为0.9998,信噪比(SNR)为49.1 dB,最小可检测声压(MDP)为15.03μPa/Hz1/2。
关键词
法布里-珀罗腔
声
传感器
球拍型悬臂梁
谐振频率
最小可检测声压
Keywords
Fabry-Perot cavity
acoustic sensor
racket-type cantilever beam
resonant frequency
minimum detectable sound pressure
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
球拍型悬臂梁光纤Fabry-Perot腔声传感器的研究
殷泽轩
《光通信技术》
北大核心
2025
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