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题名一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法
被引量：9
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作者
田青林
陈红亮
陈洪敏
李粮
闫文吉
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机构
中国航发四川燃气涡轮研究院
四川天利科技有限责任公司
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出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2021年第1期49-53,共5页
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文摘
针对压阻式压力传感器因热零点漂移、热灵敏度改变以及热迟滞效应引起的误差,提出一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法。该方法是在温升和温降全温区样本采集的数据基础上,采用最小二乘法曲面拟合原理对压阻式压力传感器进行数字补偿。通过对传感器进行实验标定和误差分析,并与常用的单一温升样本采集并进行数字补偿的方法进行对比,结果表明该方法能有效降低传感器因热迟滞效应引入的误差,提高传感器在全温区内标定点和非标定点的测试精度。同时,该方法校准参数少,计算量相对较小,对于硬件要求较低,达到在性能和成本之间的良好平衡,是一种实用性较强的在线补偿方法,具有较强的工程应用价值。
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关键词
压阻式压力传感器
温度补偿
全温区
最小二乘法曲面拟合
热迟滞效应
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Keywords
piezoresistive pressure sensor
temperature compensation
full-temperature-range
least square polynomial surface fitting
thermal hysteresis effect
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH812
[机械工程—精密仪器及机械]
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