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题名电容式微加速度计开环模式的非线性模型
被引量：2
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作者
戴强
王向展
罗谦
杨洪东
杨谟华
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机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期512-515,共4页
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基金
国防科技重点实验室基金资助(51439010204DZ0219)
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文摘
针对当前电容式微加速度计量程不高、开环模式非线性误差大的特点,根据力学理论和电路读出原理,并基于非线性特性中最大可测量加速度、初始工作点和吸合点与动定电极间距d的变化规律,提出了电容式微加速度计非线性模型.模型指出,随着输出电压的增加,可测量加速度近似成线性增加,在靠近最大可测量加速度αmax时斜率增大,其后随输出电压的增加而减小至吸合点;αmax由d和微结构梁弹性常数与质量之比λ决定,且d的作用优于λ;d在小于初始工作点时加速度计不能工作,该点由传感头参数η决定,且η的最佳取值范围为1×1019～2×1019,此时准静态条件下吸合点大于整个动电极行程的95%.该模型的提出对开环式加速度计的非线性误差纠正提供了理论支持,对加速度计的结构设计具有参考价值.
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关键词
电容式微加速度计
非线性模型
开环模式
输入输出特性曲线
最大可测加速度
初始工作点
吸合点
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Keywords
micro-machined capacitive accelerometer nonlinear model open-loop mode input and output characteristic curve maximum measurand acceleration critical point pull in point
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分类号
TN401
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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