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非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定
被引量：
4
1
作者
莫卫东
范琦
+4 位作者
贾晋超
张海防
冯明德
杨百遇
李均盛
《中国光学》
EI
CAS
2012年第3期263-269,共7页
为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分析入射球面波与非球面反射波干涉条纹密度,确定最佳入射球面波的波源位置;通过计算分析在干涉图记录平面CC...
为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分析入射球面波与非球面反射波干涉条纹密度,确定最佳入射球面波的波源位置;通过计算分析在干涉图记录平面CCD上干涉条纹的密度,确定非球面检测时参考球面波波源的最佳位置。应用该理论与方法,不仅可明确非球面检测时CCD等光路元件选型的具体策略,而且可用于指导非球面检测调试过程,并能够通过对干涉图的深入分析,获得更多被测非球面的信息。
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关键词
非
球面
检测
最佳入射球面波
最佳
参考
球面波
干涉条纹
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职称材料
题名
非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定
被引量：
4
1
作者
莫卫东
范琦
贾晋超
张海防
冯明德
杨百遇
李均盛
机构
空军工程大学理学院
出处
《中国光学》
EI
CAS
2012年第3期263-269,共7页
基金
陕西省自然科学基金资助项目(No.2010JM8012)
文摘
为了能够对非球面光学元件面型进行高精度的干涉检测,提出了一种确定最佳入射球面波和最佳参考球面波的新方法。该方法通过计算分析入射球面波与非球面反射波干涉条纹密度,确定最佳入射球面波的波源位置;通过计算分析在干涉图记录平面CCD上干涉条纹的密度,确定非球面检测时参考球面波波源的最佳位置。应用该理论与方法,不仅可明确非球面检测时CCD等光路元件选型的具体策略,而且可用于指导非球面检测调试过程,并能够通过对干涉图的深入分析,获得更多被测非球面的信息。
关键词
非
球面
检测
最佳入射球面波
最佳
参考
球面波
干涉条纹
Keywords
aspheric surface testing； best incident spherical wave； best reference spherical wave； interference fringe
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非球面检测中最佳入射球面波和最佳参考球面波的确定
莫卫东
范琦
贾晋超
张海防
冯明德
杨百遇
李均盛
《中国光学》
EI
CAS
2012
4
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