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基于自适应预设时间趋近律的双馈风机最优滑模控制
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作者 陈玉全 孙运康 +1 位作者 马成 王冰 《控制理论与应用》 北大核心 2025年第9期1867-1874,共8页
针对含有匹配扰动的双馈风机功率跟踪控制问题,本文提出了一种基于新型自适应预设时间趋近律的最优滑模控制方法.首先,根据线性最优反馈控制理论设计了最优积分滑模面,有效地改善闭环系统在滑模运动阶段的动态响应特性;然后,本文设计了... 针对含有匹配扰动的双馈风机功率跟踪控制问题,本文提出了一种基于新型自适应预设时间趋近律的最优滑模控制方法.首先,根据线性最优反馈控制理论设计了最优积分滑模面,有效地改善闭环系统在滑模运动阶段的动态响应特性;然后,本文设计了一种参数更少,结构更简单的自适应预设时间趋近律,利用正弦函数的周期性实现了滑模面的预设时间到达,并提升了滑模面到达时间对滑模面初值的鲁棒性;最后,将所提方法推广至二阶滑模情形,通过对符号函数进行积分,消除了控制器中的抖振现象,并通过大量的仿真案例验证了所提结论的正确性和有效性. 展开更多
关键词 双馈风机 滑模控制 最优滑模面 预设时间趋近律 二阶滑模控制
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光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制 被引量:8
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作者 武志鹏 陈兴林 刘川 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期50-54,共5页
为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒... 为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性。根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果。变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象。仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7nm,标准差为2.2nm。扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制。 展开更多
关键词 宏微控制 最优积分滑模 滑模控制 工件台
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