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新型智能电化学微加工系统的研究被引量：4: 1; 作者刘品宽孙立宁 +2 位作者荣伟彬蒋利民田昭武《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页; 约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻... 展开更多; 关键词智能电化学微加工系统约束刻蚀剂层技术压电陶瓷驱动器半导体三维超微图形复制加工技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光辅助电化学放电加工微通道的特性: 2; 作者曹增辉张朝阳 +3 位作者王瑞赵斗艳朱帅杰朱浩《微纳电子技术》北大核心 2019年第6期480-485,共6页; 玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段。针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了... 展开更多; 关键词微电子机械系统(MEMS) 电化学放电加工(ECDM) 微通道微细加工玻璃; 在线阅读下载PDF 职称材料

智能微系统将是未来的战略发展方向: 3; 作者林国平《世界电子元器件》 1998年第9期72-73,共2页; 今后十年人们将能看到电子工业领域的一场革命,在这场革命中,集成电路的功能将超越数据处理、数据储存和电气功能控制的传统作用,智能微系统将使复杂的系统芯片直接与它们的检测、驱动和传输环境发生作用,而无需外部硬件设备。; 关键词 IC 半导体加工技术智能微系统制造工艺; 在线阅读下载PDF 职称材料

约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究被引量：6: 4; 作者蒋利民黄选民 +1 位作者田中群田昭武《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1540-1544,共5页; 采用约束刻蚀剂层技术,以亚硝酸钠为先驱物,通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝,并以NaOH为捕捉剂,在电极模板上形成约束刻蚀剂层.在金属铝表面加工出梯型槽微结构,加工分辨率约为500 nm.通过测量表面氢离子浓度,对捕捉剂的约束效果... 展开更多; 关键词约束刻蚀剂层技术微机电系统铝微加工电化学; 在线阅读下载PDF 职称材料

2015全国传感器与微系统(MEMS)技术应用大会暨2015中国传感器与微系统(MEMS)技术工程师年会: 5; 《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第3期527-,共1页; 微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域,其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能,可优质高产低耗,大大地提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一... 展开更多; 关键词微系统技术 MEMS 中国电子学会技术工程师微细加工技术智能化功能电子领域微机械电子产品; 在线阅读下载PDF 职称材料

美国新型传感器发展情况: 6; 作者宋宗炎《遥测遥控》 1991年第5期49-58,共10页; 1990年9月11～13日在美国Chicago城举行一年一度的传感器展览会(SENSOR EXPO),期间还举行学术交流会。交流了光纤、微结构、微加工工艺、非接触敏感技术、气敏、化学敏以及传统传感技术改进、发展与微机测试系统、智能传感器等方面内容... 展开更多; 关键词新型传感器智能传感器微加工工艺传感技术压阻敏感元件传感器材料光纤传感器测试系统气敏; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型智能电化学微加工系统的研究被引量：4: 1; 作者刘品宽孙立宁荣伟彬蒋利民田昭武; 机构哈尔滨工业大学机器人研究所厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室; 出处《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第6期83-87,共5页; 基金国家自然科学基金 ( 2 98330 70 50 1750 19)资助项目; 文摘约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ,介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ,讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ,在半导体GaAs进行刻蚀加工 ,复制出微孔阵列 ,其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好。; 关键词智能电化学微加工系统约束刻蚀剂层技术压电陶瓷驱动器半导体三维超微图形复制加工技术; Keywords Confined Etchant Layer Technique, Nanopositioning, Piezo actuator; 分类号 TH705 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光辅助电化学放电加工微通道的特性: 2; 作者曹增辉张朝阳王瑞赵斗艳朱帅杰朱浩; 机构江苏大学机械工程学院激光技术研究所兰州空间技术物理研究所真空技术与物理国家重点实验室; 出处《微纳电子技术》北大核心 2019年第6期480-485,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(51675242 11504144) 江苏省六大人才高峰项目(GDZB-019); 文摘玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段。针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激光辅助电化学放电加工玻璃的加工方法,阐述了其作用机理,设计了实验装置,并与传统电化学放电加工进行了微通道加工的对比实验。通过与传统电化学放电加工对比,发现激光辅助电化学放电的加工方式能明显减少放电加工过程中的热影响区和过切现象,故激光辅助有效改善了电化学放电在玻璃材料上加工微通道的质量和精度,在MEMS领域具有良好的应用前景。; 关键词微电子机械系统(MEMS) 电化学放电加工(ECDM) 微通道微细加工玻璃; Keywords micro-electromechanical system(MEMS) electrochemical discharge machining(ECDM) micro-channel micro-fabrication glass; 分类号 TN249 [电子电信—物理电子学] TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名智能微系统将是未来的战略发展方向: 3; 作者林国平; 出处《世界电子元器件》 1998年第9期72-73,共2页; 文摘今后十年人们将能看到电子工业领域的一场革命,在这场革命中,集成电路的功能将超越数据处理、数据储存和电气功能控制的传统作用,智能微系统将使复杂的系统芯片直接与它们的检测、驱动和传输环境发生作用,而无需外部硬件设备。; 关键词 IC 半导体加工技术智能微系统制造工艺; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究被引量：6: 4; 作者蒋利民黄选民田中群田昭武; 机构厦门大学化学化工学院固体表面物理化学国家重点实验室南昌航空工业学院材料系; 出处《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1540-1544,共5页; 基金国家'八六三'计划项目(批准号:2002AA40170) 南昌航空工业学院材料研究中心项目(批准号:ZX200301013) 航空基金项目(批准号:04H56011)资助; 文摘采用约束刻蚀剂层技术,以亚硝酸钠为先驱物,通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝,并以NaOH为捕捉剂,在电极模板上形成约束刻蚀剂层.在金属铝表面加工出梯型槽微结构,加工分辨率约为500 nm.通过测量表面氢离子浓度,对捕捉剂的约束效果进行了分析.; 关键词约束刻蚀剂层技术微机电系统铝微加工电化学; Keywords Confined etchant layer technique Micro electromechanical system Aluminium Micromachining Electrochemistry; 分类号 O646 [理学—物理化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名2015全国传感器与微系统(MEMS)技术应用大会暨2015中国传感器与微系统(MEMS)技术工程师年会: 5; 机构中国电子学会; 出处《太赫兹科学与电子信息学报》 2015年第3期527-,共1页; 文摘微系统技术是一门多学科高度交叉的前沿学科领域,其利用先进的微细加工技术将微电子、微机械和微光学集成在一起来完成常规的和特殊的功能,可优质高产低耗,大大地提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域十分活跃的发展方向之一,它将对现代电子技术产生十分重要的影响。该技术无论在电子产品,还是在系统装备等很多方面都发挥极其重要作用,并得到电子工程师的高度重视,为此,中国电子学会拟于2015年7月24-26日在北京举办"2015全国传感器与微系统(MEMS); 关键词微系统技术 MEMS 中国电子学会技术工程师微细加工技术智能化功能电子领域微机械电子产品; 分类号 TP212-2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名美国新型传感器发展情况: 6; 作者宋宗炎; 机构航空航天部七○四所; 出处《遥测遥控》 1991年第5期49-58,共10页; 文摘 1990年9月11～13日在美国Chicago城举行一年一度的传感器展览会(SENSOR EXPO),期间还举行学术交流会。交流了光纤、微结构、微加工工艺、非接触敏感技术、气敏、化学敏以及传统传感技术改进、发展与微机测试系统、智能传感器等方面内容的论文近80篇。在美国期间,我们参观。; 关键词新型传感器智能传感器微加工工艺传感技术压阻敏感元件传感器材料光纤传感器测试系统气敏; 分类号 TP87 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	新型智能电化学微加工系统的研究	刘品宽孙立宁荣伟彬蒋利民田昭武	《高技术通讯》 EI CAS CSCD	2002	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	激光辅助电化学放电加工微通道的特性	曹增辉张朝阳王瑞赵斗艳朱帅杰朱浩	《微纳电子技术》北大核心	2019	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	智能微系统将是未来的战略发展方向	林国平	《世界电子元器件》	1998	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究	蒋利民黄选民田中群田昭武	《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2006	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	2015全国传感器与微系统(MEMS)技术应用大会暨2015中国传感器与微系统(MEMS)技术工程师年会		《太赫兹科学与电子信息学报》	2015	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	美国新型传感器发展情况	宋宗炎	《遥测遥控》	1991	0	在线阅读下载PDF 职称材料