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磁控溅射工艺参数对Cu薄膜织构的影响
被引量：
6
1
作者
陈瑞芳
高丽
+1 位作者
花银群
颜红
《江苏大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
北大核心
2009年第5期483-486,共4页
介绍了直流磁控溅射制备Cu薄膜时,溅射功率和玻璃基片温度等工艺参数的变化对薄膜织构的影响.靶材采用质量分数大于99.9%的铜靶,溅射室内真空度低于1.7×10-4,在氩气为保护气体的氛围下制备薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)测...
介绍了直流磁控溅射制备Cu薄膜时,溅射功率和玻璃基片温度等工艺参数的变化对薄膜织构的影响.靶材采用质量分数大于99.9%的铜靶,溅射室内真空度低于1.7×10-4,在氩气为保护气体的氛围下制备薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)测试分析了薄膜的物相结构、表面组成、表面形貌的变化.结果表明,随着玻璃基片温度升高,薄膜微观结构呈明显的差异.随着溅射功率的增大,溅射速率增大,薄膜织构减弱;当功率增大到200 W时,速率开始减小,织构开始增强.选择功率40 W、溅射气压0.5 Pa、衬底温度423 K和473 K的工艺参数,可获得表面结构平滑、致密和呈微小晶粒结构的薄膜.
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关键词
CU
薄膜
磁控溅射
织构
晶粒形状尺寸
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职称材料
工业牌号铝合金的超塑性能及微观组织演化特征
被引量：
1
2
作者
金泉林
吴慧英
周义
《塑性工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期103-109,共7页
采用实验方法研究国外广泛用于汽车车身板件冷冲压成形的工业牌号铝合金板材AA5182和6016的超塑性能,以及超塑变形中微观组织的演化特征。通过超塑性单向拉伸试验、材料变形前后的微观组织观察和自由胀形试验,揭示出铝合金AA5182具有一...
采用实验方法研究国外广泛用于汽车车身板件冷冲压成形的工业牌号铝合金板材AA5182和6016的超塑性能,以及超塑变形中微观组织的演化特征。通过超塑性单向拉伸试验、材料变形前后的微观组织观察和自由胀形试验,揭示出铝合金AA5182具有一定的超塑性能,而铝合金6016的超塑性能很低。铝合金AA5182在温度为375℃、应变速率为1.67×10-3/s时,材料的延伸率达到210%,m值达到0.25;在温度为500℃、应变速率为1.67×10-2/s时,材料延伸率达到225%,m值达到0.35。
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关键词
工业牌号铝合金
超塑性
晶粒
尺寸
与
形状
自由胀形
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职称材料
题名
磁控溅射工艺参数对Cu薄膜织构的影响
被引量：
6
1
作者
陈瑞芳
高丽
花银群
颜红
机构
江苏大学机械工程学院
广东省有色金属地质勘查局
出处
《江苏大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
北大核心
2009年第5期483-486,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50451004)
文摘
介绍了直流磁控溅射制备Cu薄膜时,溅射功率和玻璃基片温度等工艺参数的变化对薄膜织构的影响.靶材采用质量分数大于99.9%的铜靶,溅射室内真空度低于1.7×10-4,在氩气为保护气体的氛围下制备薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)测试分析了薄膜的物相结构、表面组成、表面形貌的变化.结果表明,随着玻璃基片温度升高,薄膜微观结构呈明显的差异.随着溅射功率的增大,溅射速率增大,薄膜织构减弱;当功率增大到200 W时,速率开始减小,织构开始增强.选择功率40 W、溅射气压0.5 Pa、衬底温度423 K和473 K的工艺参数,可获得表面结构平滑、致密和呈微小晶粒结构的薄膜.
关键词
CU
薄膜
磁控溅射
织构
晶粒形状尺寸
Keywords
Cu
films
magnetron sputtering
textures
grain size and shape
分类号
TB430.1 [一般工业技术]
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职称材料
题名
工业牌号铝合金的超塑性能及微观组织演化特征
被引量：
1
2
作者
金泉林
吴慧英
周义
机构
机械科学研究总院先进制造技术研究中心
出处
《塑性工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期103-109,共7页
文摘
采用实验方法研究国外广泛用于汽车车身板件冷冲压成形的工业牌号铝合金板材AA5182和6016的超塑性能,以及超塑变形中微观组织的演化特征。通过超塑性单向拉伸试验、材料变形前后的微观组织观察和自由胀形试验,揭示出铝合金AA5182具有一定的超塑性能,而铝合金6016的超塑性能很低。铝合金AA5182在温度为375℃、应变速率为1.67×10-3/s时,材料的延伸率达到210%,m值达到0.25;在温度为500℃、应变速率为1.67×10-2/s时,材料延伸率达到225%,m值达到0.35。
关键词
工业牌号铝合金
超塑性
晶粒
尺寸
与
形状
自由胀形
Keywords
commercial aluminum alloy
superplasticity
grain size and shape
free bulging
分类号
TG3 [金属学及工艺—金属压力加工]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁控溅射工艺参数对Cu薄膜织构的影响
陈瑞芳
高丽
花银群
颜红
《江苏大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
北大核心
2009
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
工业牌号铝合金的超塑性能及微观组织演化特征
金泉林
吴慧英
周义
《塑性工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
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职称材料
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参考文献
引证文献
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