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透明导电氧化物薄膜的湿热衰减特性研究
被引量：
1
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作者
王新巧
朱红兵
+4 位作者
陈静伟
李明
王辉
傅广生
麦耀华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1149-1155,共7页
将制备的3种透明导电氧化物（TCO）薄膜材料，即掺铝氧化锌（ZnO：A1，AZO）、掺硼氧化锌（ZnO：B，BZO）和掺氟氧化锡（SnO：FTO）薄膜进行温度为85℃和相对湿度为85％的湿热实验并进行退火，研究其光学和电学性质衰减特性以及恢复情...
将制备的3种透明导电氧化物（TCO）薄膜材料，即掺铝氧化锌（ZnO：A1，AZO）、掺硼氧化锌（ZnO：B，BZO）和掺氟氧化锡（SnO：FTO）薄膜进行温度为85℃和相对湿度为85％的湿热实验并进行退火，研究其光学和电学性质衰减特性以及恢复情况。研究表明：湿热实验和经过后续热处理的3种TCO薄膜的表面形貌基本不变；AZO和FTO薄膜光学和电学性能都相对稳定；但BZO薄膜的迁移率则是在湿热实验20h内由初始的19cm2／Vs迅速下降到1．99cm2／Vs，而BZO薄膜载流子浓度是在湿热处理327h由初始值7．2×1019/cm3迅速下降到8．8×1018／cm3，载流子浓度的降低导致薄膜在800-2200nm波长范围内的光吸收减少；通过对晶粒间迁移率和晶界处迁移率分析得到BZO薄膜的迁移率衰退主要与水分子侵入薄膜内部并被吸附在晶界处；适当的热处理可使BZO薄膜的电学性能得到恢复。
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关键词
透明导电氧化物(TCO)薄膜
湿热处理
退火
晶界
迁移
率
晶粒内迁移率
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职称材料
题名
透明导电氧化物薄膜的湿热衰减特性研究
被引量：
1
1
作者
王新巧
朱红兵
陈静伟
李明
王辉
傅广生
麦耀华
机构
河北大学物理科学与技术学院
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1149-1155,共7页
文摘
将制备的3种透明导电氧化物（TCO）薄膜材料，即掺铝氧化锌（ZnO：A1，AZO）、掺硼氧化锌（ZnO：B，BZO）和掺氟氧化锡（SnO：FTO）薄膜进行温度为85℃和相对湿度为85％的湿热实验并进行退火，研究其光学和电学性质衰减特性以及恢复情况。研究表明：湿热实验和经过后续热处理的3种TCO薄膜的表面形貌基本不变；AZO和FTO薄膜光学和电学性能都相对稳定；但BZO薄膜的迁移率则是在湿热实验20h内由初始的19cm2／Vs迅速下降到1．99cm2／Vs，而BZO薄膜载流子浓度是在湿热处理327h由初始值7．2×1019/cm3迅速下降到8．8×1018／cm3，载流子浓度的降低导致薄膜在800-2200nm波长范围内的光吸收减少；通过对晶粒间迁移率和晶界处迁移率分析得到BZO薄膜的迁移率衰退主要与水分子侵入薄膜内部并被吸附在晶界处；适当的热处理可使BZO薄膜的电学性能得到恢复。
关键词
透明导电氧化物(TCO)薄膜
湿热处理
退火
晶界
迁移
率
晶粒内迁移率
Keywords
transparent conductive oxide
damp heat （DH） treatment
annealing
grain boundary mobility
intra grain mobility
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
透明导电氧化物薄膜的湿热衰减特性研究
王新巧
朱红兵
陈静伟
李明
王辉
傅广生
麦耀华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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