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基于网格的多目标模板匹配晶粒位置检测方法
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作者 周书辰 陈晓荣 王子旋 《计量学报》 CSCD 北大核心 2024年第5期639-645,共7页
针对传统方法中晶粒位置检测的耗时长、精度低等局限性,提出一种基于网格的多目标模板匹配晶粒位置检测方法。通过改进传统的模板匹配方法,结合非极大值抑制算法,将芯片晶粒的检测速度和精度提高。实验结果表明:该算法在单一同种晶粒的... 针对传统方法中晶粒位置检测的耗时长、精度低等局限性,提出一种基于网格的多目标模板匹配晶粒位置检测方法。通过改进传统的模板匹配方法,结合非极大值抑制算法,将芯片晶粒的检测速度和精度提高。实验结果表明:该算法在单一同种晶粒的算法识别率能够达到97%以上,单张图像耗时<200 ms,能够克服明暗不同造成的检测困难,达到技术指标要求。 展开更多
关键词 光电检测 晶粒位置检测 机器视觉 非极大值抑制 网格 多目标模板匹配
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