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声表面波芯片晶圆级封装技术
1
作者
王君
孟腾飞
+2 位作者
周培根
于海洋
曹玉
《应用声学》
北大核心
2025年第1期75-79,共5页
为解决声表面波滤波器无法实现系统级封装和高密度系统集成的问题,制作出可保护图形且封装尺寸小的滤波器,该文研究声表面波芯片的晶圆级先进封装技术。针对声表面波滤波器本身特性,提出技术方案并通过实验验证方案的可行性,并制作出晶...
为解决声表面波滤波器无法实现系统级封装和高密度系统集成的问题,制作出可保护图形且封装尺寸小的滤波器,该文研究声表面波芯片的晶圆级先进封装技术。针对声表面波滤波器本身特性,提出技术方案并通过实验验证方案的可行性,并制作出晶圆级封装的声表面波芯片样品,利用有机聚合物键合实现了晶圆级封装,通过测试键合强度、对比封装前后芯片性能等验证该样品的可靠性,测试结果显示键合强度满足要求且封装前后性能基本一致,达到预期结果。为提高器件可靠性,对该方案进行改进,利用金属共晶键合方式实现气密性封装,并制作出满足气密性要求的晶圆级封装的声表面波器件样品。
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关键词
声表面波
芯片
晶圆
级
封装
聚合物键合
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职称材料
一种CMOS驱动器的晶圆级芯片尺寸封装
被引量:
2
2
作者
刘秀博
王绍东
+1 位作者
王志强
付兴昌
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第10期779-783,共5页
采用晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)工艺完成了一款小型化CMOS驱动器芯片的封装。此WLCSP驱动器由两层聚酰亚胺(PI)层、重分配布线层、下金属层和金属凸点等部分构成。完成了WLCSP驱动器的设计,加工和电性能测试,并且对其进行了温度冲击、...
采用晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)工艺完成了一款小型化CMOS驱动器芯片的封装。此WLCSP驱动器由两层聚酰亚胺(PI)层、重分配布线层、下金属层和金属凸点等部分构成。完成了WLCSP驱动器的设计,加工和电性能测试,并且对其进行了温度冲击、振动和剪切力测试等可靠性试验。结果表明,经过晶圆级封装的CMOS驱动器体积为1.8 mm×1.2 mm×0.35 mm,脉冲上升沿为2.3 ns,下降沿为2.5 ns,开关时间为10.6 ns。将WLCSP的驱动器安装至厚度为1 mm的FR4基板上,对其进行温度冲击试验及振动试验后,凸点正常无裂痕。无下填充胶时剪切力为20 N,存在下填充胶时,剪切力为200 N。
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关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
(
wlcsp
)
重分配布线层
金属凸点
CMOS驱动器
剪切力
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职称材料
系统级封装技术综述
被引量:
12
3
作者
刘林
郑学仁
李斌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第8期17-20,34,共5页
介绍了系统级封装SiP如何将多块集成电路芯片和其他的分立元件集成在同一个封装内,有效解决了传统封装面临的带宽、互连延迟、功耗和集成度方面的难题。同时将SiP与系统级芯片SoC相比较,指出各自的特点和发展趋势。
关键词
系统
级
封装
系统
级
芯片
晶圆
级
封装
半导体
磷化硅
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职称材料
基于正交设计的WLCSP柔性无铅焊点随机激励应力应变分析
被引量:
4
4
作者
梁颖
黄春跃
+2 位作者
黄伟
邵良兵
李天明
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期13-16,129,共4页
对晶圆级芯片尺寸封装(wafer level chip scale package,WLCSP)柔性无铅焊点进行了随机振动应力应变有限元分析.以1号柔性层厚度、2号柔性层厚度、上焊盘直径和下焊盘直径4个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了16种不同结构参数组...
对晶圆级芯片尺寸封装(wafer level chip scale package,WLCSP)柔性无铅焊点进行了随机振动应力应变有限元分析.以1号柔性层厚度、2号柔性层厚度、上焊盘直径和下焊盘直径4个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了16种不同结构参数组合的柔性焊点,获取了16组应力数据并进行了方差分析.结果表明,焊点内最大应力应变随1号柔性层厚度和2号柔性层厚度的增加而减小;在置信度99%时,下焊盘直径和上焊盘直径对应力具有高度显著影响,在置信度95%时,1号柔性层厚度和2号柔性层厚度对应力具有显著影响;各因素对应力影响排序为:下焊盘直径影响最大,其次是上焊盘直径,再次是1号柔性层厚度,最后是2号柔性层厚度.
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关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
柔性无铅焊点
随机振动
有限元分析
方差分析
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职称材料
WLCSP中微焊球结构尺寸对其热应力的影响
被引量:
1
5
作者
洪荣华
王珺
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期720-725,733,共7页
晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)微焊球结构尺寸对其热机械可靠性有重要的影响。通过二维有限元模拟筛选出对WLCSP微焊球及其凸点下金属层(UBM)中热应力影响显著的参数,采用完全因子实验和多因子方差统计分析定量评估各种因子影响的显著性,...
晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)微焊球结构尺寸对其热机械可靠性有重要的影响。通过二维有限元模拟筛选出对WLCSP微焊球及其凸点下金属层(UBM)中热应力影响显著的参数,采用完全因子实验和多因子方差统计分析定量评估各种因子影响的显著性,最后建立三维模型,用子模型技术研究关键尺寸因子对热应力变化的影响。研究发现,焊球半径是影响焊球热应力的最关键尺寸因子,电镀铜开口和铜焊盘厚度对焊球热应力的影响也较显著;钝化层开口和焊球半径是影响UBM热应力的最关键尺寸因子。随着焊球半径增大,焊球热应力减小。
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关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
有限元分析
尺寸参数
统计分析
子模型
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职称材料
声表面波器件小型化技术发展概述
被引量:
9
6
作者
米佳
李辉
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第1期4-6,共3页
以EPCOS生产的声表面波(SAW)芯片级封装和晶圆级封装为例,介绍了声表面波器件小型化发展的趋势。着重介绍了声表器件芯片级封装技术发展的各个阶段器件的结构特点。详述采用倒装、贴膜和晶圆键合技术将声表面波器件的尺寸减至最小及后...
以EPCOS生产的声表面波(SAW)芯片级封装和晶圆级封装为例,介绍了声表面波器件小型化发展的趋势。着重介绍了声表器件芯片级封装技术发展的各个阶段器件的结构特点。详述采用倒装、贴膜和晶圆键合技术将声表面波器件的尺寸减至最小及后续声表面波器件组件化封装的趋势。
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关键词
声表面波
小型化
封装
芯片
级
封装
晶圆
级
封装
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职称材料
用于车载激光雷达的高速窄脉冲栅极驱动器
被引量:
3
7
作者
贾东东
赵永瑞
+3 位作者
师翔
李军建
贾凯烨
史亚盼
《半导体技术》
CAS
北大核心
2023年第8期699-705,共7页
针对车载激光雷达高频率、高精度的探测需求,提出了一种高速窄脉冲栅极驱动器,用于驱动激光雷达发射系统中的GaN HEMT开关管。基于0.18μm CMOS工艺进行驱动器的电路与版图设计,采用新型施密特触发器结构,并集成欠压锁存和过温保护功能...
针对车载激光雷达高频率、高精度的探测需求,提出了一种高速窄脉冲栅极驱动器,用于驱动激光雷达发射系统中的GaN HEMT开关管。基于0.18μm CMOS工艺进行驱动器的电路与版图设计,采用新型施密特触发器结构,并集成欠压锁存和过温保护功能。该驱动器选用晶圆级芯片封装(WLCSP)技术,最大程度上降低栅极路径上的寄生电感。对芯片进行测试,结果表明:驱动器最小输出脉冲宽度为1.06 ns,其上升时间为480 ps,下降时间为380 ps,输入信号到输出信号的延迟时间为3 ns,脉冲频率最高可达60 MHz。该驱动器具有脉宽窄、延时短、频率高、体积小等特点,可应用于车载激光雷达系统。
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关键词
窄脉冲
高速栅极驱动器
GaN
HEMT
晶圆
级
芯片
封装
(
wlcsp
)
车载激光雷达
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职称材料
焊球植球凸块工艺的可靠性研究
8
作者
肖启明
汪辉
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1190-1193,1212,共5页
焊球植球是一种最具潜力的低成本倒装芯片凸块制作工艺。采用焊球植球工艺制作的晶圆级芯片尺寸封装芯片的凸块与芯片表面连接的可靠性问题是此类封装技术研究的重点。为此,参考JEDEC关于电子封装相关标准,建立了检验由焊球植球工艺生...
焊球植球是一种最具潜力的低成本倒装芯片凸块制作工艺。采用焊球植球工艺制作的晶圆级芯片尺寸封装芯片的凸块与芯片表面连接的可靠性问题是此类封装技术研究的重点。为此,参考JEDEC关于电子封装相关标准,建立了检验由焊球植球工艺生产的晶圆级芯片尺寸封装芯片凸块与芯片连接及凸块本身是否可靠的可靠性测试方法与判断标准。由焊球植球工艺生产的晶圆级芯片尺寸封装芯片,分别采用高温存储、热循环和多次回流进行试验,然后利用扫描电子显微镜检查芯片上凸块剖面的凸块下金属层分布和测试凸块推力大小来验证凸块的可靠性。试验数据表明焊球植球工艺生产的晶圆级芯片尺寸封装芯片具有高的封装连接可靠性。
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关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
焊球植球
高温存储
热循环
多次回流
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职称材料
题名
声表面波芯片晶圆级封装技术
1
作者
王君
孟腾飞
周培根
于海洋
曹玉
机构
北京航天微电科技有限公司
出处
《应用声学》
北大核心
2025年第1期75-79,共5页
文摘
为解决声表面波滤波器无法实现系统级封装和高密度系统集成的问题,制作出可保护图形且封装尺寸小的滤波器,该文研究声表面波芯片的晶圆级先进封装技术。针对声表面波滤波器本身特性,提出技术方案并通过实验验证方案的可行性,并制作出晶圆级封装的声表面波芯片样品,利用有机聚合物键合实现了晶圆级封装,通过测试键合强度、对比封装前后芯片性能等验证该样品的可靠性,测试结果显示键合强度满足要求且封装前后性能基本一致,达到预期结果。为提高器件可靠性,对该方案进行改进,利用金属共晶键合方式实现气密性封装,并制作出满足气密性要求的晶圆级封装的声表面波器件样品。
关键词
声表面波
芯片
晶圆
级
封装
聚合物键合
Keywords
The surface acoustic wave chip
Wafer level package
Polymer bonding
分类号
TN713 [电子电信—电路与系统]
在线阅读
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职称材料
题名
一种CMOS驱动器的晶圆级芯片尺寸封装
被引量:
2
2
作者
刘秀博
王绍东
王志强
付兴昌
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第10期779-783,共5页
文摘
采用晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)工艺完成了一款小型化CMOS驱动器芯片的封装。此WLCSP驱动器由两层聚酰亚胺(PI)层、重分配布线层、下金属层和金属凸点等部分构成。完成了WLCSP驱动器的设计,加工和电性能测试,并且对其进行了温度冲击、振动和剪切力测试等可靠性试验。结果表明,经过晶圆级封装的CMOS驱动器体积为1.8 mm×1.2 mm×0.35 mm,脉冲上升沿为2.3 ns,下降沿为2.5 ns,开关时间为10.6 ns。将WLCSP的驱动器安装至厚度为1 mm的FR4基板上,对其进行温度冲击试验及振动试验后,凸点正常无裂痕。无下填充胶时剪切力为20 N,存在下填充胶时,剪切力为200 N。
关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
(
wlcsp
)
重分配布线层
金属凸点
CMOS驱动器
剪切力
Keywords
wafer level chip scale packaging(
wlcsp
)
redistribution layer
metallic bump
CMOS driver
shear force
分类号
TN405.94 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
系统级封装技术综述
被引量:
12
3
作者
刘林
郑学仁
李斌
机构
华南理工大学应用物理系专用集成电路研究设计中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第8期17-20,34,共5页
文摘
介绍了系统级封装SiP如何将多块集成电路芯片和其他的分立元件集成在同一个封装内,有效解决了传统封装面临的带宽、互连延迟、功耗和集成度方面的难题。同时将SiP与系统级芯片SoC相比较,指出各自的特点和发展趋势。
关键词
系统
级
封装
系统
级
芯片
晶圆
级
封装
半导体
磷化硅
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于正交设计的WLCSP柔性无铅焊点随机激励应力应变分析
被引量:
4
4
作者
梁颖
黄春跃
黄伟
邵良兵
李天明
机构
成都航空职业技术学院电子工程系
桂林电子科技大学机电工程学院
桂林航天工业学院汽车与动力工程系
出处
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期13-16,129,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51465012)
广西壮族自治区自然科学基金资助项目(2015GXNSFCA139006
+1 种基金
2013GXNSFAA019322)
四川省教育厅科研资助项目(13ZB0052)
文摘
对晶圆级芯片尺寸封装(wafer level chip scale package,WLCSP)柔性无铅焊点进行了随机振动应力应变有限元分析.以1号柔性层厚度、2号柔性层厚度、上焊盘直径和下焊盘直径4个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了16种不同结构参数组合的柔性焊点,获取了16组应力数据并进行了方差分析.结果表明,焊点内最大应力应变随1号柔性层厚度和2号柔性层厚度的增加而减小;在置信度99%时,下焊盘直径和上焊盘直径对应力具有高度显著影响,在置信度95%时,1号柔性层厚度和2号柔性层厚度对应力具有显著影响;各因素对应力影响排序为:下焊盘直径影响最大,其次是上焊盘直径,再次是1号柔性层厚度,最后是2号柔性层厚度.
关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
柔性无铅焊点
随机振动
有限元分析
方差分析
Keywords
Wafer level chip scale package
lead-free solder joint with compliant layer
random vibration
finite element analysis
variance analysis
分类号
TG454 [金属学及工艺—焊接]
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职称材料
题名
WLCSP中微焊球结构尺寸对其热应力的影响
被引量:
1
5
作者
洪荣华
王珺
机构
复旦大学材料科学系
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期720-725,733,共7页
基金
国家科技重大专项(2009ZX02038
2011ZX02602)
国家自然科学基金(10972057)
文摘
晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)微焊球结构尺寸对其热机械可靠性有重要的影响。通过二维有限元模拟筛选出对WLCSP微焊球及其凸点下金属层(UBM)中热应力影响显著的参数,采用完全因子实验和多因子方差统计分析定量评估各种因子影响的显著性,最后建立三维模型,用子模型技术研究关键尺寸因子对热应力变化的影响。研究发现,焊球半径是影响焊球热应力的最关键尺寸因子,电镀铜开口和铜焊盘厚度对焊球热应力的影响也较显著;钝化层开口和焊球半径是影响UBM热应力的最关键尺寸因子。随着焊球半径增大,焊球热应力减小。
关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
有限元分析
尺寸参数
统计分析
子模型
Keywords
wafer level chip scale package(
wlcsp
)
finite element simulation
structure parameter
numerical analysis
submodel
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
声表面波器件小型化技术发展概述
被引量:
9
6
作者
米佳
李辉
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012年第1期4-6,共3页
文摘
以EPCOS生产的声表面波(SAW)芯片级封装和晶圆级封装为例,介绍了声表面波器件小型化发展的趋势。着重介绍了声表器件芯片级封装技术发展的各个阶段器件的结构特点。详述采用倒装、贴膜和晶圆键合技术将声表面波器件的尺寸减至最小及后续声表面波器件组件化封装的趋势。
关键词
声表面波
小型化
封装
芯片
级
封装
晶圆
级
封装
Keywords
SAW
miniaturization package
chip scale package
wafer level package
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
用于车载激光雷达的高速窄脉冲栅极驱动器
被引量:
3
7
作者
贾东东
赵永瑞
师翔
李军建
贾凯烨
史亚盼
机构
河北新华北集成电路有限公司
中国电子科技集团公司第十三研究所
河北省移动通信用射频集成电路重点实验室
出处
《半导体技术》
CAS
北大核心
2023年第8期699-705,共7页
文摘
针对车载激光雷达高频率、高精度的探测需求,提出了一种高速窄脉冲栅极驱动器,用于驱动激光雷达发射系统中的GaN HEMT开关管。基于0.18μm CMOS工艺进行驱动器的电路与版图设计,采用新型施密特触发器结构,并集成欠压锁存和过温保护功能。该驱动器选用晶圆级芯片封装(WLCSP)技术,最大程度上降低栅极路径上的寄生电感。对芯片进行测试,结果表明:驱动器最小输出脉冲宽度为1.06 ns,其上升时间为480 ps,下降时间为380 ps,输入信号到输出信号的延迟时间为3 ns,脉冲频率最高可达60 MHz。该驱动器具有脉宽窄、延时短、频率高、体积小等特点,可应用于车载激光雷达系统。
关键词
窄脉冲
高速栅极驱动器
GaN
HEMT
晶圆
级
芯片
封装
(
wlcsp
)
车载激光雷达
Keywords
narrow pulse
high speed gate driver
GaN HEMT
wafer level chip scale packaging(
wlcsp
)
automotivelidar
分类号
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN784.1 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
焊球植球凸块工艺的可靠性研究
8
作者
肖启明
汪辉
机构
上海交通大学微电子学院
中国科学院上海高等研究院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期1190-1193,1212,共5页
文摘
焊球植球是一种最具潜力的低成本倒装芯片凸块制作工艺。采用焊球植球工艺制作的晶圆级芯片尺寸封装芯片的凸块与芯片表面连接的可靠性问题是此类封装技术研究的重点。为此,参考JEDEC关于电子封装相关标准,建立了检验由焊球植球工艺生产的晶圆级芯片尺寸封装芯片凸块与芯片连接及凸块本身是否可靠的可靠性测试方法与判断标准。由焊球植球工艺生产的晶圆级芯片尺寸封装芯片,分别采用高温存储、热循环和多次回流进行试验,然后利用扫描电子显微镜检查芯片上凸块剖面的凸块下金属层分布和测试凸块推力大小来验证凸块的可靠性。试验数据表明焊球植球工艺生产的晶圆级芯片尺寸封装芯片具有高的封装连接可靠性。
关键词
晶圆
级
芯片
尺寸
封装
焊球植球
高温存储
热循环
多次回流
Keywords
wafer level chip scale package
ball placement
high temperature storage
temperature circling
multi ref low
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
声表面波芯片晶圆级封装技术
王君
孟腾飞
周培根
于海洋
曹玉
《应用声学》
北大核心
2025
0
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职称材料
2
一种CMOS驱动器的晶圆级芯片尺寸封装
刘秀博
王绍东
王志强
付兴昌
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017
2
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职称材料
3
系统级封装技术综述
刘林
郑学仁
李斌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002
12
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职称材料
4
基于正交设计的WLCSP柔性无铅焊点随机激励应力应变分析
梁颖
黄春跃
黄伟
邵良兵
李天明
《焊接学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
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职称材料
5
WLCSP中微焊球结构尺寸对其热应力的影响
洪荣华
王珺
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
6
声表面波器件小型化技术发展概述
米佳
李辉
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2012
9
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职称材料
7
用于车载激光雷达的高速窄脉冲栅极驱动器
贾东东
赵永瑞
师翔
李军建
贾凯烨
史亚盼
《半导体技术》
CAS
北大核心
2023
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
8
焊球植球凸块工艺的可靠性研究
肖启明
汪辉
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
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职称材料
已选择
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