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题名MEMS晶圆级测试系统现状及未来展望
被引量：6
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作者
乔玉娥
刘岩
程晓辉
丁立强
丁晨
梁法国
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第10期1-3,7,共4页
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文摘
微机电系统(MEMS)产品的广泛应用使得晶圆级测试技术必要性日益凸显。分析了国内和国际MEMS晶圆级测试系统硬件和MEMS晶圆级测试技术的现状。参照国际上利用RM8096/8097标准物质(RM)对MEMS产品进行计量测试的方法,给出了针对我国现有MEMS晶圆级测试系统校准问题的初步解决方案。并指出了该类测试系统今后向着标准化模块化方向发展的趋势。
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关键词
微机电系统
晶圆级测试系统
测试技术
标准物质
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Keywords
MEMS
wafer level test system
testing technology
reference material（RM）
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分类号
TB972
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名低测试逃逸的晶圆级适应性测试方法
被引量：1
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作者
梁华国
曲金星
潘宇琦
汤宇新
易茂祥
鲁迎春
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机构
合肥工业大学微电子学院
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出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2023年第9期3393-3400,共8页
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基金
国家重大科研仪器研制项目(62027815)
国家自然科学基金重点项目(61834006)。
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文摘
为了降低集成电路中测试成本,提高测试质量,该文提出一种低测试逃逸率的晶圆级适应性测试方法。该方法根据历史测试数据中测试项检测故障晶粒的有效性筛选测试集,降低待测晶圆的测试成本。同时,分析晶粒邻域参数波动程度,将存在波动晶粒的参数差异进行放大并建模,提高该类晶粒质量预测模型的分类准确率;无波动的晶粒使用有效测试集建模的方法进行质量预测,减少测试逃逸的风险。根据实际晶圆生产数据的实验结果表明,该方法可以明显降低晶圆的测试项成本40.13%,并保持较低的测试逃逸率0.0091%。
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关键词
晶圆级适应性测试
邻域参数波动
参数差异
质量预测
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Keywords
Wafer-level adaptive testing
Neighborhood parameter fluctuation
Parameter variance
Quality prediction
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分类号
TN407
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名MEMS电场传感器测试技术研究及进展
被引量：5
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作者
雷煜卿
焦飞
张树华
彭国政
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机构
中国电力科学研究院有限公司
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出处
《高压电器》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第7期57-63,共7页
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基金
中国电力科学研究院有限公司长线项目(AI83-20-006)。
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文摘
传感器测试技术对于MEMS电场传感器的研制、试产与测量应用非常重要。文中在MEMS电场传感器研发基础上分析了晶圆级测试、器件级测试、测量标定等技术及发展现状,首先介绍MEMS电场传感器原理、结构设计和传感器件的制备工艺等特点。然后重点阐述现阶段研制MEMS电场传感器的晶圆级测试内容与测试方法、器件级测试内容和测量标定系统。最后分析了国内外MEMS电场传感器测试技术的局限性和发展趋势。在此基础上指出随着国内MEMS电场传感器深入应用,MEMS传感器件测试技术将会迎来快速发展期。
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关键词
MEMS传感器
电场传感器
晶圆级测试
器件级测试
电场标定
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Keywords
MEMS sensor
electric field sensor
wafer level test
device level test
electric field calibration
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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