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晶圆片盒传输机械手设计与运动仿真
被引量：
2
1
作者
万喜新
周益华
+1 位作者
曾裕民
王学仕
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2021年第8期178-181,共4页
为满足立式扩散炉设备中晶圆片盒传输效率及定位精度高的要求,设计了一种五自由度混合型机械手,主体结构由Y、Z轴方向模组及SCARA机械手组成。利用改进型D-H法建立各连杆间的运动学模型,并进行运动学正逆求解;针对无穷逆解的问题,通过...
为满足立式扩散炉设备中晶圆片盒传输效率及定位精度高的要求,设计了一种五自由度混合型机械手,主体结构由Y、Z轴方向模组及SCARA机械手组成。利用改进型D-H法建立各连杆间的运动学模型,并进行运动学正逆求解;针对无穷逆解的问题,通过构造目标优化函数结合粒子群优化(PSO)算法进行求解。最终基于MATLAB完成仿真分析,结果表明所建立的运动学方程正确,机械手的工作空间满足使用要求,所得最优逆解可使机械手末端达到设定的定位精度。
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关键词
晶圆片盒
传输机械手
运动学逆解
PSO算法
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职称材料
题名
晶圆片盒传输机械手设计与运动仿真
被引量：
2
1
作者
万喜新
周益华
曾裕民
王学仕
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2021年第8期178-181,共4页
文摘
为满足立式扩散炉设备中晶圆片盒传输效率及定位精度高的要求,设计了一种五自由度混合型机械手,主体结构由Y、Z轴方向模组及SCARA机械手组成。利用改进型D-H法建立各连杆间的运动学模型,并进行运动学正逆求解;针对无穷逆解的问题,通过构造目标优化函数结合粒子群优化(PSO)算法进行求解。最终基于MATLAB完成仿真分析,结果表明所建立的运动学方程正确,机械手的工作空间满足使用要求,所得最优逆解可使机械手末端达到设定的定位精度。
关键词
晶圆片盒
传输机械手
运动学逆解
PSO算法
Keywords
wafer cassette
transport manipulator
inverse kinematics solution
PSO algorithm
分类号
TH165 [机械工程—机械制造及自动化]
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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作者
出处
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被引量
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1
晶圆片盒传输机械手设计与运动仿真
万喜新
周益华
曾裕民
王学仕
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2021
2
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