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离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究
被引量：
3
1
作者
卓祖亮
张磊
+1 位作者
张丛
石倩楠
《电子工业专用设备》
2020年第6期13-16,共4页
介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘。构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算。
关键词
离子注入机
静电夹持
晶圆温度值分析
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职称材料
题名
离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究
被引量：
3
1
作者
卓祖亮
张磊
张丛
石倩楠
机构
中电科电子装备集团有限公司
北京烁科中科信电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2020年第6期13-16,共4页
文摘
介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘。构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算。
关键词
离子注入机
静电夹持
晶圆温度值分析
Keywords
Ion implanter
Electrostatic clamping
Wafer temperature
Numerical analysis
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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作者
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1
离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究
卓祖亮
张磊
张丛
石倩楠
《电子工业专用设备》
2020
3
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