期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
晶圆校准器误差补偿与拟合算法的研究
1
作者
刘暾东
陈锃琰
+2 位作者
王若宇
唐之晨
郑鹏
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第8期1115-1124,共10页
晶圆校准器作为半导体生产、检测中的重要设备,其圆心定位的精度容易受检测误差的影响,因此针对误差的补偿算法是提高晶圆校准精度的关键技术。针对检测误差中晶圆承载面倾斜影响采样精度问题,建立了晶圆倾斜后在水平面椭圆投影的物理模...
晶圆校准器作为半导体生产、检测中的重要设备,其圆心定位的精度容易受检测误差的影响,因此针对误差的补偿算法是提高晶圆校准精度的关键技术。针对检测误差中晶圆承载面倾斜影响采样精度问题,建立了晶圆倾斜后在水平面椭圆投影的物理模型,推导椭圆与晶圆圆心的解析关系,并采用相应的椭圆方程进行拟合。为了进一步提高补偿及拟合精度,提出了一种引入遗忘因子的扩展卡尔曼滤波的椭圆拟合算法,该算法采用密度聚类法及改进样本点分布的渐进一致采样进行数据预处理,并利用迭代重加权最小二乘法进行椭圆拟合,最终实现圆心的精确拟合。实验证明,在使用提出的方法进行误差补偿后,拟合精度达到99.95%,验证了其有效性。
展开更多
关键词
几何量计量
晶圆校准器
误差补偿
椭圆拟合
顺序抽样一致性
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究
2
作者
郑鹏
陈锃琰
+4 位作者
唐之晨
阮育娇
王若宇
赵岩
刘暾东
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第12期1762-1771,共10页
半导体晶圆校准器旋转轴的回转误差补偿是提高晶圆校准器定位精度的关键技术,为此提出一种基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿方法,可有效避免在装置中引入多传感器等辅助设备带来的新误差和多次标定问题。该方法采用集合平均...
半导体晶圆校准器旋转轴的回转误差补偿是提高晶圆校准器定位精度的关键技术,为此提出一种基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿方法,可有效避免在装置中引入多传感器等辅助设备带来的新误差和多次标定问题。该方法采用集合平均和小波阈值去噪的双重滤波法降低采集信号的随机噪声,通过数理统计误差分离法精确分离高信噪比测量信号中混入的圆度误差;同时根据多步法计算准确的回转误差,利用得到的误差数据对传感器检测的晶圆圆周数据进行修正实现补偿。实验结果表明:晶圆校准器定位的校准偏差在0.02 mm左右,提高了校准精度,验证了方法的有效性。
展开更多
关键词
几何量计量
晶圆校准器
误差补偿
回转误差
数理统计法
集合平均
小波阈值去噪
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
晶圆校准器误差补偿与拟合算法的研究
1
作者
刘暾东
陈锃琰
王若宇
唐之晨
郑鹏
机构
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
厦门市计量检定测试院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第8期1115-1124,共10页
基金
国家市场监管总局科技计划(2022MK138)。
文摘
晶圆校准器作为半导体生产、检测中的重要设备,其圆心定位的精度容易受检测误差的影响,因此针对误差的补偿算法是提高晶圆校准精度的关键技术。针对检测误差中晶圆承载面倾斜影响采样精度问题,建立了晶圆倾斜后在水平面椭圆投影的物理模型,推导椭圆与晶圆圆心的解析关系,并采用相应的椭圆方程进行拟合。为了进一步提高补偿及拟合精度,提出了一种引入遗忘因子的扩展卡尔曼滤波的椭圆拟合算法,该算法采用密度聚类法及改进样本点分布的渐进一致采样进行数据预处理,并利用迭代重加权最小二乘法进行椭圆拟合,最终实现圆心的精确拟合。实验证明,在使用提出的方法进行误差补偿后,拟合精度达到99.95%,验证了其有效性。
关键词
几何量计量
晶圆校准器
误差补偿
椭圆拟合
顺序抽样一致性
Keywords
geometric measurement
wafer alignment calibrator
error compensation
elliptical fitting
random sample consensus
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究
2
作者
郑鹏
陈锃琰
唐之晨
阮育娇
王若宇
赵岩
刘暾东
机构
厦门市计量检定测试院
厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院
国机中设新能源开发有限责任公司
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第12期1762-1771,共10页
基金
2022年度国家市场监督管理总局科技计划(2022MK138)。
文摘
半导体晶圆校准器旋转轴的回转误差补偿是提高晶圆校准器定位精度的关键技术,为此提出一种基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿方法,可有效避免在装置中引入多传感器等辅助设备带来的新误差和多次标定问题。该方法采用集合平均和小波阈值去噪的双重滤波法降低采集信号的随机噪声,通过数理统计误差分离法精确分离高信噪比测量信号中混入的圆度误差;同时根据多步法计算准确的回转误差,利用得到的误差数据对传感器检测的晶圆圆周数据进行修正实现补偿。实验结果表明:晶圆校准器定位的校准偏差在0.02 mm左右,提高了校准精度,验证了方法的有效性。
关键词
几何量计量
晶圆校准器
误差补偿
回转误差
数理统计法
集合平均
小波阈值去噪
Keywords
geometric measurement
wafer calibrator
error compensation
rotation error
mathematical statistics
ensemble averaging
wavelet threshold denoising
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
晶圆校准器误差补偿与拟合算法的研究
刘暾东
陈锃琰
王若宇
唐之晨
郑鹏
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于单传感器的晶圆校准器旋转轴回转误差补偿研究
郑鹏
陈锃琰
唐之晨
阮育娇
王若宇
赵岩
刘暾东
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
