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提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究
被引量：
2
1
作者
谢均宇
刘海霞
+3 位作者
张磊
杜佳伟
卓祖亮
石倩楠
《电子工业专用设备》
2020年第6期17-22,共6页
针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现...
针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现晶圆表面热量的减少,改善了工艺加工后晶圆的整体质量及性能。
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关键词
离子注入机
晶圆
传输
机械手
晶圆散热优化
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职称材料
题名
提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究
被引量：
2
1
作者
谢均宇
刘海霞
张磊
杜佳伟
卓祖亮
石倩楠
机构
中电科电子装备集团有限公司
北京烁科中科信电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2020年第6期17-22,共6页
文摘
针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术研究,通过提升晶圆的扫描速度实现晶圆表面热量的减少,改善了工艺加工后晶圆的整体质量及性能。
关键词
离子注入机
晶圆
传输
机械手
晶圆散热优化
Keywords
Ion implanter
Wafer transfer
Manipulator
Optimization of heat dissipation of wafer
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
提高离子注入机晶圆机械传输效率及晶圆散热优化研究
谢均宇
刘海霞
张磊
杜佳伟
卓祖亮
石倩楠
《电子工业专用设备》
2020
2
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