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题名SCARA型晶圆传输机器手结构设计与减振优化
被引量：1
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作者
李嘉俊
周海波
徐云浪
余少强
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机构
中南大学极端服役性能精准制造全国重点实验室
中南大学机电工程学院
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出处
《动力学与控制学报》
2024年第12期70-78,共9页
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基金
湖南省科技创新计划项目(2021JC0005)。
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文摘
晶圆传输机器手是晶圆在搬运过程中实现高精度和高效率自动化的重要组成设备.工作过程中其结构模态固有频率直接影响了晶圆传输中运动控制过程中的精度和稳定性,基于平面3关节直驱旋转运动和垂直升降运动原理,设计了一款SCARA(Selective Compliance Assembly Robot Arm)型四自由度晶圆传输机器手.首先,采用Ansys Workbench软件对SCARA型晶圆传输机器手的超薄机械手指进行了模态分析,采用均匀轮形筋结构对手指进行了结构尺寸优化,优化后的一阶模态提高了42.79%;然后,采用Ansys Workbench对晶圆传输的整体结构进行了优化,研究发现底座部分刚度较弱,是造成机器手整体低阶模态频率较低的主要原因,对此特别针对底座进行了结构优化,优化后的一阶和二阶模态频率分别提高了52.03%和30.55%.通过结构优化,提高了晶圆传输机器手的整体低阶模态频率,改善了晶圆传输机器手的运动控制过程中的精度和稳定性,避免了共振,进而降低了振动的影响,有效保证了晶圆传输机器手在实际工作中的稳定性和可靠性.
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关键词
晶圆传输机器手
模态分析
共振
结构优化
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Keywords
wafer transfer robot hand
modal analysis
resonance
structural optimization
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分类号
TP241.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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