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改进晶体生长温控设备的几条途径
1
作者
郑连荣
刘铁林
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期412-412,共1页
温度控制设备是保证晶体生长顺利进行的重要一环。老式仪表存在控制精度差、长时间频繁使用故障率高，严重影响晶体生长的顺利进行。近年来，计算机技术发展迅速，国外很多厂家竞相推出以单片机为核心的新型过程控制仪，无论可靠性、精...
温度控制设备是保证晶体生长顺利进行的重要一环。老式仪表存在控制精度差、长时间频繁使用故障率高，严重影响晶体生长的顺利进行。近年来，计算机技术发展迅速，国外很多厂家竞相推出以单片机为核心的新型过程控制仪，无论可靠性、精度、功能以及灵活的组态和适用范围等各方面，都是老的模拟过程控制仪所不能比的，而且随着芯片价格的下降，其性能价格比也不断提高，使其成为晶体生长设备改造的首选仪表。在改造设备的过程中，我们本着尽可能利用老设备以节约资金的原则，对不同的设备采用了不同的改进方法，取得了良好的效果。英国欧陆公司生产的８１８型单回路调节器是近年来在我国应用较广的一种新型过程控制装置，现以此为例，介绍几种温控设备的改造方法。１．ＸＸＬ５５０型单晶炉的改造该设备是华北光电技术研究所制造的一种真空下降炉。其控制部分采用ＤＷＴ７０２和其自制的程序控制装置，只能执行单一程序且故障率较高，我们采用８１８Ｐ４型单回路调节器替代ＤＷＴ７０２和程序控制装置组成的温控系统，实现了控制设备的升级换代。２．上海自动化仪表六厂生产的ＤＷＴ７０２柜式程序控制装置。我们利用了其原来的可控硅触发部分，将ＤＷＴ７０２的ＰＩＤ板引至自动／手动切换的输出断开，?
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关键词
晶体生长
温控设备
晶体生长装置
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职称材料
题名
改进晶体生长温控设备的几条途径
1
作者
郑连荣
刘铁林
机构
北京玻璃研究院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第3期412-412,共1页
文摘
温度控制设备是保证晶体生长顺利进行的重要一环。老式仪表存在控制精度差、长时间频繁使用故障率高，严重影响晶体生长的顺利进行。近年来，计算机技术发展迅速，国外很多厂家竞相推出以单片机为核心的新型过程控制仪，无论可靠性、精度、功能以及灵活的组态和适用范围等各方面，都是老的模拟过程控制仪所不能比的，而且随着芯片价格的下降，其性能价格比也不断提高，使其成为晶体生长设备改造的首选仪表。在改造设备的过程中，我们本着尽可能利用老设备以节约资金的原则，对不同的设备采用了不同的改进方法，取得了良好的效果。英国欧陆公司生产的８１８型单回路调节器是近年来在我国应用较广的一种新型过程控制装置，现以此为例，介绍几种温控设备的改造方法。１．ＸＸＬ５５０型单晶炉的改造该设备是华北光电技术研究所制造的一种真空下降炉。其控制部分采用ＤＷＴ７０２和其自制的程序控制装置，只能执行单一程序且故障率较高，我们采用８１８Ｐ４型单回路调节器替代ＤＷＴ７０２和程序控制装置组成的温控系统，实现了控制设备的升级换代。２．上海自动化仪表六厂生产的ＤＷＴ７０２柜式程序控制装置。我们利用了其原来的可控硅触发部分，将ＤＷＴ７０２的ＰＩＤ板引至自动／手动切换的输出断开，?
关键词
晶体生长
温控设备
晶体生长装置
分类号
O78 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
改进晶体生长温控设备的几条途径
郑连荣
刘铁林
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
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