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微型光热驱动机构及其显微运动测量研究
被引量：
1
1
作者
陈超
张冬仙
+1 位作者
刘超
章海军
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期937-940,共4页
提出微型光热驱动机构（PTMA）及其显微运动测量的新方法，设计与微加工制作一种长度为1．5mm的非对称型PTMA，并开展光热驱动的实验研究。利用该测量方法，在波长为650nm、功率为9mW的半导体激光控制下，对PTMA的振幅与频率等显微运动...
提出微型光热驱动机构（PTMA）及其显微运动测量的新方法，设计与微加工制作一种长度为1．5mm的非对称型PTMA，并开展光热驱动的实验研究。利用该测量方法，在波长为650nm、功率为9mW的半导体激光控制下，对PTMA的振幅与频率等显微运动特性进行测量和分析，测得最大振幅为10．3μm，理想响应频率范围为0～7Hz，并绘制出其运动轨迹。研究结果表明，这类新型PTMA可在激光操控下产生不同振幅（位移）、不同频率（速度）的微运动，为机电系统提供了一种新的微驱动方法。
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关键词
微
型光热驱动机构
显微运动测量
微
驱动
MEMS
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职称材料
题名
微型光热驱动机构及其显微运动测量研究
被引量：
1
1
作者
陈超
张冬仙
刘超
章海军
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期937-940,共4页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(2006AA04Z237)
文摘
提出微型光热驱动机构（PTMA）及其显微运动测量的新方法，设计与微加工制作一种长度为1．5mm的非对称型PTMA，并开展光热驱动的实验研究。利用该测量方法，在波长为650nm、功率为9mW的半导体激光控制下，对PTMA的振幅与频率等显微运动特性进行测量和分析，测得最大振幅为10．3μm，理想响应频率范围为0～7Hz，并绘制出其运动轨迹。研究结果表明，这类新型PTMA可在激光操控下产生不同振幅（位移）、不同频率（速度）的微运动，为机电系统提供了一种新的微驱动方法。
关键词
微
型光热驱动机构
显微运动测量
微
驱动
MEMS
Keywords
photothermal microactuator
microscopic motion measurement
micro-- actuating
MEMS
分类号
TP391.4 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微型光热驱动机构及其显微运动测量研究
陈超
张冬仙
刘超
章海军
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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