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题名基于数字显微全息技术的相位光栅结构测量
被引量：3
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作者
周文静
于瀛洁
徐强胜
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机构
上海大学精密机械工程系
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期2234-2238,共5页
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基金
上海市重点学科建设项目(Y0102)
中国科技部中-希国际合作项目资助
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文摘
以相位光栅为实验对象,开展了基于数字显微全息技术的相位物体三维显微结构信息的再现研究.在Mach-Zender透射式实验系统的基础上,分别采用显微物镜和无透镜放大方式,对相位光栅进行放大,以提高系统横向分辨率.在显微物镜放大系统中,菲涅耳近似数值再现算法与双波长技术相结合,抑制主要系统噪音,获得相位光栅的显微结构三维分布.在无透镜放大数字显微全息系统中,分别利用菲涅耳近似法和卷积方法再现原始物波前,并提出相减法消除系统主要球面误差,获得相位光栅的深度信息.实验结果与Veeco干涉仪测试结果比对表明,光栅周期和深度结构与干涉仪测试数据相符.
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关键词
光学测量
数字显微全息技术
相位物体
显微结构测量
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Keywords
Optics measurement
Digital micro-holography
Phase object
Micro-structure measurement
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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