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题名显微栅线投影相关法及其在三维形貌测试中的应用
被引量：2
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作者
孙伟
董萼良
杨福俊
何芳
秦明
何小元
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第1期10-13,51,共5页
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基金
国家自然科学基金(10472026)
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文摘
基于数字图像相关法解调被物体高度调制的投影栅线平移量的原理,提出了显微栅线投影相关法的概念。该方法是栅线投影法和数字图像相关方法相结合的产物,用于测量微结构的三维形貌和离面变形。系统阐述了该方法的测量原理和详细的标定过程,研究了该方法在微薄膜挠度测量中的应用。测量结果表明,显微栅线投影相关法简单易行,测试结果可靠,配合高速图像采集系统,可用于微结构的动态测试,从而为实现微结构动、静态测试展现了新的应用前景。
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关键词
计量学
显微栅线投影相关法
三维形貌
薄膜挠度
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Keywords
Metrology
Micro fringe projection correlation method
3-D profile
Membrane deflection
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分类号
TB92
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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