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Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法: 1; 作者王建李亚文 +6 位作者肖玲梁竹关周开邻李萍徐晓华胡问国 Рау,З,И 《数据采集与处理》 CSCD 2001年第z1期112-115,共4页; 提出一种新的扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视半导体和多层结构集成电路表面层下亚表面层内半导体的缺陷和多层结构集成电路微结构的检测法(简称分层法)和用此法所观测到的分层内窥透视的图像.同时。; 关键词扫描电子显微镜电子束非接触无损显微分层内窥透视检测法半导体和多层结构集成电路分层的微结构和缺陷锁相放大器; 在线阅读下载PDF 职称材料

半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法被引量：1: 2; 作者肖玲李亚文 +6 位作者梁竹关李萍徐晓华王建周开邻 РАУЭ.И. 胡问国《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期585-586,共2页; 关键词半导体材料集成电路无损显微分层内窥法; 在线阅读下载PDF 职称材料

透绝缘层内窥透视集成电路法中Lock-in的应用: 3; 《数据采集与处理》 CSCD 2001年第z1期108-111,共4页; 提出一种新的在扫描电子显微镜中非接触无损透过半导体和集成电路表面绝缘层显微内窥透视检测掩盖在其绝缘层下面的半导体的缺陷和集成电路微结构的检测法(简称透表法)和用此法所观测到的图像。同时，本文还介绍了在此新检测法中Lock-i... 展开更多; 关键词扫描电子显微镜透过表面绝缘层非接触无损显微内窥透视检测法半导体和集成电路微结构和缺陷锁相放大器; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法	王建李亚文肖玲梁竹关周开邻李萍徐晓华胡问国 Рау,З,И	《数据采集与处理》 CSCD	2001	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法	肖玲李亚文梁竹关李萍徐晓华王建周开邻 РАУЭ.И. 胡问国	《电子显微学报》 CAS CSCD	2000	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	透绝缘层内窥透视集成电路法中Lock-in的应用		《数据采集与处理》 CSCD	2001	0	在线阅读下载PDF 职称材料