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真空封装硅微陀螺品质因数的标定
被引量：
6
1
作者
王玉朝
滕霖
+3 位作者
孙香政
王刚
郭志想
余才佳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期2708-2714,共7页
建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法。该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅。然后关断激励信号,通过...
建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法。该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅。然后关断激励信号,通过放大电路和解调电路,记录硅微陀螺振荡幅值的衰减过程;用计算机通过Matlab GUI实时采集并拟合振幅衰减曲线,获得时间常数。最后,通过时间常数解算获得真空封装硅微陀螺的品质因数。对真空封装硅微陀螺品质因数的实验测试结果表明:该方法实测数据与理论分析模型的拟合度为99.999%,测试重复性为4.03%,优于传统的扫频测试法的重复性。对比时延常数法与锁相放大器扫频测试法的测试数据显示:时延常数法具有更高的测量精度和更高的测试效率。该方法可以推广到其它高真空封装MEMS器件的品质因数测量。
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关键词
硅微陀螺
真空封装
品质因数
标定
时延常数法
扫频
法
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职称材料
题名
真空封装硅微陀螺品质因数的标定
被引量：
6
1
作者
王玉朝
滕霖
孙香政
王刚
郭志想
余才佳
机构
中国航空工业集团西安飞行自动控制研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第10期2708-2714,共7页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2011AA110102)
国家国际科技合作专项资助项目(No.2011DFA72370)
文摘
建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法。该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅。然后关断激励信号,通过放大电路和解调电路,记录硅微陀螺振荡幅值的衰减过程;用计算机通过Matlab GUI实时采集并拟合振幅衰减曲线,获得时间常数。最后,通过时间常数解算获得真空封装硅微陀螺的品质因数。对真空封装硅微陀螺品质因数的实验测试结果表明:该方法实测数据与理论分析模型的拟合度为99.999%,测试重复性为4.03%,优于传统的扫频测试法的重复性。对比时延常数法与锁相放大器扫频测试法的测试数据显示:时延常数法具有更高的测量精度和更高的测试效率。该方法可以推广到其它高真空封装MEMS器件的品质因数测量。
关键词
硅微陀螺
真空封装
品质因数
标定
时延常数法
扫频
法
Keywords
microgyroseope
vacuum packaging
quality factor
calibration
decay constant method
frequency sweeping method
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空封装硅微陀螺品质因数的标定
王玉朝
滕霖
孙香政
王刚
郭志想
余才佳
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
6
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