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半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化
被引量：
5
1
作者
李衍飞
江志斌
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期209-213,共5页
从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现...
从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法.
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关键词
半导体晶圆制造系统
时变多目标
生产计划与调度
模糊控制
模拟退火法
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职称材料
基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究
被引量：
1
2
作者
李衍飞
江志斌
张怀
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期732-737,共6页
针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最...
针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。
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关键词
半导体晶圆制造系统(SWFS)
时变多目标
(TVMO)
生产计划与调度
模糊控制
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职称材料
题名
半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化
被引量：
5
1
作者
李衍飞
江志斌
机构
上海交通大学工业工程与管理系
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期209-213,共5页
基金
国家自然科学基金(50475027)
国家高技术研究发展计划(863)项目(2006AA04Z128)
教育部高等学校博士学科点专项科研基金(20040248052)资助项目
文摘
从当前半导体晶圆制造企业实际生产调度的角度出发,根据模糊控制理论和模拟退火算法,提出了解决半导体晶圆制造系统(SWFS)时变多目标生产调度复杂问题的方法.大量的仿真实验数据证明,该方法可以在求解速度和优化质量间取得平衡,并实现了全局优化效果,为实现SWFS的科学生产控制与调度提供了有效策略和方法.
关键词
半导体晶圆制造系统
时变多目标
生产计划与调度
模糊控制
模拟退火法
Keywords
semiconductor wafer fabrication system （SWFS）
time-variable multiple-objectives （TVMO）
production planning and scheduling
fuzzy control
simulated annealing
分类号
TP391.9 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究
被引量：
1
2
作者
李衍飞
江志斌
张怀
机构
上海交通大学工业工程与物流工程系
出处
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期732-737,共6页
基金
国家自然科学基金(50475027)
863计划(2006AA04Z128)
博士点基金(20040248052)资助项目
文摘
针对半导体晶圆制造系统(SWFS)调度中的多目标优化和目标时变性问题,提出了一种时变多目标(TVMO)调度算法。基于模糊理论研究了时变模糊集合与多目标重要程度的复杂非线性量化关系,进而研究了 SWFS 的优化调度方法。所提出的方法兼顾最大产品交期率、最大生产移动量和瓶颈机台最大产能利用率三个目标,根据时变目标权重计算出在制品的加工优先权序列号。大量的仿真实验数据证明,该调度算法能够改善系统多个绩效目标,可为大规模复杂重入型制造系统的科学生产控制与调度提供有效支持。
关键词
半导体晶圆制造系统(SWFS)
时变多目标
(TVMO)
生产计划与调度
模糊控制
Keywords
semiconductor wafer fabrication system （SWFS）, time-variable multiple-objectives （TVMO）, production planning and scheduling, fuzzy control
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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1
半导体晶圆制造系统的时变多目标生产调度优化
李衍飞
江志斌
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
5
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职称材料
2
基于模糊理论的半导体制造系统时变多目标生产调度研究
李衍飞
江志斌
张怀
《高技术通讯》
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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