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LTCC高温压力传感器温漂特性研究 被引量:3
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作者 罗涛 谭秋林 +4 位作者 熊继军 纪夏夏 王晓龙 薛晨阳 张文栋 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期190-193,共4页
研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统,对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试,结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试,通过... 研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统,对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试,结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试,通过对比分析,确定了造成传感器温漂的主要原因是LTCC材料相对介电常数的变化。结合测试数据和公式推导,得出了600℃时杜邦951 LTCC材料的相对介电常数由常温7.8增大到9.04。 展开更多
关键词 无线无源压力传感器 相对介电常数 谐振频率 温度漂移
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