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LTCC高温压力传感器温漂特性研究
被引量:
3
1
作者
罗涛
谭秋林
+4 位作者
熊继军
纪夏夏
王晓龙
薛晨阳
张文栋
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期190-193,共4页
研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统,对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试,结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试,通过...
研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统,对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试,结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试,通过对比分析,确定了造成传感器温漂的主要原因是LTCC材料相对介电常数的变化。结合测试数据和公式推导,得出了600℃时杜邦951 LTCC材料的相对介电常数由常温7.8增大到9.04。
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关键词
无线无源压力传感器
相对介电常数
谐振频率
温度漂移
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职称材料
题名
LTCC高温压力传感器温漂特性研究
被引量:
3
1
作者
罗涛
谭秋林
熊继军
纪夏夏
王晓龙
薛晨阳
张文栋
机构
电子测试技术重点实验室
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第2期190-193,共4页
基金
国家自然科学基金项目(51075375)
高等学校优秀青年学术带头人支持计划项目(2013)
文摘
研究了利用杜邦951 LTCC材料制备的无线无源压力传感器的温漂特性。通过搭建高温测试系统,对传感器0~600℃内的高温特性进行了测试,结果表明传感器存在较大温度漂移。通过制作无腔传感器和LTCC基片上螺旋电感进行高温特性测试,通过对比分析,确定了造成传感器温漂的主要原因是LTCC材料相对介电常数的变化。结合测试数据和公式推导,得出了600℃时杜邦951 LTCC材料的相对介电常数由常温7.8增大到9.04。
关键词
无线无源压力传感器
相对介电常数
谐振频率
温度漂移
Keywords
LTCC
LTCC
wireless passive pressure sensor
relative permittivity
resonant frequency
temperature drift
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LTCC高温压力传感器温漂特性研究
罗涛
谭秋林
熊继军
纪夏夏
王晓龙
薛晨阳
张文栋
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
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