期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
用于狭缝中的SAW应力传感器的设计与制作
被引量：
3
1
作者
李海宁
丁杰雄
+1 位作者
姜忠
付陆元
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013年第6期771-774,778,共5页
为了对两曲面狭缝间的作用力进行监测,设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线应力传感器。首先,讨论了狭缝间作用力测量的传感技术方案,分析了弹性介质中力敏结构模型,进而确定了SAW谐振器的尺寸;其次,结合微机电系统(MEMS)加...
为了对两曲面狭缝间的作用力进行监测,设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线应力传感器。首先,讨论了狭缝间作用力测量的传感技术方案,分析了弹性介质中力敏结构模型,进而确定了SAW谐振器的尺寸;其次,结合微机电系统(MEMS)加工工艺研究了该器件的制作工艺方案,包括SAW谐振器、支撑基底、传输线的制作。通过对SAW传感器设计与制作过程的探究,可为狭缝空间等极端环境中物理量的测量提供新的思路。
展开更多
关键词
声表面波(SAW)
无源无线应力传感器
曲面狭缝
力敏结构
制作工艺
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
用于狭缝中的SAW应力传感器的设计与制作
被引量：
3
1
作者
李海宁
丁杰雄
姜忠
付陆元
机构
电子科技大学机械电子工程学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013年第6期771-774,778,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11076007)
文摘
为了对两曲面狭缝间的作用力进行监测,设计了一种基于声表面波(SAW)传感原理的无源无线应力传感器。首先,讨论了狭缝间作用力测量的传感技术方案,分析了弹性介质中力敏结构模型,进而确定了SAW谐振器的尺寸;其次,结合微机电系统(MEMS)加工工艺研究了该器件的制作工艺方案,包括SAW谐振器、支撑基底、传输线的制作。通过对SAW传感器设计与制作过程的探究,可为狭缝空间等极端环境中物理量的测量提供新的思路。
关键词
声表面波(SAW)
无源无线应力传感器
曲面狭缝
力敏结构
制作工艺
Keywords
surface acoustic wave
passive and wireless stress sensor
curved slit
force-sensitive structure
process manufacture
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TP73 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于狭缝中的SAW应力传感器的设计与制作
李海宁
丁杰雄
姜忠
付陆元
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2013
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
