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面向硅基光互连应用的无源光子集成器件研究进展
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作者 陈少武 余金中 +4 位作者 徐学俊 黄庆忠 余和军 屠晓光 李运涛 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期153-156,149,共5页
光互连是突破传统微电子IC性能瓶颈的重要技术手段,对推进"后摩尔时代"微电子技术的发展和高性能计算技术的实现具有关键性意义。本文在归纳总结不同层次光互连结构特点的基础上,对片上光互连(on-chip or intra-chip optical ... 光互连是突破传统微电子IC性能瓶颈的重要技术手段,对推进"后摩尔时代"微电子技术的发展和高性能计算技术的实现具有关键性意义。本文在归纳总结不同层次光互连结构特点的基础上,对片上光互连(on-chip or intra-chip optical interconnects)所涉及的若干种无源光子集成器件的设计制备及性能特点进行了分析介绍,这些器件包括SOI亚波长光子线波导、SOI光子晶体波导、MMI分束/合束器、微环/微盘谐振腔滤波器、光子晶体微腔耦合滤波器、光子晶体反射镜等,是硅基片上光互连的基本构成单元。本文对这些关键性光子集成器件的国内最新研究进展进行了报道。 展开更多
关键词 硅基光子学 片上光互连 CMOS微纳加工工艺 无源光子集成器件 光子线波导 微腔滤波器
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基于集成无源器件工艺的射频功率分配器设计 被引量:2
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作者 隆万洪 黄文韬 +2 位作者 吴振川 徐宽茂 蒋凯旋 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期371-377,共7页
由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频... 由于集成无源器件(IPD)工艺可与集成电路平面工艺兼容,IPD工艺设计的无源器件易集成到集成电路芯片中,有利于电子设备小型化和可靠性的提高。基于IPD工艺,采用等效电路取代14λ传输线的设计方法,分别设计了一个同相和一个反相3 d B射频功率分配器。同相功率分配器的实测结果显示插入损耗约为3.7 d B,隔离度约为25 d B,性能与威尔金森结构功率分配器接近,封装后的尺寸为1.6 mm×0.8 mm,小于威尔金森结构功率分配器。反相功率分配器仿真结果表明插入损耗小于4.2 d B,隔离度约为25 d B。该功率分配器可应用到移动通信终端。 展开更多
关键词 功率分配器 集成无源器件(IPD) 1/4λ传输线 等效电路 小尺寸
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基于硅基薄膜集成无源器件工艺的双频器设计
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作者 吴振川 隆万洪 《科学技术与工程》 北大核心 2016年第9期199-204,共6页
消费类电子市场对产品的便携性要求愈益强烈。薄膜集成无源器件工艺由于集成度更高、成本低且性能较好而被提了出来。本文基于硅(Si)基薄膜无源器件工艺设计了一个集成静电防护(electro-static discharge,ESD)功能的双频器(diplexer),... 消费类电子市场对产品的便携性要求愈益强烈。薄膜集成无源器件工艺由于集成度更高、成本低且性能较好而被提了出来。本文基于硅(Si)基薄膜无源器件工艺设计了一个集成静电防护(electro-static discharge,ESD)功能的双频器(diplexer),利用电磁仿真(EM)来优化双频器的性能。双频器在GPS频段的插入损耗小于1.1d B,回波损耗平均为10 d B,隔离度大于22 d B;在2.4 GHz WIFI频段的插入损耗小于1.2 d B,回波损耗为11 d B,隔离度大于30 d B;双频器的面积是1 100×950μm。经测试,在HBM模式下,可以经受2 k V的电压的冲击。对比低温共烧陶瓷和PCB工艺制作的双频器,这个双频器在保证性能的同时,具有体积小,价格低的优点。这样的diplexer可以用在很多手持设备和便携设备上面。 展开更多
关键词 双频器 集成无源器件 静电防护 小型化 集成化
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集成光无源器件及其制作
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作者 杜良桢 雷润生 《电信科学》 北大核心 2003年第7期59-61,共3页
本文以光隔离器(Isolator)、波分复用器(WDM)和光耦合器(Coupler)三功能组合的混合器件为例介绍了集成光无源器件(以下简称Hybrid器件)的应用、原理、性能和特点,以及在制造过程中存在的色散和光纤模式匹配的问题及解决方案。
关键词 光隔离器 波分复用器 光耦合器 集成光无源器件 色散 光纤模式匹配
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0.2~2.0GHz100W超宽带GaN功率放大器 被引量:1
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作者 张晓帆 银军 +4 位作者 倪涛 余若祺 斛彦生 王辉 高永辉 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期252-256,共5页
设计并实现了一款基于0.25μm GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺的100 W超宽带功率放大器。基于SiC无源工艺设计了集成无源器件(IPD)输入预匹配电路芯片;设计了基于陶瓷基片的T型集成输出预匹配电路;基于建立的传输线变压器(TLT)的精确... 设计并实现了一款基于0.25μm GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)工艺的100 W超宽带功率放大器。基于SiC无源工艺设计了集成无源器件(IPD)输入预匹配电路芯片;设计了基于陶瓷基片的T型集成输出预匹配电路;基于建立的传输线变压器(TLT)的精确模型,设计了宽带阻抗变换器,在超宽频带内将50Ω的端口阻抗变换至约12.5Ω,再通过多节微带电路与预匹配后的GaN HEMT芯片实现阻抗匹配。最终,以较小的电路尺寸实现了功率放大器的超宽带性能指标。测试结果表明,功率放大器在0.2~2.0 GHz频带内,在漏极电压36 V、输入功率9 W、连续波的工作条件下,输出功率大于103 W,漏极效率大于50%,输入电压驻波比(VSWR)≤2.5。 展开更多
关键词 GaN高电子迁移率功率管(HEMT) 功率放大器 集成无源器件(IPD) 超宽带 传输线变压器(TLT)
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基于GaAs工艺的片上宽带功率分配器
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作者 李辰辰 高一强 +3 位作者 孙晓玮 钱蓉 周健 杨明辉 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第1期95-98,共4页
提出了一种基于砷化镓—集成无源器件(GaAs-IPD)工艺的宽带3dB功率分配器。使用多节级联以及集总参数等效的方法,实现了宽带小型化设计;使用RC串联隔离网络实现宽带内的高隔离性能。对提出的功分器进行了理论分析,并以20GHz为中心频率... 提出了一种基于砷化镓—集成无源器件(GaAs-IPD)工艺的宽带3dB功率分配器。使用多节级联以及集总参数等效的方法,实现了宽带小型化设计;使用RC串联隔离网络实现宽带内的高隔离性能。对提出的功分器进行了理论分析,并以20GHz为中心频率完成设计,电路尺寸为0.04λ0×0.053λ0,λ0为中心频率处的自由空间波长。经过测试,其相对工作带宽为80%,带内插损0.7dB,端口隔离高于20dB。测试结果与仿真结果保持了良好的一致性。 展开更多
关键词 功率分配器 砷化镓工艺 宽带 集成无源器件
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基于IPD工艺的高选择性带通滤波器设计
7
作者 李宗哲 王伟 +3 位作者 杨宋源 杨女燕 王省莲 张文 《微波学报》 CSCD 北大核心 2024年第S1期159-162,共4页
现代通信技术的快速发展对射频滤波器的尺寸与性能提出了更高更严的要求。本文设计了一款采用GaAs IPD工艺的高选择性带通滤波器,将逆切比雪夫滤波器结构与多个谐振器结合以生成额外传输零点。对电路结构各部分原理进行了分析,采用ADS... 现代通信技术的快速发展对射频滤波器的尺寸与性能提出了更高更严的要求。本文设计了一款采用GaAs IPD工艺的高选择性带通滤波器,将逆切比雪夫滤波器结构与多个谐振器结合以生成额外传输零点。对电路结构各部分原理进行了分析,采用ADS电磁仿真软件进行滤波器电路建模与仿真验证。仿真结果表明:该带通滤波器通带2.1~3.8 GHz,通带内最小插入损耗为2.4 dB,带外抑制在DC~1.3 GHz、5~10 GHz范围内优于38 dB,且通带两侧共有四个传输零点,具有较高的选择性。 展开更多
关键词 带通滤波器 集成无源器件 砷化镓 高选择性
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RF-MEMS的系统级封装 被引量:2
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作者 杨宇 蔡坚 +2 位作者 刘泽文 王水弟 贾松良 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期45-48,共4页
射频(RF)技术在现代通信领域正得到越来越广泛的应用,用MEMS方法制备的射频元件不仅尺寸小、成本低、功能强大,而且更利于系统集成。系统级封装(SIP)寄生效应小、集成度高的优点特别适合用来封装RF-MEMS系统。本文介绍了系统级封装的发... 射频(RF)技术在现代通信领域正得到越来越广泛的应用,用MEMS方法制备的射频元件不仅尺寸小、成本低、功能强大,而且更利于系统集成。系统级封装(SIP)寄生效应小、集成度高的优点特别适合用来封装RF-MEMS系统。本文介绍了系统级封装的发展现状特别是在射频领域的应用,同时重点分析了在RF-MEMS系统级封装中封装结构、元件集成、互连及封装材料等几个关键问题。 展开更多
关键词 系统级封装 射频技术 无线通信 微机电系统 无源器件集成 互连 RF-MEMS
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基于高阻硅的毫米波IPD滤波器研究 被引量:6
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作者 吕立明 曾荣 +1 位作者 方芝清 魏启甫 《微波学报》 CSCD 北大核心 2018年第4期87-90,共4页
5G通信迫切需要毫米波集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD),要求该类器件低成本、高性能。基于高阻硅(High Resistivity Silicon,HRS)工艺设计并加工了一款四阶交叉耦合毫米波微带滤波器,基于测试结果和有耗耦合矩阵理论... 5G通信迫切需要毫米波集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD),要求该类器件低成本、高性能。基于高阻硅(High Resistivity Silicon,HRS)工艺设计并加工了一款四阶交叉耦合毫米波微带滤波器,基于测试结果和有耗耦合矩阵理论反提取得到四阶滤波器谐振器的真实无载品质因素。进而对高阻硅基的毫米波工艺参数(例如,损耗角正切)进行修正,利用电磁仿真软件进行验证;分析了金属粗糙度对于滤波器损耗的影响。修正后的模型仿真结果和测试结果吻合较好,验证了修正后毫米波段高阻硅基参数的有效性,为芯片级毫米波无源器件的设计提供了支撑。 展开更多
关键词 毫米波 微带滤波器 高阻硅 集成无源器件
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基于GaAs IPD的小型化高选择性X波段宽带带通滤波器 被引量:6
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作者 赵辉 刘海文 +2 位作者 冯林平 高一强 孙晓玮 《微波学报》 CSCD 北大核心 2023年第2期28-32,38,共6页
文中设计并实际开发了一种基于砷化镓(Gallium Arsenide,GaAs)集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)技术的小型化高选择性宽带带通滤波器。首先,所提出的带通滤波器是通过引入集总参数谐振器来设计的,以实现高选择性和宽带性能... 文中设计并实际开发了一种基于砷化镓(Gallium Arsenide,GaAs)集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)技术的小型化高选择性宽带带通滤波器。首先,所提出的带通滤波器是通过引入集总参数谐振器来设计的,以实现高选择性和宽带性能。其次,进一步研究了实现高选择性和宽带性能的工作原理。最后,为了证明所述性能,基于GaAs-IPD技术设计、制造和测量了一个紧凑型高选择性宽带带通滤波器。该滤波器工作频率覆盖了整个X波段(6~13 GHz),相对带宽为74.0%,带外实现了四个传输零点,从而实现了高选择性和良好的带外性能,芯片尺寸为0.05λ_(0)×0.03λ_(0)。比较了实测结果与电磁仿真结果,验证了该设计的可行性。 展开更多
关键词 带通滤波器 砷化镓 集成无源器件 小型化 高选择性 宽带
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基于硅基IPD技术的新型S波段带通滤波器设计 被引量:3
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作者 方芝清 唐高弟 +2 位作者 吕立明 曾荣 李智鹏 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期347-352,共6页
将无源器件内埋或集成在封装基板中,是射频系统级封装(SIP)的小型化面临的首要问题之一。基于硅基集成无源器件(IPD)技术,借鉴经典的级联四角元件(CQ)滤波器拓扑,提出一种四电感互耦结构。利用集总LC谐振器和分布式互感耦合原理,... 将无源器件内埋或集成在封装基板中,是射频系统级封装(SIP)的小型化面临的首要问题之一。基于硅基集成无源器件(IPD)技术,借鉴经典的级联四角元件(CQ)滤波器拓扑,提出一种四电感互耦结构。利用集总LC谐振器和分布式互感耦合原理,在交叉耦合节点处以加载电容的方式引入频变耦合节点,实现了一款新颖的S波段四阶带通滤波器,尺寸仅为1.5 mm×1 mm,其通带内最小插损约为-3.5 dB@2.8 GHz,-1 dB带宽为2.63~2.96 GHz,在带外形成两个传输零点位置:-41.5 dB@2.29 GHz和-26 dB@3.34 GHz。该滤波器结构形式新颖,可以整体集成到硅基板中,为射频系统级封装一体化集成提供支持。 展开更多
关键词 带通滤波器 集成无源器件(IPD) 系统级封装(SIP) 频变耦合 互感电感结构
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基于IPD工艺的滤波器设计 被引量:2
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作者 李鹏浩 吴蓉 +4 位作者 马骁 杨新豪 陈思婷 邱昕 郭瑞 《半导体技术》 CAS 北大核心 2022年第4期313-319,共7页
采用集成无源器件(IPD)工艺设计并实现了一款9阶椭圆低通滤波器和一款9阶椭圆高通滤波器。利用设计软件对电感元件、滤波器中的串联和并联谐振支路以及滤波器整体进行设计布局以及电磁仿真优化。低通滤波器芯片尺寸为0.65 mm×1 mm&... 采用集成无源器件(IPD)工艺设计并实现了一款9阶椭圆低通滤波器和一款9阶椭圆高通滤波器。利用设计软件对电感元件、滤波器中的串联和并联谐振支路以及滤波器整体进行设计布局以及电磁仿真优化。低通滤波器芯片尺寸为0.65 mm×1 mm×0.1 mm,高通滤波器芯片尺寸为0.7 mm×1.3 mm×0.1 mm。芯片测试结果显示,低通滤波器的-3 dB截止频率高于4.85 GHz,带外抑制在5.89~16.8 GHz内大于35 dB;高通滤波器的-3 dB截止频率低于6.35 GHz,带外抑制在5.17 GHz以下时大于35 dB。这两款滤波器在所需的工作频率范围内与设计指标吻合良好,达到了设计要求。 展开更多
关键词 集成无源器件(IPD) 高通滤波器 低通滤波器 电感 谐振
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一种GaAs IPD的宽阻带低通滤波器设计 被引量:4
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作者 易康 邢孟江 +2 位作者 侯明 李小珍 代传相 《微波学报》 CSCD 北大核心 2020年第6期57-60,共4页
针对传统低通滤波器尺寸小、阻带范围小的问题,在砷化镓(GaAs)衬底上采用集成无源器件(IPD)工艺设计了一款宽阻带低通滤波器。在切比雪夫型低通滤波器电路上引入两传输零点以提高滚降度,在HFSS中对该电路结构进行建模与仿真,并进行实物... 针对传统低通滤波器尺寸小、阻带范围小的问题,在砷化镓(GaAs)衬底上采用集成无源器件(IPD)工艺设计了一款宽阻带低通滤波器。在切比雪夫型低通滤波器电路上引入两传输零点以提高滚降度,在HFSS中对该电路结构进行建模与仿真,并进行实物加工与测试。测试结果表明:所设计的滤波器截止频率为11.1 GHz,在15~30 GHz范围内的阻带衰减量大于30 dB,整体尺寸仅为800μm×650μm×111.96μm。 展开更多
关键词 砷化镓 宽阻带 传输零点 低通滤波器 集成无源器件
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一种IPD吸收式低通滤波器的设计 被引量:2
14
作者 徐珊 邢孟江 +2 位作者 李小珍 代传相 杨晓东 《微波学报》 CSCD 北大核心 2021年第1期89-92,96,共5页
为解决反射信号损害系统性能的问题,提出了一种具有高带外抑制和高带外吸收的小型化吸收式低通滤波器。该滤波器通过高通通路和低通通路实现了吸收式低通滤波器;通过抑制增益支路实现了高带外抑制。利用ADS和HFSS仿真软件对滤波器结构... 为解决反射信号损害系统性能的问题,提出了一种具有高带外抑制和高带外吸收的小型化吸收式低通滤波器。该滤波器通过高通通路和低通通路实现了吸收式低通滤波器;通过抑制增益支路实现了高带外抑制。利用ADS和HFSS仿真软件对滤波器结构进行优化设计,并进行了实物的加工和测试。实测结果表明:该滤波器的3 dB截止频率为4 GHz,其带内最小插入损耗0.88 dB,通带内DC到3.5 GHz的回波损耗大于20 dB,阻带回波损耗大于10 dB,10.5 GHz处的阻带抑制大于45dB,从8 GHz到30 GHz的带外抑制大于33 dB,实测结果与仿真结果有较好的吻合。该滤波器尺寸仅为1220μm×650μm×87.71μm,相比传统PCB、LTCC工艺的滤波器,体积大大缩小,符合现代射频与微波系统小型化的发展趋势。 展开更多
关键词 吸收式滤波器 集成无源器件 小型化 高带外抑制 高带外吸收
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基于IPD的紧凑型高性能N77带通滤波器 被引量:3
15
作者 代传相 李小珍 +1 位作者 邢孟江 刘永红 《微波学报》 CSCD 北大核心 2022年第2期52-55,60,共5页
5G通信系统向小型化、集成化、低功耗、高性能方向发展,要求5G滤波器性能更高、体积更小。文中将切比雪夫Ⅱ型带通滤波器原型电路进行等效变换,在减少插入损耗的同时在低频端引入两个传输零点;通过合理的空间布局以及对元件连接端口进... 5G通信系统向小型化、集成化、低功耗、高性能方向发展,要求5G滤波器性能更高、体积更小。文中将切比雪夫Ⅱ型带通滤波器原型电路进行等效变换,在减少插入损耗的同时在低频端引入两个传输零点;通过合理的空间布局以及对元件连接端口进行阻抗匹配优化,利用元件的寄生参数在高频端引入两个传输零点。从电路原理和三维结构两个方向进行研究,在小尺寸情况下实现了较高阻带抑制和较小带内损耗。设计并加工了GaAs衬底的芯片滤波器,实测表明,仿真结果与测试结果相符,滤波器尺寸仅为1.0 mm×0.8 mm×0.1 mm。 展开更多
关键词 5G通信技术 砷化镓集成无源器件 带通滤波器 N77频段
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无线收发前端小型化巴伦的研究
16
作者 高艳 李永杰 +1 位作者 吴文涛 孙利国 《电波科学学报》 CSCD 北大核心 2017年第3期323-330,共8页
针对射频前端的小型化巴伦展开研究,在理论分析上,从变压器型巴伦的原理出发,将电磁场数值方法和微波网络理论相结合,将标准散射(S)参数和混合散射(S)参数相结合,提出了新颖的巴伦特性的理论研究方法;在实际应用上,利用高阻性硅基集成... 针对射频前端的小型化巴伦展开研究,在理论分析上,从变压器型巴伦的原理出发,将电磁场数值方法和微波网络理论相结合,将标准散射(S)参数和混合散射(S)参数相结合,提出了新颖的巴伦特性的理论研究方法;在实际应用上,利用高阻性硅基集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)技术,经过电磁仿真和优化,设计和制作了基于交叉耦合平面螺旋线结构的小型化变压器型巴伦.巴伦的尺寸仅为1.85mm×1.6mm,10dB单端回波损耗带宽为2.07~2.80GHz,频带内插入损耗小于0.98dB,差分对幅度失配小于0.43dB,相位失配小于3.8°,仿真结果得到了实验验证. 展开更多
关键词 射频前端 巴伦 集成无源器件 小型化 变压器
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一种紧凑型毫米波IPD片上滤波功分器
17
作者 沈光煦 徐鹏涵 +1 位作者 冯文杰 车文荃 《微波学报》 2025年第4期51-55,60,共6页
针对毫米波片上滤波电路所面临的大尺寸与高损耗问题,文中提出一种基于外部品质因素以及MIM电容加载的小型化片上滤波功分器。文中提出由两种集总电容和分布式传输线电感构成的片上谐振器,实现结构小型化,并基于输入外部品质因数提出小... 针对毫米波片上滤波电路所面临的大尺寸与高损耗问题,文中提出一种基于外部品质因素以及MIM电容加载的小型化片上滤波功分器。文中提出由两种集总电容和分布式传输线电感构成的片上谐振器,实现结构小型化,并基于输入外部品质因数提出小型化滤波功分器拓扑。为提高滤波功分器的输出隔离,文中提出基于复数阻抗和表面波抑制条带的高隔离电路结构。最后,基于砷化镓衬底的集成无源器件(IPD)工艺设计一款两路等功分28 GHz片上滤波功分器,插入损耗仅为0.9 dB(不考虑功分),尺寸仅为0.7 mm^(2),全频段输出隔离大于17 dB。 展开更多
关键词 集成无源器件 毫米波 片上 滤波器 功分器
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