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无油涡旋真空泵主轴冷却装置数值模拟研究
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作者 袁熙 马明旭 +1 位作者 陈杰 王哲英 《东北大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第1期92-98,118,共8页
针对某企业现有的无油涡旋真空泵主轴冷却结构开展研究,基于该真空泵主轴冷却装置实际结构和工作原理,分析了影响主轴冷却效率的主要技术参数.进一步构建了其内部的几何模型,并利用ANSYS Fluent软件对其流场特性和温度场特性进行了数值... 针对某企业现有的无油涡旋真空泵主轴冷却结构开展研究,基于该真空泵主轴冷却装置实际结构和工作原理,分析了影响主轴冷却效率的主要技术参数.进一步构建了其内部的几何模型,并利用ANSYS Fluent软件对其流场特性和温度场特性进行了数值模拟仿真.此外,还研究了变截面冷却管道在不同管径和不同出口数量等条件下对装置温降效率的影响.结果表明:当入口段直径从3.0 mm增大至5.0 mm,轴表面温度下降了12.74%;当出口段直径从2.5 mm增大至3.5 mm,轴表面温度下降了19.68%;当管道出口数量从1个增加至4个,轴表面温度下降了23.61%.轴表面温度对中间段直径和末尾段直径的改变响应不明显.故冷却管道入口段直径、出口段直径以及管道出口的数量是影响真空泵偏心主轴温降的主要因素. 展开更多
关键词 无油涡旋真空泵 冷却装置 流场特性 温度场特性 数值模拟
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全无油往复真空输送泵泄漏分析及计算 被引量:1
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作者 董辉 徐成海 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期3-6,共4页
本文分析了输送泵的泄漏途径及泄漏对输送泵性能的影响,探讨了曲轴箱的压力,运用流导的方法计算了通过活塞环的泄漏量,并进行了结果分析。
关键词 无油真空泵 泄漏 曲轴箱 活塞环 分析 计算
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无油泵对检漏系统有效最小可检漏率影响研究
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作者 孟冬辉 孙立臣 +6 位作者 邵容平 闫荣鑫 张春元 陈金明 张海峰 喻新发 王健 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期941-944,共4页
真空检漏技术广泛应用于航天、航空、核工业等军工行业的密封产品测试,近些年,无油真空泵逐步代替了油封式机械泵作为检漏系统的前级泵。无油泵作为前级泵具有清洁无油的优点,但实践中经常出现检漏系统本底异常升高、检漏系统有效最小... 真空检漏技术广泛应用于航天、航空、核工业等军工行业的密封产品测试,近些年,无油真空泵逐步代替了油封式机械泵作为检漏系统的前级泵。无油泵作为前级泵具有清洁无油的优点,但实践中经常出现检漏系统本底异常升高、检漏系统有效最小可检漏率与理论分析结果相差较大的情况。本文从检漏系统有效最小可检漏率的影响因素入手,结合容积式真空泵工作原理,分析了无油泵对检漏系统有效最小可检漏率的影响原因,并进行了实验验证,给出了改进建议。 展开更多
关键词 检漏 氦质谱 最小可检漏率 无油真空泵
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普旭BUSCH真空系列通过应用材料公司AMAT测式
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《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期77-77,共1页
关键词 普旭公司 BUSCH真空系列 AMAT测式 无油螺杆真空泵
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