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无氢类金刚石碳膜的研究进展 被引量:19
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作者 任妮 马占吉 高欣 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 2003年第3期176-181,186,共7页
介绍了无氢类金刚石碳膜的制备方法 ,它们的机械、光学、电学性能 ,将无氢与含氢的类金刚石碳膜进行了简单比较 。
关键词 无氢类金刚石 金刚石 拉曼谱 摩擦 磨损
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含氢和无氢类金刚石涂层的制备及切削性能研究 被引量:6
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作者 张而耕 牛帅 +1 位作者 陈强 黄彪 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2019年第5期637-643,共7页
为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响。采用髙分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度... 为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响。采用髙分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铳削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量。结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,Ta-C和含氢DLC涂层在Raman光谱中D峰和G峰强度比值Id/Ig分别为0.5和1.1。Ta-C及含氢DLC涂层厚度分别为0.7μm和1μm,摩擦系数分别是0.11和0.18,结合力分别满足工业等级HF1和HF2。在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铳刀的切削寿命是含氢DLC涂层铳刀的1.5倍,涂层铳刀加工工件的表面粗糙度整体为上升趋势,但Ta-C涂层刀具加工工件的表面粗糙度值较低。相较于含氢DLC涂层,磁过滤阴极电弧沉积Ta-C涂层刀具抑制铝合金材料粘附效果更佳,切削寿命更长,加工出的工件表面质量更好,因此更适用于铝合金的加工。 展开更多
关键词 无氢类金刚石涂层 金刚石涂层 铝合金 切削寿命 表面粗糙度
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外加偏置电场对类金刚石薄膜激光损伤形貌影响研究 被引量:3
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作者 吴慎将 苏俊宏 +2 位作者 施卫 王馨梅 徐均琪 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期11-14,共4页
研究了使用非平衡测控溅射技术沉积的类金刚石(DLC)薄膜其抗激光损伤能力;通过对比施加偏置电场前后薄膜的损伤情况,发现:DLC薄膜施加偏置电场后,薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜,损伤形貌存在明显不同,损伤面积减小;薄膜的激光损... 研究了使用非平衡测控溅射技术沉积的类金刚石(DLC)薄膜其抗激光损伤能力;通过对比施加偏置电场前后薄膜的损伤情况,发现:DLC薄膜施加偏置电场后,薄膜的激光损伤区域内有大量丝状薄膜,损伤形貌存在明显不同,损伤面积减小;薄膜的激光损伤情况得到改善。实验结果显示,外加偏置电场对DLC薄膜的损伤有影响。认为:激光在DLC薄膜中激励产生的光生电子在电场的作用下产生快速漂移,间接降低了激光辐照区域内的局部能量密度,减缓了薄膜的石墨化,提高了DLC薄膜的抗激光损伤能力。 展开更多
关键词 外加偏置电场 无氢类金刚石 激光损伤 损伤形貌
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SiC靶功率密度对无氢掺硅类金刚石薄膜摩擦学性能的影响 被引量:1
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作者 张贺勇 代明江 +3 位作者 胡芳 韦春贝 林松盛 侯惠君 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期37-42,共6页
采用直流磁控溅射石墨靶、中频磁控溅射碳化硅靶以及离子源辅助的复合沉积技术,制备出膜层质量优异、摩擦因数和磨损率较低的具有不同Si含量的无氢掺硅类金刚石薄膜。使用XPS、拉曼光谱仪、台阶仪、纳米硬度计、SEM、EDS以及球盘式摩擦... 采用直流磁控溅射石墨靶、中频磁控溅射碳化硅靶以及离子源辅助的复合沉积技术,制备出膜层质量优异、摩擦因数和磨损率较低的具有不同Si含量的无氢掺硅类金刚石薄膜。使用XPS、拉曼光谱仪、台阶仪、纳米硬度计、SEM、EDS以及球盘式摩擦磨损试验仪测试并表征薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学性能。研究表明,该技术能够成功制备出无氢掺硅类金刚石薄膜;随着SiC靶功率密度的增加,薄膜中Si的含量和sp3键的含量逐渐增加,其纳米硬度和弹性模量先增大后减小,摩擦因数由0.277降低至0.066,但其磨损率从6.29×10-11 mm3/Nm增加至1.45×10-9 mm3/Nm;当SiC靶功率密度为1.37W/cm2时,薄膜的纳米硬度与弹性模量分别达到最大值16.82GPa和250.2GPa。 展开更多
关键词 磁控溅射 无氢掺硅金刚石薄膜 摩擦因数 磨损率
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