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霍尔源用于光学镀膜
被引量：
5
1
作者
贾克辉
黄建兵
+3 位作者
徐颖
陈红
高劲松
曹建林
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期1228-1230,共3页
报道了用于辅助镀膜的无栅霍尔等离子体源的结构原理及性能指标 ,并从光学特性、显微特性和机械特性三方面着手 ,研究了使用霍尔源所做的单层TiO2 膜的成膜工艺与质量 研究表明 ,使用霍尔源辅助沉积的光学薄膜折射率明显提高 ,更加接...
报道了用于辅助镀膜的无栅霍尔等离子体源的结构原理及性能指标 ,并从光学特性、显微特性和机械特性三方面着手 ,研究了使用霍尔源所做的单层TiO2 膜的成膜工艺与质量 研究表明 ,使用霍尔源辅助沉积的光学薄膜折射率明显提高 ,更加接近于块状材料 ,膜层结构比传统沉积手段更加致密 ,附着力也很高 同时用此项技术沉积了金属增强反射镜 ,试验结果与理论设计结果相符 。
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关键词
无栅霍尔源
光学薄膜
等离子体辅助镀膜
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职称材料
题名
霍尔源用于光学镀膜
被引量：
5
1
作者
贾克辉
黄建兵
徐颖
陈红
高劲松
曹建林
机构
中科院长春光机所
中科院上海光机所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期1228-1230,共3页
基金
中国科学院创新基金 (ZJ0 0C0 4T)资助项目
文摘
报道了用于辅助镀膜的无栅霍尔等离子体源的结构原理及性能指标 ,并从光学特性、显微特性和机械特性三方面着手 ,研究了使用霍尔源所做的单层TiO2 膜的成膜工艺与质量 研究表明 ,使用霍尔源辅助沉积的光学薄膜折射率明显提高 ,更加接近于块状材料 ,膜层结构比传统沉积手段更加致密 ,附着力也很高 同时用此项技术沉积了金属增强反射镜 ,试验结果与理论设计结果相符 。
关键词
无栅霍尔源
光学薄膜
等离子体辅助镀膜
Keywords
Hall ion source
Optical coatings
Plasma ion assisted deposition
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
霍尔源用于光学镀膜
贾克辉
黄建兵
徐颖
陈红
高劲松
曹建林
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
5
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