期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
无支撑优质金刚石膜研制中的相关问题探讨
被引量：
2
1
作者
丁明清
李莉莉
冯进军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期884-888,共5页
无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善。结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力的相关问题进行了初步探讨。对于给定...
无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善。结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力的相关问题进行了初步探讨。对于给定的设备,沉积速率与多种因素有关,包括膜的质量、膜厚均匀性和有效沉积面积、以及形核的密度。在通常情况下,金刚石膜呈(111)择优取向,而样品位置下移5mm后,观察到(100)取向。对内应力的初步研究表明,CH4/H2比例较低(1.5)时,金刚石膜的内应力趋向于压应力,而(100)取向的出现则有助于使内应力降到最低。
展开更多
关键词
微波等离子体化学气相沉积
无支撑优质金刚石膜
沉积速率
晶面择优取向
内应力
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
无支撑优质金刚石膜研制中的相关问题探讨
被引量：
2
1
作者
丁明清
李莉莉
冯进军
机构
微波电真空器件国家级重点实验室北京真空电子技术研究所
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期884-888,共5页
基金
国家级重点实验室基金项目
文摘
无支撑优质金刚石膜在微波真空器件和光学器件中的广泛应用,有赖于制备成本的下降和工艺的完善。结合微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜的工艺研究结果,本文就沉积速率、晶面取向以及内应力的相关问题进行了初步探讨。对于给定的设备,沉积速率与多种因素有关,包括膜的质量、膜厚均匀性和有效沉积面积、以及形核的密度。在通常情况下,金刚石膜呈(111)择优取向,而样品位置下移5mm后,观察到(100)取向。对内应力的初步研究表明,CH4/H2比例较低(1.5)时,金刚石膜的内应力趋向于压应力,而(100)取向的出现则有助于使内应力降到最低。
关键词
微波等离子体化学气相沉积
无支撑优质金刚石膜
沉积速率
晶面择优取向
内应力
Keywords
Microwave plasma chemical vapor deposition, High quality freestanding diamond films, Deposition rate, Film texture, Intrinsic stress
分类号
TB75 [一般工业技术—真空技术]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
无支撑优质金刚石膜研制中的相关问题探讨
丁明清
李莉莉
冯进军
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
