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题名基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器
被引量：7
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作者
王宇
方东明
陈博
彭春荣
夏善红
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机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院大学
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2016年第2期103-105,112,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61201078
61327810)
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文摘
提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm×3.5 mm的敏感结构上,实现了单芯片的电场二维测量。介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计,以及基于绝缘体上硅(SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术。成功研制出传感器原理样机,研究了微型二维电场传感器的标定方法,开发了用于电场二维标定的测试装置,并在室温常压下对传感器进行了二维标定。实验结果表明:该传感器能够有效减小电场的轴间耦合干扰,测量误差优于7.04%,线性度可达到1.25%。
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关键词
电场传感器
微机电系统
绝缘体上硅(SOI)
旋转谐振式微执行器
二维测量
电场标定
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Keywords
electric field sensor
MEMS
SOI
rotary resonant micro actuator
two-dimensional measurement
electric field calibration
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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