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真空镀膜玻璃技术的新成就 被引量:1
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作者 陈晓东 《真空与低温》 1999年第4期229-232,共4页
孪生磁控和旋转磁控阴极相对于平面磁控阴极的优势及对镀制Low - E 膜及ITO
关键词 旋转磁控阴极 ITO 真空通道 真空镀膜玻璃
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