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真空镀膜玻璃技术的新成就
被引量:
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作者
陈晓东
《真空与低温》
1999年第4期229-232,共4页
孪生磁控和旋转磁控阴极相对于平面磁控阴极的优势及对镀制Low - E 膜及ITO
关键词
旋转磁控阴极
ITO
真空通道
真空镀膜玻璃
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职称材料
题名
真空镀膜玻璃技术的新成就
被引量:
1
1
作者
陈晓东
机构
沈阳金博真空工程有限公司
出处
《真空与低温》
1999年第4期229-232,共4页
文摘
孪生磁控和旋转磁控阴极相对于平面磁控阴极的优势及对镀制Low - E 膜及ITO
关键词
旋转磁控阴极
ITO
真空通道
真空镀膜玻璃
Keywords
twinmag and c-mag cathode,low-E,ITO,vacuum channel
分类号
TQ171.724 [化学工程—玻璃工业]
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作者
出处
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1
真空镀膜玻璃技术的新成就
陈晓东
《真空与低温》
1999
1
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