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计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究
1
作者
郭建刚
赵亚溥
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1645-1648,1651,共5页
分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸....
分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸.给出了旋转式致动器的无量纲化运动控制方程,并对它作了定性分析.定性分析表明:该运动方程相应的自治系统在相平面上的平衡点包括中心点、稳定的焦点和不稳定的鞍点;相图呈现周期轨道、同宿轨道以及异宿轨道.另外系统还存在分叉现象.
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关键词
旋转式纳电子机械致动器casimir力
吸合
稳定性
分叉
相图
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职称材料
题名
计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究
1
作者
郭建刚
赵亚溥
机构
中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1645-1648,1651,共5页
基金
国家杰出青年科学基金资助(10225209)
文摘
分析了Casimir力对旋转式纳电子机械(NEMS)致动器动态稳定性的影响.计及Casimir效应时,旋转式致动器失稳时的临界倾角和临界电压和结构的几何尺寸有关.外加电压为零时,导出了旋转式致动器在Casimir力作用下发生吸合的临界特征几何尺寸.给出了旋转式致动器的无量纲化运动控制方程,并对它作了定性分析.定性分析表明:该运动方程相应的自治系统在相平面上的平衡点包括中心点、稳定的焦点和不稳定的鞍点;相图呈现周期轨道、同宿轨道以及异宿轨道.另外系统还存在分叉现象.
关键词
旋转式纳电子机械致动器casimir力
吸合
稳定性
分叉
相图
Keywords
electrostatic torsional NEMS actuator
casimir
force
pull-in
stability
bifurcation
phase portraits
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
O317 [理学—一般力学与力学基础]
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作者
出处
发文年
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1
计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究
郭建刚
赵亚溥
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
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