期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于RBF自适应滑模的旋转式压电纳米探针台轨迹跟踪控制
1
作者
马诗雨
孟思源
+1 位作者
丁戍辰
汝长海
《微纳电子技术》
2025年第5期101-111,共11页
随着微纳技术的快速发展,旋转式压电纳米探针台在高真空扫描电子显微镜(SEM)中的应用需求日益增加。为了解决压电驱动设备面临的非线性特性和不确定性干扰,提出一种基于径向基函数(RBF)神经网络的自适应滑模控制(RBF-ASMC)方法。通过结...
随着微纳技术的快速发展,旋转式压电纳米探针台在高真空扫描电子显微镜(SEM)中的应用需求日益增加。为了解决压电驱动设备面临的非线性特性和不确定性干扰,提出一种基于径向基函数(RBF)神经网络的自适应滑模控制(RBF-ASMC)方法。通过结合拉格朗日方法和压电材料的迟滞模型,建立了旋转式压电纳米探针台的动力学模型,并采用RBF神经网络逼近系统未知动态,利用神经网络自适应律优化控制参数。仿真结果表明,RBF-ASMC方法在轨迹跟踪精度和收敛时间方面具有显著优势,稳态误差为0.01°,平均响应时间为1.2 s,相比传统反馈线性化控制(FLC)和非线性干扰观测器滑模控制(NDOSMC)分别减少58.3%和44.4%。这些结果证明,RBF-ASMC在提升控制精度的同时,显著提高系统的动态响应和抗干扰能力。
展开更多
关键词
旋转式压电纳米探针台
径向基函数(RBF)神经网络
自适应滑模控制(ASMC)
轨迹跟踪
非线性特性
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于RBF自适应滑模的旋转式压电纳米探针台轨迹跟踪控制
1
作者
马诗雨
孟思源
丁戍辰
汝长海
机构
苏州科技大学电子与信息工程学院
江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司
出处
《微纳电子技术》
2025年第5期101-111,共11页
基金
国家重点研发计划项目(2023YFF0721400)
国家自然科学基金项目(62273247)。
文摘
随着微纳技术的快速发展,旋转式压电纳米探针台在高真空扫描电子显微镜(SEM)中的应用需求日益增加。为了解决压电驱动设备面临的非线性特性和不确定性干扰,提出一种基于径向基函数(RBF)神经网络的自适应滑模控制(RBF-ASMC)方法。通过结合拉格朗日方法和压电材料的迟滞模型,建立了旋转式压电纳米探针台的动力学模型,并采用RBF神经网络逼近系统未知动态,利用神经网络自适应律优化控制参数。仿真结果表明,RBF-ASMC方法在轨迹跟踪精度和收敛时间方面具有显著优势,稳态误差为0.01°,平均响应时间为1.2 s,相比传统反馈线性化控制(FLC)和非线性干扰观测器滑模控制(NDOSMC)分别减少58.3%和44.4%。这些结果证明,RBF-ASMC在提升控制精度的同时,显著提高系统的动态响应和抗干扰能力。
关键词
旋转式压电纳米探针台
径向基函数(RBF)神经网络
自适应滑模控制(ASMC)
轨迹跟踪
非线性特性
Keywords
rotational piezoelectric nanoprobe stage
radial basis function(RBF)neural network
adaptive sliding mode control(ASMC)
trajectory tracking
nonlinear characteristic
分类号
TP202 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于RBF自适应滑模的旋转式压电纳米探针台轨迹跟踪控制
马诗雨
孟思源
丁戍辰
汝长海
《微纳电子技术》
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
