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基于PDMS的倒脊形波导电光调制器的设计与制备
被引量：
1
1
作者
李晓东
谭震宇
+3 位作者
王菲
郑红丽
孙小强
张大明
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期533-536,共4页
选用价格低廉、介电性能良好、低传输损耗的聚二甲基硅氧烷作为波导的包层材料,旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯作为芯层,设计并制备了一种倒脊形聚合物波导马赫-曾德尔电光调制器及共面波导行波电极,获得了调制器的调制信号响应.针...
选用价格低廉、介电性能良好、低传输损耗的聚二甲基硅氧烷作为波导的包层材料,旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯作为芯层,设计并制备了一种倒脊形聚合物波导马赫-曾德尔电光调制器及共面波导行波电极,获得了调制器的调制信号响应.针对SF6气体刻蚀聚二甲基硅氧烷的再淀积现象,提出了采用SF6和O2的混合气体对聚二甲基硅氧烷进行反应离子刻蚀的方法,发现当SF6∶O2流量比为50 sccm∶10 sccm时,刻蚀形成的凹槽侧壁陡直,底部平坦;实验制备的倒脊形马赫-曾德尔波导在1 550 nm波长下通光良好.
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关键词
聚
二
甲基
硅氧烷
旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯
反应离子刻蚀
聚
合
物电光调制器
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职称材料
题名
基于PDMS的倒脊形波导电光调制器的设计与制备
被引量：
1
1
作者
李晓东
谭震宇
王菲
郑红丽
孙小强
张大明
机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期533-536,共4页
基金
国家自然科学基金(No.61077041
No.60807029)
+4 种基金
吉林省科技发展计划项目(No.20090352
20070522)
吉林大学基本科研业务费专项资金项目(No.200810028
No.200905005)
集成光电子学国家重点联合实验室开放课题(IOSKL-KFKT-11)资助
文摘
选用价格低廉、介电性能良好、低传输损耗的聚二甲基硅氧烷作为波导的包层材料,旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯作为芯层,设计并制备了一种倒脊形聚合物波导马赫-曾德尔电光调制器及共面波导行波电极,获得了调制器的调制信号响应.针对SF6气体刻蚀聚二甲基硅氧烷的再淀积现象,提出了采用SF6和O2的混合气体对聚二甲基硅氧烷进行反应离子刻蚀的方法,发现当SF6∶O2流量比为50 sccm∶10 sccm时,刻蚀形成的凹槽侧壁陡直,底部平坦;实验制备的倒脊形马赫-曾德尔波导在1 550 nm波长下通光良好.
关键词
聚
二
甲基
硅氧烷
旁链型分散红1键合聚甲基丙烯酸甲酯
反应离子刻蚀
聚
合
物电光调制器
Keywords
Polydimethylsiloxane
Poly[（methyl methacrylate）-co-（Disperse Red
1
methacrylate）]
Reactive ion etching
Polymer electro-optic modulator
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PDMS的倒脊形波导电光调制器的设计与制备
李晓东
谭震宇
王菲
郑红丽
孙小强
张大明
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
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