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基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器
被引量：
3
1
作者
邓元龙
赵小丽
+3 位作者
李学金
耿优福
洪学明
邱成军
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
北大核心
2011年第1期17-22,共6页
研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面...
研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.
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关键词
传感器技术
光纤光学
压力测量
微机电系统
Fabry-Perot干涉
方形硅膜
强度调制
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职称材料
题名
基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器
被引量：
3
1
作者
邓元龙
赵小丽
李学金
耿优福
洪学明
邱成军
机构
深圳大学深圳市传感器技术重点实验室
黑龙江大学电子工程学院
出处
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
北大核心
2011年第1期17-22,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(60978041)
深圳市基础研究资助项目(JC200903130271A)~~
文摘
研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.
关键词
传感器技术
光纤光学
压力测量
微机电系统
Fabry-Perot干涉
方形硅膜
强度调制
Keywords
sensor technology
fiber optics
pressure measurement
micro-electro-mechanical systems （MEMS）
Fabry-Perot（F-P） interferometers
square silicon diaphragm
amplitude modulation
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH823 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器
邓元龙
赵小丽
李学金
耿优福
洪学明
邱成军
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
北大核心
2011
3
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