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基于分层八邻域方向预测算子的IC芯片图像拼接技术
被引量：
2
1
作者
梁忠伟
叶邦彦
+1 位作者
彭锐涛
徐兰英
《华南理工大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期56-60,共5页
为了对IC芯片进行精密光学检测,需要完整而准确地获取芯片形貌的图像.文中针对IC芯片表面形貌图像的获取要求,提出了一种基于分层八邻域方向预测算子的模板匹配方法,并运用于高精度要求的IC芯片图像处理工作中.通过对获得的芯片显微图...
为了对IC芯片进行精密光学检测,需要完整而准确地获取芯片形貌的图像.文中针对IC芯片表面形貌图像的获取要求,提出了一种基于分层八邻域方向预测算子的模板匹配方法,并运用于高精度要求的IC芯片图像处理工作中.通过对获得的芯片显微图像的重叠部分进行匹配点的快速准确搜索,进而实现了芯片精密显微图像的高速拼接处理.编程实验证明,采用该方法可获得IC芯片表面的清晰图像,使芯片的形貌和缺陷等细节能够得到很好的展现.
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关键词
芯片检测
拼接
方向预测算子
模板匹配
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职称材料
题名
基于分层八邻域方向预测算子的IC芯片图像拼接技术
被引量：
2
1
作者
梁忠伟
叶邦彦
彭锐涛
徐兰英
机构
华南理工大学机械工程学院
出处
《华南理工大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期56-60,共5页
文摘
为了对IC芯片进行精密光学检测,需要完整而准确地获取芯片形貌的图像.文中针对IC芯片表面形貌图像的获取要求,提出了一种基于分层八邻域方向预测算子的模板匹配方法,并运用于高精度要求的IC芯片图像处理工作中.通过对获得的芯片显微图像的重叠部分进行匹配点的快速准确搜索,进而实现了芯片精密显微图像的高速拼接处理.编程实验证明,采用该方法可获得IC芯片表面的清晰图像,使芯片的形貌和缺陷等细节能够得到很好的展现.
关键词
芯片检测
拼接
方向预测算子
模板匹配
Keywords
chip inspection
splicing
direction-predicting operator
template matching
分类号
TP391 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于分层八邻域方向预测算子的IC芯片图像拼接技术
梁忠伟
叶邦彦
彭锐涛
徐兰英
《华南理工大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
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